玻璃基板的制造方法、及玻璃基板制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。本发明专利技术的课题在于降低澄清管内的氧气浓度而抑制铂族金属的异物混入至熔融玻璃中。本发明专利技术的玻璃基板的制造方法具备使用澄清管进行熔融玻璃的澄清的澄清步骤。在澄清步骤中，以在熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使熔融玻璃流向澄清管内，一边进行澄清。澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出气相空间内的气体；及供给孔，向气相空间内供给对熔融玻璃呈惰性的气体；通气孔及供给孔在熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置。在澄清步骤中，以气相空间内的氧气浓度成为目标值以下的方式从供给孔供给惰性气体，并且在氧气浓度超过高于目标值的容许值的情况下，使来自通气孔的气体的排出量少于氧气浓度为容许值以下的情况下的供给量。

Manufacturing method of glass substrate and glass substrate manufacturing device

The invention relates to a manufacturing method of a glass substrate and a glass substrate manufacturing device. The present invention is to reduce the oxygen concentration in the clarification tube and suppress the foreign bodies of the platinum group metal into the molten glass. The manufacturing method of the glass substrate of the present invention has the clarification step of using the clarification tube for the clarification of the molten glass. In the clarification step, the molten glass flow to the clarified tube is clarified at the same time by forming the gas phase space above the liquid surface of the molten glass. To clarify the tube is composed of material containing platinum metals, the wall part is arranged in the phase space and the gas has a vent, exhaust gas phase space within the gas supply hole; and, to supply gas phase space of molten glass is inert gas; ventilation holes and supply holes in the molten glass flow direction on separate configuration. In the clarification step, the oxygen concentration in the gas phase space become below target way from the supply gas supply hole inert, and in oxygen concentration above target allowable value, the gas from the hole output from the oxygen concentration is less than the permissible value of supply following the case.

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的制造方法、及玻璃基板制造装置
本专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。
技术介绍
玻璃基板通常是经过从玻璃原料产生熔融玻璃后，将熔融玻璃成形为玻璃基板的步骤来制造。在所述步骤中，包含将熔融玻璃所内包的微小气泡去除的步骤(以下，也称为澄清)。澄清是通过一边对澄清槽的本体(澄清管)进行加热，一边使调配了澄清剂的熔融玻璃通过该澄清管，并通过澄清剂的氧化还原反应将熔融玻璃中的泡去除而进行。更具体来说，进而提高经粗熔解后的熔融玻璃的温度，使澄清剂发挥功能而使泡浮起消泡后，降低温度，由此使熔融玻璃吸收未完全消泡而残留的相对较小的泡。也就是说，澄清包含使泡浮起消泡的消泡处理及使熔融玻璃吸收小泡的吸收处理。与成形前的高温熔融玻璃相接的部件的内壁必须根据与该部件相接的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。例如，构成所述澄清管的材料通常使用铂、铂合金等铂族金属(专利文献1)。铂族金属的熔点高，对熔融玻璃的耐腐蚀性也优异。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2010-111533号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]在熔融玻璃通过将铂族金属用于内壁面的澄清管时，存在于经加热的内壁面上的与气相空间相接的部分，铂族金属被氧化而挥发的情况。另一方面，存在铂族金属的氧化物在温度局部降低的澄清管的位置被还原而附着在内壁面的情况。有附着在内壁面的铂族金属掉落而混入熔融玻璃中，且以异物的形式残留在玻璃基板内的担忧。有包含此种异物的玻璃基板作为缺陷品进行处理的担忧。为了抑制此种铂族金属的挥发，已知有使惰性气体流向澄清管内而降低氧气浓度。可是，得知存在即便使惰性气体流动氧气浓度也不会下降的情况。本专利技术的目的在于降低澄清管内的氧气浓度而抑制铂族金属的异物混入至熔融玻璃中。[解决问题的技术手段]本专利技术包含以下方式的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。(1)：一种玻璃基板的制造方法，其特征在于具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式从所述供给孔供给所述惰性气体时，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第1容许值的情况下，从所述通气孔向所述气相空间供给所述惰性气体。(2)：根据所述(1)所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在从所述供给孔供给所述惰性气体时，于在所述氧气浓度超过所述第1容许值之前超过作为低于所述第1容许值且高于所述目标值的氧气浓度的第2容许值的情况下，使来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量多于所述氧气浓度为所述目标值以下的情况下的来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量。(3)：根据所述(1)或所述(2)所述的玻璃基板的制造方法，其以因随着所述澄清管的使用而所述通气孔与所述供给孔之间的所述壁部的部分变形而引起所述氧气浓度在所述流动方向上变得不均匀的方式供给所述惰性气体。(4)：根据所述(1)至所述(3)中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其以减少从随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔流入至所述气相空间内的外部气体的流入量的方式供给所述惰性气体。(5)：根据所述(1)至所述(4)中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其利用随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔的位置与因所述开孔而引起变化的所述氧气浓度的变化之间的预先求出的对应关系，并根据所述通气孔中的所述氧气浓度的测量值的变化的信息特定出所述开孔的位置。(6)：根据所述(5)所述的玻璃基板的制造方法，其根据沿着所述流动方向的所述开孔与所述通气孔的距离的大小调节所述惰性气体的供给量。(7)：根据所述(5)或所述(6)所述的玻璃基板的制造方法，其还从特定出所述位置的所述开孔向所述气相空间内供给所述惰性气体。(8)：根据所述(1)至所述(7)中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在以所述氧气浓度成为目标值以下的方式以经控制的供给量从所述供给孔供给所述惰性气体，且以经控制的排出量从所述通气孔排出所述气体时，在所述氧气浓度超过所述第1容许值的情况下，减少来自所述通气孔的所述气体的排出量。(9)：一种玻璃基板的制造方法，其特征在于具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式以经控制的供给量从所述供给孔供给所述惰性气体，且以经控制的排出量从所述通气孔排出所述气体时，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第3容许值的情况下，减少来自所述通气孔的所述气体的排出量。(10)：根据所述(9)所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在减少来自所述通气孔的所述气体的排出量后，使来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量多于所述氧气浓度为所述目标值以下的情况下的供给量。(11)：如所述(9)或所述(10)所述的玻璃基板的制造方法，其以减少从随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔流入至所述气相空间内的外部气体的流入量的方式减少所述气体的排出量。(12)：如所述(9)至(11)中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其利用随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔的位置与因所述开孔而引起变化的所述氧气浓度的变化之间的预先求出的对应关系，并根据所述通气孔中的所述氧气浓度的测量值的变化的信息特定出所述开孔的位置。(13)根据所述(12)所述的玻璃基板的制造方法，其根据沿着所述流动方向的所述开孔与所述通气孔的距离的大小调节所述气体的排出量。(14)根据所述(12)或所述(13)所述的玻璃基板的制造方法，其还从特定出所述位置的开孔向所述气相空间内供给所述惰性气体。(15)根据所述(5)至所述(7)及所述(12)至所述(14)中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中所述开孔的直径为通气孔的直径的50％以上的大小。(16)根据所述(1)至所述(15)中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中所述惰性气体的供给量是以所述澄清后的熔融玻璃不会产生泡的方式调节。(17)：一种玻璃基板制造装置，其特征在于具备：澄清管，以在熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃通过，一边进行所述熔融玻璃的澄清，并且由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，且在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式从所述供给孔供给所述惰性气体时，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第1容许值的情况下，从所述通气孔向所述气相空间供给所述惰性气体。

