真空镀膜设备主轴结构制造技术

真空镀膜设备主轴结构，主轴安装传动轴承座，传动轴承座内安装滚子轴承，传动轴承座上设有冷却水嘴，冷却水嘴连接传动轴承座内的冷却水通道；主轴上位于传动轴承座上部安装定位座，定位座上部安装转盘座，转盘座顶部安装转盘；主轴上位于传动轴承座下部安装碳刷座，碳刷座上安装碳刷。本实用新型专利技术的真空镀膜设备主轴结构，采用高温双列圆锥滚子轴承再加上带水冷的传动轴承座焊接，使此机构的真空室内部可加热至500℃的高温时，主轴机构仍可以连续正常运转，并且此主轴机构可承重500Kg，实现高温、大载荷连续工作；整体结构简单、便于加工、制造；通用性好，使用安全、便于维护、成本较低的显著有益效果。

Main shaft structure of vacuum coating equipment

The main structure of vacuum coating equipment, install the drive spindle bearing, roller bearing installation drive bearing seat, the gear bearing seat is provided with a cooling water nozzle, cooling water nozzle connected to the cooling water channel transmission in the bearing seat; the spindle is positioned on the upper part of the gear bearing seat fixing seat, a seat is installed on the upper part of a turntable seat, a rotary table seat mounted on the top of the turntable located in the lower part; the spindle drive bearing seat is installed brush, brush brush seat installation. The utility model has the advantages of vacuum coating equipment spindle structure, using high temperature double row tapered roller bearings plus gear bearing seat with water cooling welding, the high temperature vacuum chamber of the mechanism can be heated to 500 DEG C when the spindle mechanism can still run normally and continuously, and the spindle mechanism can be realized with high temperature, high bearing 500Kg continuous work load; overall has the advantages of simple structure, easy processing, manufacturing; good versatility, safe use, convenient maintenance and low cost significantly beneficial effect.

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备主轴结构
本技术涉及真空设备
，尤其涉及真空镀膜设备。
技术介绍
现有技术中，真空设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中，通过加热器加热到300－500℃不等，同时主轴上方转架载荷200Kg左右。镀膜产品工艺及性能质量要求较高，现有的真空镀膜设备的主轴机械结构复杂，安全、通用性差，直接影响了镀膜质量。
技术实现思路
为了现有真空镀膜设备主轴结构存在的上述问题，本技术提供了一种结构简单、安全、通用性好的真空镀膜设备主轴结构。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：真空镀膜设备主轴结构，主轴3安装传动轴承座25，传动轴承座25内安装滚子轴承24，传动轴承座25上设有冷却水嘴41，冷却水嘴41连接传动轴承座25内的冷却水通道42；主轴3上位于传动轴承座25上部安装定位座4，定位座4上部安装转盘座39，转盘座39顶部安装转盘38；主轴3上位于传动轴承座25下部安装碳刷座17，碳刷座17上安装碳刷16。所述传动轴承座25下部与主轴3之间安装下骨架油封12，定位座4与主轴3之间安装上骨架油封27。所述转盘38中部设有盖板1。所述转盘座39下部连接罩形圆环件40，罩形圆环件与定本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：主轴（3）安装传动轴承座（25），传动轴承座（25）内安装滚子轴承（24），传动轴承座（25）上设有冷却水嘴（41），冷却水嘴（41）连接传动轴承座（25）内的冷却水通道（42）；主轴（3）上位于传动轴承座（25）上部安装定位座（4），定位座（4）上部安装转盘座（39），转盘座（39）顶部安装转盘（38）；主轴（3）上位于传动轴承座（25）下部安装碳刷座（17），碳刷座（17）上安装碳刷（16）。

【技术特征摘要】
1.真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：主轴（3）安装传动轴承座（25），传动轴承座（25）内安装滚子轴承（24），传动轴承座（25）上设有冷却水嘴（41），冷却水嘴（41）连接传动轴承座（25）内的冷却水通道（42）；主轴（3）上位于传动轴承座（25）上部安装定位座（4），定位座（4）上部安装转盘座（39），转盘座（39）顶部安装转盘（38）；主轴（3）上位于传动轴承座（25）下部安装碳刷座（17），碳刷座（17）上安装碳刷（16）。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述传动轴承座（25）下部与主轴（3）之间安装下骨架油封（12），定位座（4）与主轴（3）之间安装上骨架油封（27）。3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述转盘（38）中部设有盖板（1）。4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备主轴结构，其特征在于：所述转盘座（39）下部连接罩形圆环件（40），罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓华，张朝奎，冯秋凯，
申请(专利权)人：大连维钛克科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21