一种平面镜片的支撑装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种平面镜片的支撑装置，每个柔性悬臂由两个

【技术实现步骤摘要】
一种平面镜片的支撑装置


[0001]本专利技术涉及光学元件的生产
，特别涉及一种平面镜片的支撑装置
。

技术介绍

[0002]随着光学加工
、
制造和集成技术的不断发展，对光学系统的分辨率
、
像差等性能的要求也越来越高，对光学元件的面形精度要求也日益提高
。
重力
、
热载荷
、
外界扰动等不利因素均可能对镜片的面形精度有影响，需采用各种方式对这些不利因素进行严格的控制，并在镜片的装调及支撑时对引起面形变化的不利因素进行修正，提高镜片的面形精度
。
[0003]在控制镜片的面形精度的过程中，镜片与镜框集成前的工作多数在检测工装上完成，通过提升检测精度等方式可确保镜片从检测工装上取下时具备良好的面形
RMS
值，但由于加工精度不一
、
结构设计不合理等原因，镜片从检测工装集成到支撑结构这一过程中可能引入较多的面形，因此需要对镜片的支撑结构进行设计优化，降低该集成过程引入的面形
。
[0004]在光学领域，常见的镜片可以分为凸透镜
、
凹透镜
、
平面镜和棱镜等，现有平面镜片的支撑装置内通常设有单悬臂，支撑刚度极有限，难以为平面镜片提供可靠支撑，而且现有的单悬臂多为实心结构，导致镜框与镜片的导热路径过长，不利于平面镜片周边温度分布的均匀性
。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种平面镜片的支撑装置，每个柔性悬臂由两个
L
型单悬臂相对连接而成，能在提供足够支撑刚度的前提下提升平面镜片周边温度分布的均匀性
。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供一种平面镜片的支撑装置，包括支撑环，支撑环的内侧壁固设有至少两个柔性悬臂，柔性悬臂由两个
L
型单悬臂相对连接而成；全部柔性悬臂用于支撑平面镜片
。
[0007]优选地，每个柔性悬臂固设有支撑凸点，平面镜片置于支撑凸点
。
[0008]优选地，每个柔性悬臂包括依次相连的第一柔性臂
、
第二柔性臂和第三柔性臂，第一柔性臂与第三柔性臂对称设置，第二柔性臂呈圆弧状且连接于第一柔性臂和第三柔性臂之间
。
[0009]优选地，支撑凸点设于第二柔性臂的顶侧且位于第二柔性臂的中心
。
[0010]优选地，全部支撑凸点的支撑面均处于同一平面
。
[0011]优选地，支撑环的内侧壁具体设有三个柔性悬臂，三个柔性悬臂呈等边三角形分布
。
[0012]优选地，每个柔性悬臂一体式固设于支撑环的内侧壁
。
[0013]优选地，每个柔性悬臂的宽度在靠近支撑环的中心轴方向上逐渐减小
。
[0014]优选地，平面镜片为圆形镜片，支撑环呈圆环状，全部柔性悬臂之间形成有中心型
周边温度分布的均匀性
。
因此，本专利技术所提供的平面镜片的支撑装置能在提供足够支撑刚度的前提下提升平面镜片3周边温度分布的均匀性
。
[0028]此外，每个柔性悬臂2作为柔性结构，其轴向刚度提高，能有效降低由检测工装到支撑装置的过程中引入的面形，经实验，引入面形可降低至
65
％
。
每个柔性悬臂2可适应温度分布不均匀给平面镜片3带来的应力和变形，并降低由于其他镜组挠动对平面镜片3的影响
。
[0029]每个柔性悬臂2固设有支撑凸点4，平面镜片3置于支撑凸点4，支撑凸点4的设置能一定程度上减小柔性悬臂2与平面镜片3之间的接触面积，更利于提高平面镜片3周边温度分布的均匀性
。
在支撑环1的轴向方向上，每个柔性悬臂2的厚度等于支撑环1的壁厚，柔性悬臂2两侧分别与支撑环1两端面相齐平，如此支撑凸点4便高于支撑环1设置，进一步降低平面镜片3与支撑环1接触的可能性，对提高平面镜片3周边温度分布的均匀性具有积极意义
。
