A heat shield for large diameter single crystal furnace connecting device in U shaped connecting upper through horizontal bolt clamping head is fixed on the seed matrix U shape within the rod; U shaped connecting rod is arranged at the bottom of the pin with vertical opening hole card head, in the vertical opening pore is arranged in the seed type connection hole the lifting rod, lifting rod at the bottom of the seed type is provided with a fixed disk, a fixed disk edge uniformly hinged with three hot screen pendant, pendant hook ring and the heat shield heat shield heat shield hanger through the bottom of the connection. The upper and the seed of the utility model U shaped connecting rod clamping head with matrix connection, lower pore and seed type hoisting rod is detachably connected by a vertical upper opening, seed type hoisting hook the bottom of the connecting rod by hot screen heat shield pendant and pendant ring and the heat shield on the lifting of the heat shield has the advantages of simple structure, and the operation is convenient, safe and reliable, effectively resolve the shortcoming of the existing method of connection.
【技术实现步骤摘要】
一种大直径单晶炉用热屏连接装置
本技术属于直拉法生产单晶硅领域,具体的说是一种大直径单晶炉用热屏连接装置。
技术介绍
切克劳斯基法即直拉法是当今半导体材料制造中应用最广泛的生产方法,该方法通过加热器系统对多晶硅加热使其熔化,再用有固定晶向的籽晶浸入熔体中,通过逐渐降低熔体温度使熔体以籽晶为结晶核结晶生长,同时控制籽晶和熔体的转速、拉速和温度得到满足要求的单晶硅晶体。为适应大直径单晶的发展,拉晶工艺过程出现了两个较大变化:第一是为增强籽晶的承重能力,籽晶直径由12.5mm增加到17.5mm,籽晶与卡头的连接方式由籽晶一侧刻凹槽、插销钉连接改变为籽晶尾部变径、由变粗形成的圆锥面锁紧卡头;第二是为提高大直径单晶生产的经济性及满足相关质量参数控制的需要必须增加投料量,这就要求封闭热场的热屏必须吊装使用以腾出足够的装料空间。上述两个变革对现行单晶生产的不利影响有以下两个方面:一、由于籽晶卡头结构和形状的改变无法与原来的热屏吊装装置对接,热屏不吊装将严重限制装料量;二、变为锥体籽晶后,取籽晶时必须将组合卡头的头部(由石墨材料制成)取掉然后将籽晶倒推出来,频繁拆装组合卡头容易使螺纹受伤增加断裂风险,籽晶使用一次后融接界面处的直径可能变粗或不光滑,籽晶经常退不出来,这时只能将其敲断,更换籽晶将造成较大损失。
技术实现思路
为了解决由于籽晶直径增加所带来的上述问题,本技术提供了一种大直径单晶炉用热屏连接装置,解决上述操作存在的安全隐患,而且不需要拆卸籽晶即可以做到操作方便、简单高效的吊装热屏。本技术为解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种大直径单晶炉用热屏连接装置,包括一U形连杆 ...
【技术保护点】
一种大直径单晶炉用热屏连接装置,其特征在于:包括一U形连杆(8),U形连杆(8)的上部开口处通过一横向螺栓(4)将籽晶卡头基体(1)的下部固定在U形连杆(8)内;在U形连杆(8)的底部设置有内部具有竖直开口孔道的销钉式卡头(9),在竖直开口孔道内设置有带连接孔的籽晶式吊装连杆(12),籽晶式吊装连杆(12)的底部设置有固定盘(13),固定盘(13)的边缘通过连接螺丝均匀铰接有三个热屏挂件(14),热屏挂件(14)通过其底部设置的挂件环(15)与热屏(18)的热屏挂钩(16)连接。
【技术特征摘要】
1.一种大直径单晶炉用热屏连接装置,其特征在于:包括一U形连杆(8),U形连杆(8)的上部开口处通过一横向螺栓(4)将籽晶卡头基体(1)的下部固定在U形连杆(8)内;在U形连杆(8)的底部设置有内部具有竖直开口孔道的销钉式卡头(9),在竖直开口孔道内设置有带连接孔的籽晶式吊装连杆(12),籽晶式吊装连杆(12)的底部设置有固定盘(13),固定盘(13)的边缘通过连接螺丝均匀铰接有三个热屏挂件(14),热屏挂件(14)通过其底部设置的挂件环(15)与热屏(18)的热屏挂钩(16)连接。2.根据权利要求1所述的一种大直径单晶炉用热屏连接装置,其特征在于:所述U形连杆(8)的两侧壁分别对应设置有螺纹孔(3)和通孔(2),且螺纹孔(3)和通孔(2)与籽晶卡头基体(1)上设置有的水平通孔处于同一直线上,以使三者与横向螺栓(4)配合将籽晶卡头基体(1)的下部固定在U形连杆(8)内。3.根据权利要求1所述的一种大...
【专利技术属性】
技术研发人员:令狐铁兵,秦露露,刘要普,
申请(专利权)人:麦斯克电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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