压降恢复系统技术方案

本发明专利技术揭示了一种压降恢复系统。所述压降恢复系统包括：设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。本发明专利技术的压降恢复系统能够高效实现电力故障后的工厂生产恢复。

【技术实现步骤摘要】
压降恢复系统
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种压降恢复系统。
技术介绍
工厂电力故障(FabPowerGlitchissue)是由于外网电路传输过程中出现问题，导致的fab内电力发生压降的现象。当电力故障产生时，会对设备产生影响，造成设备报警，影响晶圆的生产过程，严重的会导致设备宕机(down)，引发晶圆报废(scrap)。Fab在电力恢复正常后，会对机台复机，并对相关数据进行测试(monitor)，以及对产品的风险进行评估，进行后续的部署。这些通常都是人为评估，大部分基于经验的手动操作，这样既耗时，又不能更优化的处理这些问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种压降恢复系统，以便高效实现电力故障后的工厂生产恢复。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种压降恢复系统，包括：设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述设备恢复调度模块分别连接一在制品系统、一制造执行系统及一历史信息数据库，所述在制品系统向所述设备恢复调度模块提供在制品信息，所述制造执行系统向所述设备恢复调度模块提供设备是否单机信息，所述历史信息数据库向所述设备恢复调度模块提供设备历史异常信息，所述设备恢复调度模块结合所述在制品信息、设备是否单机信息及设备历史异常信息决定所述设备恢复优先级。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述设备恢复优先级＝基于在制品的原始优先级+基于制造执行系统和历史信息数据库的优先级改变量。可选的，对于所述的压降恢复系统，若设备为单机，则所述优先级改变量为-2～-1；若设备存在历史异常，则所述优先级改变量为1～2。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述对受影响产品的风险等级进行评估为：通过初始风险等级和一调整因子来获得受影响产品的风险等级，所述调整因子对所述初始风险等级进行调整。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述风险分析模块连接一失效模式和效果分析系统及一制造执行系统，以获得初始风险等级。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述风险等级包括第一风险等级和第二风险等级，所述产品处理模块对第一风险等级的受影响产品进行报废或者测试可靠性，对第二风险等级的受影响产品进行缺陷检测、探针检测及允收检测，所述第一风险等级高于第二风险等级。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述产品处理模块连接一可靠性数据库、一争议评审系统系统及一工程数据分析系统，所述产品处理模块将测得的可靠性数据传递至所述可靠性数据库，并获得所述可靠性数据库处理后的第一数据；所述产品处理模块将测得的缺陷数据、探针数据及允收数据皆传递至所述争议评审系统系统、工程数据分析系统及制造执行系统，并获得所述争议评审系统系统、工程数据分析系统及制造执行系统处理后的第二数据。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述处理后的第一数据和处理后的第二数据更新所述调整因子，并传递至所述失效模式和效果分析系统。可选的，对于所述的压降恢复系统，所述健康度监控模块包括连接一统计过程控制系统的统计过程控制部分和设备匹配部分，定期监控恢复后的设备是否正常。本专利技术提供的压降恢复系统，有着如下优点：1)提供优化的设备恢复调度模块，避免传统方法单纯考量WIP的情况，使得设备恢复有序高效；2)风险分析模块和产品处理模块实时交互，从而可以与结合产品处理过程中遇到的问题，及时的作出合理的调整，提高了对产品处理的效率；3)健康度监控模块能够在设备恢复后持续监控，及时发现压降后的潜伏的异常情况，实现全面监控；4)所述压降恢复系统连接到各个已有管理系统，实现自动输出所需信息，降低人工操作的需求程度，节省了人力物力，提高了效率。附图说明图1为本专利技术中压降恢复系统的示意图；图2为本专利技术中压降恢复系统的设备恢复调度模块的示意图；图3为本专利技术中压降恢复系统的风险分析模块和产品处理模块之间的关系图；图4为本专利技术中压降恢复系统的健康度监控模块的示意图。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的压降恢复系统进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。专利技术人在长期的生产工作中发现，目前当电力故障发生后，主要进行对设备的恢复，对产品风险的评估，以及对受影响产品(impactlot)的处理，这些操作都是人工操作，且相对固定，不会考虑多种因素并实时做出调整，基本不具有协调性，这使得电力故障后的恢复效率不高。于是，专利技术人提出一种压降恢复系统，如图1所示，包括：设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。下面请结合图2-图4，对本专利技术的压降恢复系统进行详细说明。其中，图2为本专利技术中压降恢复系统的设备恢复调度模块的示意图；图3为本专利技术中压降恢复系统的风险分析模块和产品处理模块之间的关系图；图4为本专利技术中压降恢复系统的健康度监控模块的示意图。可以理解的是，设备恢复是电力恢复后的首要动作，在工厂中有着多种多样的设备，例如包括主机台(Fabtool)、厂务机台(FACtool)、量测机台(Metrologytool)、检测机台(QREtool)等，而考虑到人力有限，必须要对这些设备的恢复优先级(priority)做出正确指示。所述设备恢复调度模块通过连接相关系统获取相关信息，输出每个部门(module)对应机台的优先级，从而为复机人员提供最合理的优先级。如图2所示，所述设备恢复调度模块连接于一WIP(WorkingInProcess，在制品)系统、一MES系统(ManufacturingExecutionSystem，制造执行系统)及一历史信息数据库，所述WIP系统向所述设备恢复调度模块提供在制品信息，所述MES系统向所述设备恢复调度模块提供设备是否单机信息，所述历史信息数据库向所述设备恢复调度模块提供设备历史异常信息，所述设备恢复调度模块结合所述WIP系统提供的WIP信息、所述MES系统提供的设备是否单机及所述历史信息数据库提供的设备历史异常信息决定设备恢复优先级。例如，考虑到某些设备在断电复机后容易出现缺陷(defect)较高等异常现象，对该类设备应该降低优先级，避免由于过多测试(monitor)以及处理异常批次产品，造成更久的延误。因此，所述设备恢复调度模块可以通过如下标准来给出设备恢复优先级：所述设备恢复优先级＝基于WIP的原始优先级+基于MES系统和历史信息数据库的优先级改变量。具体的，若设备为单机，则提高1-2的优先级，即所述优本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压降恢复系统，其特征在于，包括：设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。

【技术特征摘要】
1.一种压降恢复系统，其特征在于，包括：设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。2.如权利要求1所述的压降恢复系统，其特征在于，所述设备恢复调度模块分别连接一在制品系统、一制造执行系统及一历史信息数据库，所述在制品系统向所述设备恢复调度模块提供在制品信息，所述制造执行系统向所述设备恢复调度模块提供设备是否单机信息，所述历史信息数据库向所述设备恢复调度模块提供设备历史异常信息，所述设备恢复调度模块结合所述在制品信息、设备是否单机信息及设备历史异常信息决定所述设备恢复优先级。3.如权利要求2所述的压降恢复系统，其特征在于，所述设备恢复优先级＝基于在制品的原始优先级+基于制造执行系统和历史信息数据库的优先级改变量。4.如权利要求3所述的压降恢复系统，其特征在于，若设备为单机，则所述优先级改变量为-2～-1；若设备存在历史异常，则所述优先级改变量为1～2。5.如权利要求1所述的压降恢复系统，其特征在于，所述对受影响产品的风险等级进行评估为：通过初始风险等级和一调整因子来获得受影响产品的风险等级，所述调...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈彧，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31