一种可旋转可移动靶架传动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及到传动技术领域，尤其涉及一种可旋转可移动靶架传动装置。该可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机、支架、导轨、靶架旋转电机和真空箱。本实用新型专利技术设计了一种可旋转可移动靶架传动装置中靶架移动电机可以通过支架带动靶架左右移动，靶架旋转电机能够带动靶架旋转。该装置可以实现在超高真空状态下，靶架旋转和移动的同时动作。不仅实现了靶架和离子源之间距离的自动调整，而且此装置配合光学监控系统实现了靶架位置和移动速度可编程控制，保证了镀膜膜厚的均匀性。总之，该可旋转可移动靶架传动装置结构设计合理，靶架定位方便准确，适合推广使用。

A revolving movable target frame drive device

The utility model relates to the field of transmission technology, in particular to a revolving movable target frame transmission device. The revolving movable target frame drive device includes a target frame moving motor, a bracket, a guide rail, a target frame rotating motor and a vacuum box. The utility model designs a rotatable movable target rack transmission device, and the target rack mobile motor can drive the target rack to move around by the bracket, and the target rack rotary motor can drive the target rack to rotate. The device can operate at the same time when the target is rotated and moved in an ultra high vacuum state. It not only realizes the automatic adjustment of the distance between the target and the ion source, but also realizes the programmable control of the position and speed of the target frame with the optical monitoring system, so as to ensure the uniformity of the film thickness. In a word, the structure of the revolving movable target frame is designed reasonably, the positioning of the target frame is convenient and accurate, and it is suitable for popularization and use.

【技术实现步骤摘要】
一种可旋转可移动靶架传动装置
本技术涉及到传动
，尤其涉及一种可旋转可移动靶架传动装置。
技术介绍
镀膜过程中靶材与离子源之间有一个最佳距离要求，此位置尺寸一般是根据工艺试验确定后直接将其固定下来，需要经过多次反复试验，通过多次手动调整靶架与真空室的连接法兰位置，过程非常繁琐，费时费力并且效率低下。为了解决上述技术问题，本技术设计了一种可旋转可移动靶架传动装置，该可旋转可移动靶架传动装置中靶架移动电机可以通过支架带动靶架左右移动，靶架旋转电机能够带动靶架旋转。该装置可以实现在超高真空状态下，靶架旋转和移动的同时动作。不仅实现了靶架和离子源之间距离的自动调整，而且此装置配合光学监控系统实现了靶架位置和移动速度可编程控制，保证了镀膜膜厚的均匀性。总之，该可旋转可移动靶架传动装置结构设计合理，靶架定位方便准确，适合推广使用。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机、支架、导轨、靶架旋转电机和真空箱，所述支架上设有靶架，所述靶架上设有蜗轮蜗杆机构，所述支架的底部设有转轮，所述导轨固定在真空箱的底部，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机（1）、支架（6）、导轨（7）、靶架旋转电机（8）和真空箱（11），其特征在于：所述支架（6）上设有靶架（3），所述靶架（3）上设有蜗轮蜗杆机构（4），所述支架（6）的底部设有转轮（9），所述导轨（7）固定在真空箱（11）的底部，所述支架（6）设置在真空箱（11）的内部，所述靶架移动电机（1）和靶架旋转电机（8）设置在真空箱（11）的外部，所述靶架移动电机（1）和支架（6）之间设有丝杠传动机构（2），所述靶架移动电机（1）能够通过丝杠传动机构（2）带动支架（6）底部的转轮（9）沿着导轨（7）转动，所述蜗轮蜗杆机构（4）和靶架旋转电机（8）之间设有万...

【技术特征摘要】
1.一种可旋转可移动靶架传动装置，包括靶架移动电机（1）、支架（6）、导轨（7）、靶架旋转电机（8）和真空箱（11），其特征在于：所述支架（6）上设有靶架（3），所述靶架（3）上设有蜗轮蜗杆机构（4），所述支架（6）的底部设有转轮（9），所述导轨（7）固定在真空箱（11）的底部，所述支架（6）设置在真空箱（11）的内部，所述靶架移动电机（1）和靶架旋转电机（8）设置在真空箱（11）的外部，所述靶架移动电机（1）和支架（6）之间设有丝杠传动机构（2），所述靶架移动电机（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静辉，张小飞，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32