一种光学系统及其冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光学系统的冷却装置，包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路；气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的供气压力进行调节的减压阀，气液热交换器连接有一端与水源连接的液体控制管路；液体控制管路分别设有液体泵、用于对工作液体的压力进行调节的调压阀、用于对工作液体进行冷却温度控制的制冷组件。应用该装置，气体通过温度预处理器进行预处理，并通过气液热交换器连接液体控制管路对工作气体的温度进行精确调节，以为光学系统内部提供稳定温度的冷却气体。本发明专利技术还公开了一种光学系统。

【技术实现步骤摘要】
一种光学系统及其冷却装置
本专利技术涉及光学应用
，更具体地说，涉及一种光学系统的冷却装置，还涉及一种光学系统。
技术介绍
随着光学应用领域的不断发展，对光学系统分辨率和线宽的要求不断的提高，导致光学系统的复杂性越来越大，同时不可避免地引入的光学系统的像差，从而导致光学系统性能劣化，这就使得光学系统内补偿装置非常必要。红外加热方式对光学系统像质进行补偿的方案，可以有效解决光学系统内现有技术存在的结构复杂、补偿精度低和补偿Zernike像差成分项数有限的问题。但是，此像质补偿技术应用在复杂光学系统例如光刻投影物镜系统内时，由于红外加热装置对镜片进行加热以补偿像差，必然导致整体光学系统内部的温度升高，而温度的变化又会导致焦面位置改变和影响成像质量。此外，超精密光学系统内部，对环境的气压、洁净度等也有苛刻的要求，因为压力的变化直接影响光学系统倍率，从而影响光学系统的成像质量；同时光学系统内部需要密封环境及高纯、洁净气体防止空气进入内部污染光学镜片。综上所述，如何有效地解决光学系统内部需要对加热补偿装置进行冷却等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学系统的冷却装置，其特征在于，包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路；所述气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的供气压力进行调节的减压阀，所述气液热交换器连接有一端与水源连接的液体控制管路；所述液体控制管路分别设有液体泵、用于对工作液体的压力进行调节的调压阀、用于对工作液体进行冷却温度控制的制冷组件。

【技术特征摘要】
1.一种光学系统的冷却装置，其特征在于，包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路；所述气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的供气压力进行调节的减压阀，所述气液热交换器连接有一端与水源连接的液体控制管路；所述液体控制管路分别设有液体泵、用于对工作液体的压力进行调节的调压阀、用于对工作液体进行冷却温度控制的制冷组件。2.根据权利要求1所述的光学系统的冷却装置，其特征在于，所述气体控制管路还包括用于对工作气体的流量进行调节的气体流量控制装置。3.根据权利要求2所述的光学系统的冷却装置，其特征在于，所述气体控制管路还包括用于对工作气体进行颗粒度过滤控制的第一过滤装置；所述液体控制管路还包括用于对工作液体进行过滤的第二过滤装置。4.根据权利要求3所述的光学系统的冷却装置，其特征在于，所述气体控制管路还包括用于对工作气体进行提纯的纯化器。5.根据权利要求4所述的光学系统的冷却装置，其特征在于，所述气液热交换器的进口侧和出口侧分别设有用于对工作气体进行温度测量的第一温度传感器和第二温度传感器。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔洋，周连生，李佩玥，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：长春国科精密光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林,22