The invention discloses a preparation method of a flexible capacitor, first clean the flexible substrate, then the polyimide and epoxy resin mixture, which added to the organic solvent of ethylene glycol monomethyl ether and stir evenly, the polyimide, epoxy resin, ethylene glycol monomethyl ether and the mass ratio of 1: 0.65:0.35; then the flexible substrate after vacuum cleaning the adsorption in the uniform plastic table, using mixture evenly coated on a flexible substrate, polyimide / epoxy resin composite membrane; composite membrane at 50~70 C and 160~200 C heating curing polyimide / epoxy resin composite membrane, when the temperature is reduced to 80 DEG C, and then removed, in the preparation of metal electrode using the above composite film mask system prepared, flexible capacitor. The capacitance of the invention is moderate (80 ~ 90pF test frequency is 100kHz), and the device has good stability and simple preparation process, which provides excellent component basis for the research and development of flexible electronic devices.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性电容器的制备方法
本专利技术是关于电子信息材料与元器件的,具体涉及一种柔性电容器的制备方法。
技术介绍
柔性电子学是一种把电子器件安装在柔性衬底上组成柔性电子线路的技术。柔性电子具有重量轻、便携、可变形、易于大面积生产等优点,应用领域非常广泛,具体包括健康医疗如人造器官、移动医疗、“人联网”工程;可穿戴智能设备用于航空航天、深海探测等;军事国防领域应用柔性电子技术可实现单兵通信、隐身的功能,提高战场作战的机动性和隐蔽性。在各种高、低频电路中,电容器起到耦合、谐振、滤波、退耦、旁路等作用,是电子线路重要的元器件。因此,实现电容器的柔性化是柔性电路面临的关键问题之一。聚酰亚胺是一类以酰亚胺基团为特征结构的聚合物,具有突出的耐热性、优良的电学性能、机械性能和化学稳定性能等,在航天航空、微电子、精密机械、汽车、医疗器械等许多高新
具有广阔的应用前景。聚酰亚胺的介电常数一般为3~3.5,对温度和频率的依赖性小,并且具有高电阻率和高介电强度,是一种优良的介电材料。我们以聚酰亚胺为基体制备柔性电容器,具有潜在应用价值,有望推动柔性电子学的发展。
技术实现思路
本专利技术的目的,在于适应柔性电子学的需要,提供一种柔性电容器的制备方法。本专利技术通过如下技术方案予以实现。一种柔性电容器的制备方法,具体步骤如下:(1)清洗柔性衬底将柔性衬底商用铜箔放入丙酮中超声清洗20分钟,用去离子水冲洗后烘干,将烘干后的柔性衬底放入酒精中清洗20分钟,用去离子水冲洗后用氮气吹干;(2)制备聚酰亚胺/环氧树脂复合体系用电子天平称取聚酰亚胺和环氧树脂,随后将其混合,向其中加入有机溶剂 ...
【技术保护点】
一种柔性电容器的制备方法,具体步骤如下:(1)清洗柔性衬底将柔性衬底商用铜箔放入丙酮中超声清洗20分钟,用去离子水冲洗后烘干,将烘干后的柔性衬底放入酒精中清洗20分钟,用去离子水冲洗后用氮气吹干;(2)制备聚酰亚胺/环氧树脂复合体系用电子天平称取聚酰亚胺和环氧树脂,随后将其混合,向其中加入有机溶剂乙二醇甲醚并搅拌均匀,完成后置入超声清洗器中超声10~20分钟,使溶液混合均匀,再将混合溶液静置,去除振荡过程中产生的气泡;所述聚酰亚胺、环氧树脂、乙二醇甲醚的质量比为1:0.65:0.35;(3)将步骤(1)清洗后的柔性衬底真空吸附在匀胶台上,使柔性衬底固定,用滴管将步骤(2)中的混合溶液均匀涂覆在柔性衬底上,低转速0.5~0.8千转/分钟,旋涂9~15秒,高转速3~6千转/分钟,旋涂40~60秒,得到聚酰亚胺/环氧树脂复合膜;(4)将步骤(3)旋涂聚酰亚胺/环氧树脂复合膜的制品放入电热干燥箱中,蒸发有机溶剂乙二醇甲醚,在50~70℃温度下加热1.5~3小时,随后在160~200℃温度下加热1~3小时,固化聚酰亚胺/环氧树脂复合膜;(5)将步骤(4)的制品温度降至80℃以下时,取出;(6)步 ...
【技术特征摘要】
1.一种柔性电容器的制备方法,具体步骤如下:(1)清洗柔性衬底将柔性衬底商用铜箔放入丙酮中超声清洗20分钟,用去离子水冲洗后烘干,将烘干后的柔性衬底放入酒精中清洗20分钟,用去离子水冲洗后用氮气吹干;(2)制备聚酰亚胺/环氧树脂复合体系用电子天平称取聚酰亚胺和环氧树脂,随后将其混合,向其中加入有机溶剂乙二醇甲醚并搅拌均匀,完成后置入超声清洗器中超声10~20分钟,使溶液混合均匀,再将混合溶液静置,去除振荡过程中产生的气泡;所述聚酰亚胺、环氧树脂、乙二醇甲醚的质量比为1:0.65:0.35;(3)将步骤(1)清洗后的柔性衬底真空吸附在匀胶台上,使柔性衬底固定,用滴管将步骤(2)中的混合溶液均匀涂覆在柔性衬底上,低转速0.5~0.8千转/分钟,旋涂9~15秒,高转速3~6千转/分钟,旋涂40~60秒,得到聚酰亚胺/环氧树脂复合膜;(4)将步骤(3)旋涂聚酰亚胺/环氧树脂复合膜的制品放入电热干燥箱中,蒸发有机溶剂乙二醇甲醚,在50~70℃温度下加热1....
【专利技术属性】
技术研发人员:李玲霞,郑浩然,于仕辉,陈思亮,孙正,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:天津,12
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