【技术特征摘要】
2016.09.30 JP 2016-194468;2016.09.30 JP 2016-194541.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，且在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体中的氧气浓度成为目标值以下的方式从所述供给孔供给所述惰性气体时，在所述氧气浓度超过高于所述目标值的第1容许值的情况下，从所述通气孔向所述气相空间供给所述惰性气体。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在从所述供给孔供给所述惰性气体时，于在所述氧气浓度超过所述第1容许值之前超过作为低于所述第1容许值且高于所述目标值的氧气浓度的第2容许值的情况下，使来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量多于所述氧气浓度为所述目标值以下的情况下的来自所述供给孔的所述惰性气体的供给量。3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其利用随着所述澄清管的使用而形成在所述壁部的开孔的位置与因所述开孔而引起变化的所述氧气浓度的变化之间的预先求出的关系，并根据所述通气孔中的所述氧气浓度的测量值的变化的信息特定出所述开孔的位置。4.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其进而从特定出所述位置的开孔向所述气相空间内供给所述惰性气体。5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述澄清步骤中，在以所述氧气浓度成为目标值以下的方式以经控制的供给量从所述供给孔供给所述惰性气体，且以经控制的排出量从所述通气孔排出所述气体时，在所述氧气浓度超过所述第1容许值的情况下，减少来自所述通气孔的所述气体的排出量。6.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：具备澄清步骤，所述澄清步骤使用澄清管进行熔融玻璃的澄清，且在所述澄清步骤中，以在所述熔融玻璃的液面的上方形成气相空间的方式一边使所述熔融玻璃流向所述澄清管内，一边进行所述澄清，所述澄清管是由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部具有：通气孔，排出所述气相空间内的气体；及供给孔，向所述气相空间内供给对所述熔融玻璃呈惰性的气体；所述通气孔及所述供给孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开配置，在所述澄清步骤中，在以从所述通气孔排出的所述气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：张钧奕，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，安瀚视特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP