一种具有基板冷却功能的镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种具有基板冷却功能的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置包括气体冷却装置、气体管道和具有喷气孔的气体喷管，其中所述气体冷却装置通过所述气体管道与所述气体喷管相连接，所述气体喷管固定设置在所述镀膜伞架的上方，所述喷气孔朝向所述镀膜伞架。本实用新型专利技术的优点是：实现在镀膜过程中和镀膜结束后对基板降温，基板的降温效果好，基板不会变形；冷却装置结构简单、合理，拆装方便，具有可替换性，同时可方便地安装到现有镀膜装置上，实现对现有镀膜装置的改造；冷源可循环使用，利用率高。

A coating device with the function of substrate cooling

【技术实现步骤摘要】
一种具有基板冷却功能的镀膜装置
本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种具有基板冷却功能的镀膜装置。
技术介绍
在真空镀膜领域，塑料基板的应用日益广泛。相比于玻璃基板，塑料基板的熔点较低。尤其在塑料基板上镀膜多层膜时，镀膜过程中积累的热量很容易导致塑料基板变形，而变形的塑料基板就成了不良品。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种具有基板冷却功能的镀膜装置，采用冷却气体吹扫基板背面，降低基板在镀膜过程中的温度，保保证基板不变形。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种具有基板冷却功能的镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室内设置有镀膜伞架，所述镀膜伞架上具有若干承载镀膜基板的工位，其特征在于：所述镀膜装置包括气体冷却装置、气体管道和具有喷气孔的气体喷管，其中所述气体冷却装置通过所述气体管道与所述气体喷管相连接，所述气体喷管固定设置在所述镀膜伞架的上方，所述喷气孔朝向所述镀膜伞架。所述气体冷却装置具有气体通道，所述气体通道通过所述气体管道与所述气体喷管连接，所述气体冷却装置具有制冷片和制冷片冷却机构，所述制冷片用于对所述气体通道内流通的气体进行冷却，所述制冷片冷却机构用于对所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有基板冷却功能的镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室内设置有镀膜伞架，所述镀膜伞架上具有若干承载镀膜基板的工位，其特征在于：所述镀膜装置包括气体冷却装置、气体管道和具有喷气孔的气体喷管，其中所述气体冷却装置通过所述气体管道与所述气体喷管相连接，所述气体喷管固定设置在所述镀膜伞架的上方，所述喷气孔朝向所述镀膜伞架。

【技术特征摘要】
1.一种具有基板冷却功能的镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室内设置有镀膜伞架，所述镀膜伞架上具有若干承载镀膜基板的工位，其特征在于：所述镀膜装置包括气体冷却装置、气体管道和具有喷气孔的气体喷管，其中所述气体冷却装置通过所述气体管道与所述气体喷管相连接，所述气体喷管固定设置在所述镀膜伞架的上方，所述喷气孔朝向所述镀膜伞架。2.根据权利要求1所述的一种具有基板冷却功能的镀膜装置，其特征在于：所述气体冷却装置具有气体通道，所述气体通道通过所述气体管道与所述气体喷管连接，所述气体冷却装置具有制...

【专利技术属性】
技术研发人员：李刚正，龙汝磊，薛聪颖，孙英会，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31