一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空镀膜领域的维护工具，尤其涉及一种浮动连接装置以及便于拆装该浮动连接装置的维护工装。该浮动连接装置包括上盖和水平吊装于上盖下方的加热板，加热板的横截面尺寸小于上盖的横截面尺寸，其特征在于，上盖和加热板之间存在间隔，加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；该维护工装包括：工装本体、固定模块和升降模块；固定模块设于工装本体顶部；升降模块包括底座和升降杆，底座设于固定模块顶部，升降杆可升降地设于底座内。该浮动连接装置使得工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖，从而避免了加热板热变形对上盖的损伤。该维护工装结构简单，便于浮动连接装置的拆装，且移动便利，节省了人工转移维护工装的成本。

A floating connection device and a maintenance tooling for the easy disassembly and disassembly of the floating connection device

The invention relates to a maintenance tool in the field of vacuum coating, in particular to a floating connection device and a maintenance tooling which is easy to disassemble and disassemble the floating connection device. The floating connection device comprises a heating plate cover and the horizontal lifting on the upper cover below the cross section size of cross-section size of heating plate less than the cover, which is characterized in that there is a gap between the upper cover and the heating plate, the heating plate through a plurality of floating structure are connected with the upper cover; the maintenance of tooling including fixture body, fixed module and lifting module; fixed tooling module is arranged on the top of the body; the lifting module comprises a base and a lifting rod, a lifting rod is arranged and fixed at the top of the module, lifting a base. The floating connection device causes the heat expansion and deformation of the heating plate in the process to not affect the upper cover, thus avoiding the damage to the upper cover by the heat deformation of the heating plate. The structure of the maintenance tooling is simple, easy to disassemble and disassemble the floating connection device, and it is convenient to move, and saves the cost of manual transfer and maintenance of the tooling.

