一种水听器集成模块制造技术

本实用新型专利技术提供了一种水听器集成模块，其集成度高，功能丰富且其体积较小，重量轻，容易满足小尺寸安装环境的要求，包括基板，基板上设置有水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片，水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片分别封装在注塑层中，水听器传感器上端设有与环境声学连通的声进入开口，压力传感器上端遇有外部连通的感应开口，水听器传感器通过导线和设置在基板内的导电走线连接压力传感器，水听器传感器和压力传感器分别通过导线连接设置在基板内的导电走线，通讯模块和ASIC芯片分别通过焊球连接导电走线，导电走线连接设置在基板的下表面上的底部焊盘。

A hydrophone integrated module

【技术实现步骤摘要】
一种水听器集成模块
本技术涉及水听器
，具体为一种水听器集成模块。
技术介绍
水听器，又称水下传声器，其能够将水下的压力变化而产生声信号转换为电信号，从而能够可靠的得到水下的压力，常被用于声场的测绘、声传感器的检测标定以及超声设备的检测校准和性能评估等声学领域的研究。随着科学技术的不断发展和进步，水听器的应用技术也逐渐发展成熟。现有技术中，水听器通常都是单一器件，功能较为单一，需要许多外部的元器件配合协同工作，集成度低，导致整个水听器装置的结构复杂，尺寸难以做小，难以微型化，严重影响了使用的便携性和适用性。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种水听器集成模块，其集成度高，功能丰富且其体积较小，重量轻，容易满足小尺寸安装环境的要求。其技术方案是这样的：一种水听器集成模块，包括基板，其特征在于：所述基板上设置有水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片，所述水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片分别封装在注塑层中，所述水听器传感器上端设有与环境声学连通的声进入开口，所述压力传感器上端遇有外部连通的感应开口，所述水听器传感器通过导线和设置在所述基板内的导电走线连接所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水听器集成模块，包括基板，其特征在于：所述基板上设置有水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片，所述水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片分别封装在注塑层中，所述水听器传感器上端设有与环境声学连通的声进入开口，所述压力传感器上端遇有外部连通的感应开口，所述水听器传感器通过导线和设置在所述基板内的导电走线连接所述压力传感器，所述水听器传感器和所述压力传感器分别通过导线连接设置在所述基板内的导电走线，所述通讯模块和所述ASIC芯片分别通过焊球连接所述导电走线，所述导电走线连接设置在所述基板的下表面上的底部焊盘。

【技术特征摘要】
1.一种水听器集成模块，包括基板，其特征在于：所述基板上设置有水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片，所述水听器传感器、压力传感器、通讯模块和ASIC芯片分别封装在注塑层中，所述水听器传感器上端设有与环境声学连通的声进入开口，所述压力传感器上端遇有外部连通的感应开口，所述水听器传感器通过导线和设置在所述基板内的导电走线连接所述压力传感器，所述水听器传感器和所述压力传感器分别通过导线连接设置在所述基板内的导电走线，所述通讯模块和所述ASIC芯片分别通过焊球连接所述导电走线，所述导电走线连接设置在所述基板的下表面上的底部焊盘。2.根据权利要求1所述的一种水听器集成模块，其特征在于：所述水听器传感器包括第一传感器晶圆，所述第一传感器晶圆的上表面通过刻蚀形成柱状凸起，所述第一传感器晶圆的上表面与第二传感器晶圆的下表面真空键合形成空腔，所述第二传感器晶圆的上表面上形成自上至下分别为上金属导电层、压电材料层...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓宏，林挺宇，俞学东，罗九斌，
申请(专利权)人：纽威仕微电子无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32