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真空镀膜设备主轴结构，主轴安装传动轴承座，传动轴承座内安装滚子轴承，传动轴承座上设有冷却水嘴，冷却水嘴连接传动轴承座内的冷却水通道；主轴上位于传动轴承座上部安装定位座，定位座上部安装转盘座，转盘座顶部安装转盘；主轴上位于传动轴承座下部安装碳...
该专利属于大连维钛克科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连维钛克科技股份有限公司授权不得商用。

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