一种新型铝材真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型铝材真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室上表面固定安装有储气罐和真空仪器表，所述镀膜室内部设置有吸音器，且其一侧固定连接有真空泵，所述真空泵内部固定安装有减震器，所述镀膜室另一侧设置有控制门和控制箱，所述控制门上端固定安装有高阀，所述控制箱上端设置有低阀，所述控制箱上表面固定安装有总电源开关，所述镀膜室下端固定安装有连接杆，所述连接杆下端设置有滚轮，所述连接板通过螺栓与连接杆固定连接。本实用新型专利技术可以有效的方便该镀膜装置的移动，节约时间和成本，同时可以提高该镀膜装置的使用寿命。结构新颖，操作简单，具有很好的推广价值。

A new vacuum coating device for aluminum material

The utility model discloses a new type aluminum vacuum coating device, including coating chamber, the vacuum chamber is installed on the upper surface of a storage tank and a vacuum meter, the inside of the coating chamber is provided with a sound absorber, and one side is fixedly connected with a vacuum pump, wherein the vacuum pump is internally fixed with shock absorbers. On the other side of the coating chamber is provided with a control gate and a control box, the control door is fixed on the upper end of the installation of high valve, wherein the control box is provided with a lower valve, wherein the control box is installed on the upper surface of the power switch, the vacuum chamber is fixedly arranged at the lower end and a connecting rod, the lower end of the connecting rod a roller is arranged, the connecting plate is fixedly connected with the connecting rod through a bolt. The utility model can effectively facilitate the movement of the coating device, save time and cost, and can also improve the service life of the coating device. The structure is novel, the operation is simple, and it has good popularization value.

【技术实现步骤摘要】
一种新型铝材真空镀膜装置
本技术涉及机械领域，特别涉及一种新型铝材真空镀膜装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。但是目前的镀膜装置移动不方便，并且工作噪音较大，且有较大的震动感。为此，我们提出一种新型铝材真空镀膜装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种新型铝材真空镀膜装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种新型铝材真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室上表面固定安装有储气罐和真空仪器表，所述真空仪器表固定安装在储气罐的一侧，所述镀膜室内部设置有吸音器，且其一侧固定连接有真空泵，所述真空泵内部固定安装有减震器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型铝材真空镀膜装置，包括镀膜室（2），其特征在于：所述镀膜室（2）上表面固定安装有储气罐（1）和真空仪器表（12），所述真空仪器表（12）固定安装在储气罐（1）的一侧，所述镀膜室（2）内部设置有吸音器（13），且其一侧固定连接有真空泵（14），所述真空泵（14）内部固定安装有减震器（15），所述镀膜室（2）另一侧设置有控制门（5）和控制箱（8），所述控制门（5）和控制箱（8）之间固定安装有总电源旋转纽（6），且总电源旋转纽（6）上端设置有电极接口（20），所述控制门（5）上端固定安装有高阀（4），且高阀（4）外表面固定安装有高阀控制把手（3），所述控制箱（8）上端设置有低阀（11），且低...

【技术特征摘要】
1.一种新型铝材真空镀膜装置，包括镀膜室（2），其特征在于：所述镀膜室（2）上表面固定安装有储气罐（1）和真空仪器表（12），所述真空仪器表（12）固定安装在储气罐（1）的一侧，所述镀膜室（2）内部设置有吸音器（13），且其一侧固定连接有真空泵（14），所述真空泵（14）内部固定安装有减震器（15），所述镀膜室（2）另一侧设置有控制门（5）和控制箱（8），所述控制门（5）和控制箱（8）之间固定安装有总电源旋转纽（6），且总电源旋转纽（6）上端设置有电极接口（20），所述控制门（5）上端固定安装有高阀（4），且高阀（4）外表面固定安装有高阀控制把手（3），所述控制箱（8）上端设置有低阀（11），且低阀（11）上表面活动安装有低阀控制把手（10），所述控制箱（8）上表面固定安装有总电源开关（9），所述镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯凯男，
申请(专利权)人：廊坊首跃铝业有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13