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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种具有基板冷却功能的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置包括气体冷却装置、气体管道和具有喷气孔的气体喷管，其中所述气体冷却装置通过所述气体管道与所述气体喷管相连接，所述气体喷管固定设置在所述镀膜伞架的上...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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