全自动探针台及其工作台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种全自动探针台及其工作台，包括：台座；与所述台座竖向间隔布置的、用于承载待测件的载片台；设置于所述台座上的驱动机构；以及，受所述驱动机构驱使以部分伸出所述载片台用于承接所述待测件的、由若干顶针组成的顶针组件，所述载片台设有供所述顶针伸出的穿孔，当承接有所述待测件的所述顶针接触所述待测件的一端收缩至所述穿孔内时所述待测件放置于所述载片台上。待测件受顶针组件的承托作用难以直接掉落在载片台上，以达到保护待测件的目的。

【技术实现步骤摘要】
全自动探针台及其工作台
本技术涉及电子元器件检测
，特别涉及一种全自动探针台及其工作台。
技术介绍
全自动探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及电子元器件的质量测试。随着科技的发展，电子元器件的体积越来越小，通常将多个电子元器件集成于一片状的底板上以形成待测件，方便后续进行检测。对待测件进行检测之前，通常需要将待测件放置于一工作台上。但是，在向工作台上放待测件的过程中，为了提升检测效率，通常采取机械手输送待测件，通常工作台上用于承载待测件的表面和机械手上的待测件之间预留有一定的高度差以确保机械手能顺利输送待测件，在重力作用下待测件直接掉落到工作台上可能会使待测件上的电子元器件被撞伤，故有待改进。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种全自动探针台及其工作台，解决了在重力作用下待测件直接掉落到工作台上可能会使待测件上的电子元器件被撞伤的问题。本技术第一方面提供一种全自动探针台的工作台，包括：台座；与所述台座竖向间隔布置的、用于承载待测件的载片台；设置于所述台座上的驱动机构；以及，受所述驱动机构驱使以部分伸出所述载片台用于承接所述待测件的、由若干顶针组成的顶针组件，所述载片台设有供所述顶针伸出的穿孔，当承接有所述待测件的所述顶针接触所述待测件的一端收缩至所述穿孔内时所述待测件放置于所述载片台上。实现上述方案的工作台，在将待测件放置于载片台上的过程中，驱动机构先驱使部分顶针伸出穿孔以抵接于待测件的下方，在顶针朝穿孔内收缩的过程中逐步将待测件引导至载片台上，继而待测件难以在重力作用下直接掉落到载片台上，对待测件上的电子元器件具有较佳的保护作用。结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述驱动机构包括：固定装配于所述台座上的气缸；供所述顶针固定安装的安装件；以及，设于所述气缸的伸缩杆和所述安装件之间的、以使所述安装件相对于所述气缸水平方向错位布置的连接件。实现上述方案的工作台，气缸的伸缩杆动作带动连接件升降，进而带动安装件升降以使顶针伸出及回缩与穿孔，同时连接件使得安装件相对于气缸水平方向错位布置，从而在安装件的正下方留出了更大的空间以用于安装其他零部件，具有结构稳定及节省空间的效果。结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述连接件包括：一端设置于所述气缸的伸缩杆上的、相对于所述台座水平布置的板件；以及，设置于所述安装件和所述板件另一端之间的、相对于所述台座竖向布置的杆件。实现上述方案的工作台，杆件和板件组合安装，实现了气缸的活塞杆和安装件之间的可靠、稳定连接。结合第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述工作台还包括：设于所述板件上的、相对于所述台座水平布置的条形挡片，设于所述台座上的安装架，以及，设于所述安装架上的、与所述条形挡片配合且竖向间隔布置的、当所述板件升降至极限位置时以向一控制中心反馈信息的第一传感器和第二传感器。实现上述方案的工作台，在气缸驱动顶针升降的过程中，顶针位于最高点时意味着顶针已经接触待测件，顶针位于最低点时意味着待测件已经放置于载片台上，板件也会相应升降，当板件带动条形挡片升降至极限位置时，第一传感器或第二传感器向一控制中心反馈上述信息，进而有利于控制中心控制其他部件动作以配合对待测件进行检测。结合第一方面，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述工作台还包括：带轮结构以及伺服电机，所述伺服电机设于所述台座上且通过所述带轮结构驱使所述载片台沿竖向轴线方向自由旋转。实现上述方案的工作台，伺服电机通过带轮结构驱使载片台沿竖向轴线方向自由旋转，从而可以带动载片台上的待测件自由旋转，方便对待测件进行检测。结合第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述工作台还包括：设于所述载片台上的、相对于所述载片台竖向布置的弧形挡片，以及，设于所述台座上的、与所述弧形挡片配合且竖向布置的、当所述载片台旋转至极限位置时以控制所述伺服电机关闭的第三传感器。实现上述方案的工作台，在伺服电机驱动载片台旋转的过程中，载片台旋转至极限位置时，弧形挡片刚好处于旋进或者旋出第三传感器的状态，从而第三传感器可以通过判断其是否被弧形挡片隔挡来实现监测载片台是否旋至极限位置，有效防止载片台旋转过度，有利于待测件被检测。