温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光学系统的冷却装置，包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路；气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的...
该专利属于长春国科精密光学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春国科精密光学技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。