【技术实现步骤摘要】
一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装
本专利技术涉及真空镀膜领域的维护工具，尤其涉及一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装。
技术介绍
现有的镀膜设备中，工艺腔室的上盖与加热板为直接接触连接，在镀膜加热时加热板的热膨胀变形会影响到上盖，严重时会造成上盖的变形或损伤。现有技术通常利用维护用工装结构将工艺腔室的上盖与加热板进行拆装，为便于上盖与加热板之间的拆装，现有的维护用工装结构大多是一个整体的平台，装夹好工件后，拆卸内部的小零件；又或者是固定顶部吊装部件，从下面升起一个支撑的机构，从而实现所述上盖与加热板的相对固定、支撑，然后进行拆装。前一种方案不便于拆装，后一种方案工装本身结构复杂，操作繁琐，不便于工装的整体移动。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题之一是提供一种浮动连接装置，其可使工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖。本专利技术要解决的另一技术问题是提供一种结构简单、便于拆装该浮动连接装置的维护工装。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。进一步地，所述垫板的顶面与所述第一台阶面的顶端相接触，所述垫板的底面与所述螺母的顶面相接触。进一步地，所述浮动连接结构均匀分布于所述加热板的侧面；和/或，所述加热板为方形，所述加热板的四个侧面各通过一个所述浮动连接结构与上盖相连接；和/或，所述过渡连接件与所述加热板的侧面相连接的方式为一体成型、固定连接或可拆卸地连接。优选的，所述卡孔为U型。本专利技术还提供了一种便于拆装上述浮动连接装置的维护工装，所述维护工装包括：工装本体；固定模块，所述固定模块设于所述工装本体顶部，所述固定模块至少有两个，且相对设于工装本体顶部的两侧，所述固定模块设有用于支撑所述加热板的第一支撑面；升降模块，所述升降模块包括底座和升降杆，所述底座设于所述固定模块顶部，所述升降杆可升降地设于所述底座内，所述升降杆顶端设有用于支撑所述上盖的第二支撑面。优选的，所述加热板的横截面面积与工装本体的顶部面积相适应，以使拆装浮动连接装置时，第一支撑面能够支撑加热板，第二支撑面能够支撑上盖。进一步地，所述固定模块包括固定块和固定螺钉，所述固定块底端设于所述工装本体顶部，所述固定块顶端设有用于安装所述底座的凹槽，所述固定块底端边缘水平向外延伸成所述第一支撑面；所述固定螺钉在拆装浮动连接装置时，水平穿过所述固定块至加热板内，以将所述加热板的一侧固定于所述固定块上。进一步地，所述固定模块包括多个固定螺钉。进一步地，所述固定模块还包括限位销，所述固定块的侧面构造有用于对所述限位销进行导向的斜面，所述限位销在拆装浮动连接装置之前插入所述加热板侧面，并在拆装所述浮动连接装置时沿着所述斜面将加热板的一侧放入所述第一支撑面上。进一步地，所述固定模块包括两个所述限位销，相应的，所述固定块相对的两个侧面各构造有一个与所述限位销相适应的斜面。进一步地，所述固定模块还包括固定块螺钉，所述固定块螺钉用于将所述固定块固定于工装本体顶部。进一步地，所述底座和升降杆之间为螺纹连接。优选的，所述升降模块还包括手柄，所述手柄水平插入所述升降杆开设的通孔里，人手握住所述手柄以便于升降杆的转动，进而调节升降杆的高度。进一步地，所述升降模块还包括球头、球头座和球头盖，所述球头设于所述升降杆的顶端，所述球头盖和球头座分别从上下两个方向抱住所述球头，所述球头盖表面形成所述第二支撑面。优选的，所述升降模块还包括锁母，所述锁母通过其自带的螺纹固定在底座上，以对所述升降杆的升降进行导向和锁紧，当调整好升降杆高度后，通过锁母可以固定这个高度值，后期在拆装浮动连接装置时就不用每次都调节升降杆的高度。进一步地，所述固定模块为四个，其中两个固定模块设于所述工装本体顶部的一侧，另两个固定模块设于所述工装本体顶部相对的另一侧。优选的，设于所述工装本体顶部的一侧的两个固定模块与设于所述工装本体顶部相对的另一侧的两个固定模块一一对应，以确保浮动连接装置在拆装时加热板和上盖的平衡。优选的，所述工装本体为长方体状的框架结构，采用方管焊接而成，作为整个维护工装的基座。优选的，所述工装本体顶部设有安装固定面，所述固定块设于所述安装固定面上。进一步地，所述维护工装还包括移动小车，所述工装本体设于所述移动小车上。优选的，所述移动小车的底面设有万向脚轮，所述移动小车的侧面设有扶手，以便于整个维护工装的移动。优选的，所述维护工装还包括吊装设备，所述吊装设备用于吊起上盖，相应的，所述上盖顶部优选安装有吊装孔。(三)有益效果本专利技术的上述技术方案具有以下有益效果：1、本专利技术的浮动连接装置，上盖和加热板之间存在间隔，加热板通过所述浮动连接结构与上盖连接，这种设置方式使得工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖，从而避免了加热板热变形对上盖的损伤。2、本专利技术的维护工装，设置了工装本体、固定模块和升降模块，固定模块用于支撑和固定加热板，升降模块用于支撑上盖以及调整上盖与加热板之间的距离。在进行浮动连接装置的拆卸时，只需通过固定模块将加热板支撑和固定，通过升降模块将上盖支撑住，使得浮动连接装置中的垫板和螺母不受力，这样即可将螺母和垫板拆卸下来，从而实现上盖与加热板之间的浮动连接的脱离，然后也可以继续进行加热板内部零件的拆卸等工序；装配过程则是逆向的拆卸流程，浮动连接装置中加热板和上盖的安装按逆向的拆卸流程进行装配即可。因而，本专利技术的维护工装，结构简单，并且非常便于浮动连接装置的拆卸和安装。3、本专利技术中第一支撑面的设置，使得加热板的固定和支撑更加平稳；将第二支撑面设计为球头盖形式，球头盖顶面支撑上盖时，除了刚性的竖直方向受力以外，还可以承受一定角度的斜向力，使得升降模块对上盖的支撑更加灵活。4、本专利技术的升降模块，其升降杆可升降地设于底座内，且底座和升降杆之间为螺纹连接，使得升降杆的高度调节更加灵活，同时也更便于升降杆的更换和整个升降模块的拆装。5、本专利技术中移动小车的设置，使得维护工装的移动更加便利，节省了人工转移所述维护工装的成本。附图说明图1为本专利技术实施例所述浮动连接装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例所述浮动连接装置的仰视图；图3为本专利技术实施例所述浮动连接装置的侧视图；图4为图3的A-A剖视图；图5为本专利技术实施例所述维护工装的结构示意图；图6为本专利技术实施例所述维护工装的侧视图；图7为图5中C部分的放大示意图；图8为本专利技术实施例所述升降模块的结构示意图；图9为本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，其特征在于，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。

【技术特征摘要】
1.一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，其特征在于，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。2.根据权利要求1所述的浮动连接装置，其特征在于，所述垫板的顶面与所述第一台阶面的顶端相接触，所述垫板的底面与所述螺母的顶面相接触。3.根据权利要求1所述的浮动连接装置，其特征在于，所述浮动连接结构均匀分布于所述加热板的侧面；和/或，所述加热板为方形，所述加热板的四个侧面各通过一个所述浮动连接结构与上盖相连接；和/或，所述过渡连接件与所述加热板的侧面相连接的方式为一体成型、固定连接或可拆卸地连接；和/或，所述卡孔为U型。4.一种便于拆装权利要求1～3任一项所述浮动连接装置的维护工装，其特征在于，所述维护工装包括：工装本体；固定模块，所述固定模块设于所述工装本体顶部，所述固定模块至少有两个，且相对设于工装本体顶部的两侧，所述固定模块设有用于支撑所述加热板的第一支撑面；升降模块，所述升降模块包括底座和升降杆，所述底座设于所述固定模块顶部，所述升降杆可...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓曾红，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11