一种内嵌式绝热结构制造技术

本申请公开了一种内嵌式绝热结构，包括洁净绝热容器以及设置于所述洁净绝热容器内的低导热率绝热材料

【技术实现步骤摘要】
一种内嵌式绝热结构


[0001]本专利技术属于投影光刻设备
，特别是涉及一种内嵌式绝热结构
。

技术介绍

[0002]在投影光刻设备中，投影光刻物镜的结构设计与装配前和装配过程中，需要对于特定的镜组进行保温处理，以避免镜组或物镜内的气体与物镜外部的气体发生混合而导致热环境被破坏
。
对于这种镜组，往往对周边的挥发性尘埃及颗粒的清洁要求较高，然而现有的绝热性能好的材料，多为多孔材料或颗粒材料，其表面容易吸附浮尘，直接布置在光刻机相关结构的表面就会对光刻机的工作环境造成污染，因此亟待研究一种表面洁净的绝热材料封装结构
。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本专利技术提供了一种内嵌式绝热结构，在保证洁净度的基础上同时实现绝热性能，能够安装在需要绝热的器件表面以实现保温功能
。
[0004]本专利技术提供的一种内嵌式绝热结构，包括洁净绝热容器以及设置于所述洁净绝热容器内的低导热率绝热材料
。
[0005]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述洁净绝热容器为尼龙容器或特氟龙容器
。
[0006]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述洁净绝热容器包括密封腔体以及与所述密封腔体可拆卸式连接的密封盖体
。
[0007]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述密封腔体与所述密封盖体之间利用螺钉连接在一起
。
[0008]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述螺钉的数量为6个至
10
个r/>。
[0009]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述低导热率绝热材料为多孔状或颗粒状的气凝胶
。
[0010]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述低导热率绝热材料的直径范围为
5mm
至
20mm。
[0011]优选的，在上述内嵌式绝热结构中，所述洁净绝热容器的形状为正方体
、
长方体或空心圆柱体
。
[0012]通过上述描述可知，本专利技术提供的上述内嵌式绝热结构，由于包括洁净绝热容器以及设置于所述洁净绝热容器内的低导热率绝热材料，因此能够将低导热率绝热材料包裹在洁净绝热容器内，不会给环境造成不良影响，也不会降低保温效果，从而该内嵌式绝热结构在保证洁净度的基础上同时实现绝热性能，能够安装在需要绝热的器件表面以实现保温功能
。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现
有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图
。
[0014]图1为本专利技术提供的一种内嵌式绝热结构的实施例的主视截面图
。
具体实施方式
[0015]本专利技术的核心是提供一种内嵌式绝热结构，在保证洁净度的基础上同时实现绝热性能，能够安装在需要绝热的器件表面以实现保温功能
。
[0016]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0017]本专利技术提供的一种内嵌式绝热结构的实施例如图1所示，图1为本专利技术提供的一种内嵌式绝热结构的实施例的主视截面图，该内嵌式绝热结构的实施例可以包括洁净绝热容器1以及设置于洁净绝热容器1内的低导热率绝热材料
2。
[0018]需要说明的是，这种内嵌式绝热结构能够应用到需要保温处理又有洁净要求的场景，包括但不限于光刻投影物镜的制造过程中，将低导热率但难以保证洁净度的绝热材料用清洁且导热率不高的材料包裹起来，形成嵌入式结构，安装在需要绝热的器件表面就能实现保温的功能，同时不会引入灰尘或挥发性颗粒，从而保证器件表面的洁净度足够高
。
[0019]通过上述描述可知，本专利技术提供的上述内嵌式绝热结构的实施例中，由于包括洁净绝热容器以及设置于洁净绝热容器内的低导热率绝热材料，因此能够将低导热率绝热材料包裹在洁净绝热容器内，不会给环境造成不良影响，也不会降低保温效果，从而该内嵌式绝热结构在保证洁净度的基础上同时实现绝热性能，能够安装在需要绝热的器件表面以实现保温功能
。
[0020]在上述内嵌式绝热结构的一个具体实施例中，洁净绝热容器可以为尼龙容器或特氟龙容器，这两种材质都能够更好地保证表面洁净性，而且不容易吸附灰尘或颗粒，因此更适合用来做洁净绝热容器，当然也可以根据实际需要选择其他材质，此处并不限制
。
[0021]在上述内嵌式绝热结构的另一个具体实施例中，继续参考图1，洁净绝热容器1可以包括密封腔体
11
以及与密封腔体
11
可拆卸式连接的密封盖体
12
，二者之间的连接方式不限，只要可拆卸即可，采用这种设计就能够方便拆卸，可以更加方便的对内部的低导热率绝热材料进行添加
、
减少或者更换，提高工作效率，当然这里是个优选方案，并未做出限定
。
[0022]在上述内嵌式绝热结构的又一个具体实施例中，继续参考图1，密封腔体
11
与密封盖体
12
之间可以优选为利用螺钉
13
连接在一起，在这种情况下，将低导热率绝热材料填入密封腔体中之后，就可以盖上密封盖体，然后拧紧螺钉，就实现了二者的固定，而当需要更换
、
增加或减少低导热率绝热材料时，就可以拧下螺钉，取下密封盖体，可见这样操作非常方便，当然也可以根据实际需要选择其他类型的连接方式，如卡扣式连接等等，此处并不限制
。
进一步的，该螺钉
13
的数量可以优选为6个至
10
个，数量越多则固定的越牢固，而成本越高，操作动作越多，当然这都是可以根据实际需要来选择螺钉数量的，此处并不限制
。
[0023]在上述内嵌式绝热结构的一个优选实施例中，上述低导热率绝热材料2可以优选
为多孔状或颗粒状的气凝胶，这种气凝胶的优点包括质量轻
、
隔热强
、
承受力大，其中，纳米气凝胶的导热系数能达到
0.02W/mK
，在大气环境下，极小的间隙能避免二氧化碳的通过，让对流换热无法发生，这种气凝胶微观结构很薄，传热路径长，降低了热传导能力，因此隔热性能极强，且性能稳定，当然也可以根据实际需要选择其他类型的绝热材料，此处并不限制
。
进一步的实施例中，该低导热率绝热材料2的直径范围可以优选为
5mm
至
20mm
，这样可以保证具有更好的绝热性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种内嵌式绝热结构，其特征在于，包括洁净绝热容器以及设置于所述洁净绝热容器内的低导热率绝热材料
。2.
根据权利要求1所述的内嵌式绝热结构，其特征在于，所述洁净绝热容器为尼龙容器或特氟龙容器
。3.
根据权利要求1所述的内嵌式绝热结构，其特征在于，所述洁净绝热容器包括密封腔体以及与所述密封腔体可拆卸式连接的密封盖体
。4.
根据权利要求3所述的内嵌式绝热结构，其特征在于，所述密封腔体与所述密封盖体之间利用螺钉连接在一起
。5.
根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭海峰，孙冬辉，李澧，周连生，倪明阳，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：长春国科精密光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：