结合第一方面，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述载片台的用于承接所述待测件的表面设有若干负压孔，所述载片台的内部设有若干与所述负压孔及一负压系统连通的通道以当所述负压系统开启时将所述待测件吸附于所述载片台的所述表面上。实现上述方案的工作台，负压系统开启会通过通道及负压孔实现将待测件吸附固定于载片台上，进而待测件更加稳定，进一步有利于待测件被检测。结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，所述载片台呈圆柱形状，所述顶针的数量为三根且与所述载片台同轴线均匀布置。实现上述方案的工作台，三根顶针对待测件具有良好的承托作用，进而待测件在下降过程中更加稳定，同时三根均匀布置，有效确保重心不偏移，进一步确保待测件的稳定性。结合第一方面的第七种可能的实现方式，在第一方面的第八种可能的实现方式中，所述顶针包括：与所述安装件固定装配的安装部分，以及，与所述安装部分可拆卸式装配以接触所述待测件的软质橡胶部分。实现上述方案的工作台，软质橡胶部分具有质软的优点，从而软质橡胶部分接触待测件时，难以破坏待测件上的电子元器件。本技术第二方面提供一种全自动探针台，包括：如上述的工作台，与所述工作台的所述台座横向滑动式装配的第一底座，驱使所述工作台相对于所述第一底座横向滑动的第一动力件，与所述第一底座纵向滑动式装配的第二底座，以及，驱使所述工作台、所述第一动力件及所述第一底座相对于所述第二底座纵向滑动的第二动力件。实现上述方案的全自动探针台，第一动力件动作以驱使工作台相对于第一底座横向滑动，第二动力件动作以驱使工作台及第一底座相对于第二底座横向滑动，从而可以带动载片台上的待测件相对于第二底座横向和/或纵向移动，方便对待测件进行检测。综上所述，本技术实施例具有以下有益效果：其一，通过顶针的承托作用，待测件难以直接掉落至载片台上，对待测件具有较佳的保护作用；其二，结构紧凑、稳定，占用空间小，安装、维护方便。附图说明图1是本技术实施例一的结构示意图；图2是本技术实施例一中驱动机构、钉针、条形挡片、安装架、第一传感器及第二传感器的结构示意图；图3是本技术实施例二的结构示意图。附图标记：1、第一底座；2、第二底座；3、第一动力件；31、第一丝杆；32、第一电机；4、第二动力件；41、第二丝杆；42、第二滑套；5、工作台；51、台座；52、载片台；521、穿孔；522、负压孔；53、驱动机构；531、气缸；532、安装件；533、连接件；5331、板件；5332、杆件；54、顶针；541、安装部分；542、软质橡胶部分；55、条形挡片；56、安装架；57、第一传感器；58、第二传感器；59、带轮结构；510、伺服电机；511、弧形挡片；512、第三传感器；6、第二导轨；7、第二滑块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动探针台的工作台，其特征在于，包括：台座(51)；与所述台座(51)竖向间隔布置的、用于承载待测件的载片台(52)；设置于所述台座(51)上的驱动机构(53)；以及，受所述驱动机构(53)驱使以部分伸出所述载片台(52)用于承接所述待测件的、由若干顶针(54)组成的顶针组件，所述载片台(52)设有供所述顶针(54)伸出的穿孔(521)，当承接有所述待测件的所述顶针(54)接触所述待测件的一端收缩至所述穿孔(521)内时所述待测件放置于所述载片台(52)上。

【技术特征摘要】
1.一种全自动探针台的工作台，其特征在于，包括：台座(51)；与所述台座(51)竖向间隔布置的、用于承载待测件的载片台(52)；设置于所述台座(51)上的驱动机构(53)；以及，受所述驱动机构(53)驱使以部分伸出所述载片台(52)用于承接所述待测件的、由若干顶针(54)组成的顶针组件，所述载片台(52)设有供所述顶针(54)伸出的穿孔(521)，当承接有所述待测件的所述顶针(54)接触所述待测件的一端收缩至所述穿孔(521)内时所述待测件放置于所述载片台(52)上。2.根据权利要求1所述的工作台，其特征在于，所述驱动机构(53)包括：固定装配于所述台座(51)上的气缸(531)；供所述顶针(54)固定安装的安装件(532)；以及，设于所述气缸(531)的伸缩杆和所述安装件(532)之间的、以使所述安装件(532)相对于所述气缸(531)水平方向错位布置的连接件(533)。3.根据权利要求2所述的工作台，其特征在于，所述连接件(533)包括：一端设置于所述气缸(531)的伸缩杆上的、相对于所述台座(51)水平布置的板件(5331)；以及，设置于所述安装件(532)和所述板件(5331)另一端之间的、相对于所述台座(51)竖向布置的杆件(5332)。4.根据权利要求3所述的工作台，其特征在于，所述工作台还包括：设于所述板件(5331)上的、相对于所述台座(51)水平布置的条形挡片(55)，设于所述台座(51)上的安装架(56)，以及，设于所述安装架(56)上的、与所述条形挡片(55)配合且竖向间隔布置的、当所述板件(5331)升降至极限位置时以向一控制中心反馈信息的第一传感器(57)和第二传感器(58)。5.根据权利要求1所述的工作台，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振辉，林生财，王胜利，杨波，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44