每个支撑凸点4的轴向高度范围可介于
0.5
～
1mm
之间
。
[0030]每个柔性悬臂2包括依次相连的第一柔性臂
21、
第二柔性臂
22
和第三柔性臂
23
，第一柔性臂
21
与第三柔性臂
23
二者沿支撑环1的径向延伸，且二者沿支撑环1的径向对称设置
。
第二柔性臂
22
呈圆弧状，第二柔性臂
22
的弯曲弧度与支撑环1一致
。
第二柔性臂
22
连接于第一柔性臂
21
和第三柔性臂
23
之间
。
[0031]支撑凸点4设于第二柔性臂
22
的顶侧，且位于第二柔性臂
22
的中心，确保每个柔性悬臂2均匀受力
。
[0032]每个柔性悬臂2的支撑凸点4顶部具有支撑面，支撑面为平面
。
全部支撑凸点4的支撑面均处于同一平面，有效防止在支撑过程中平面镜片3发生倾斜
。
[0033]支撑环1的内侧壁具体设有三个柔性悬臂2，三个柔性悬臂2呈等边三角形分布，如此形成三点柔性支撑，支撑更稳定
。
当然，柔性悬臂2的设置数量不限于此，具体可根据平面镜片3的规格进行适应性调整，在此不做具体限定
。
[0034]每个柔性悬臂2一体式固设于支撑环1的内侧壁，确保每个柔性悬臂2固定可靠
。
支撑环1与柔性悬臂2的一体式设置可采用线切割加工来实现
。
当然，每个柔性悬臂2的固定方式不限于此
。
[0035]每个柔性悬臂2的宽度在靠近支撑环1的中心轴方向上逐渐减小，使每个柔性悬臂2的径向柔度更大，更利于减小因温度分布不均而引起的平面镜片3变形和应力
。
[0036]平面镜片3为圆形镜片，支撑环1呈圆环状，全部柔性悬臂2围设形成有中心型腔，中心型腔的直径小于平面镜片3的直径，支撑环1的内径大于平面镜片3的直径，如此既能确保全部柔性悬臂2能可靠支撑平面镜片3，又能使平面镜片3与支撑环1的内侧壁之间留于一定的径向间隙，也利于提高平面镜片3周边温度分布的均匀性
。
[0037]上述支撑装置，还包括至少两组呈圆环状分布的定位爪，每个定位爪可沿支撑环1的径向伸缩，且每个定位爪具有与平面镜片3的侧面相抵的圆弧定位面，使全部定位爪能实现限定平面镜片3在支撑环1上的位置，确保平面镜片3可靠地置于全部柔性悬臂2上，并使平面镜片3与支撑环1保持同轴
。
[0038]需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种平面镜片的支撑装置，其特征在于，包括支撑环
(1)
，所述支撑环
(1)
的内侧壁固设有至少两个柔性悬臂
(2)
，所述柔性悬臂
(2)
由两个
L
型单悬臂相对连接而成；全部所述柔性悬臂
(2)
用于支撑平面镜片
(3)。2.
根据权利要求1所述的平面镜片的支撑装置，其特征在于，每个所述柔性悬臂
(2)
固设有支撑凸点
(4)
，所述平面镜片
(3)
置于所述支撑凸点
(4)。3.
根据权利要求2所述的平面镜片的支撑装置，其特征在于，每个所述柔性悬臂
(2)
包括依次相连的第一柔性臂
(21)、
第二柔性臂
(22)
和第三柔性臂
(23)
，所述第一柔性臂
(21)
与所述第三柔性臂
(23)
对称设置，所述第二柔性臂
(22)
呈圆弧状且连接于所述第一柔性臂
(21)
和所述第三柔性臂
(23)
之间
。4.
根据权利要求3所述的平面镜片的支撑装置，其特征在于，所述支撑凸点
(4)
设于所述第二柔性臂
(22)
的顶侧且位于所述第二柔性臂
(22)
的中心
。5.
根据权利要求3所述的平面镜片的支撑装置，其特征在于，全部所述支撑凸点
(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张澜，彭海峰，李澧，周连生，倪明阳，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：长春国科精密光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：