退火装置及退火方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种退火装置及其退火方法。所述退火装置包括退火腔体及与所述退火腔体相连通的抽气辅助器。所述退火腔体包括存放腔体、与所述存放腔体连通的输送腔体及开盖。所述输送腔体上设有输送口。所述开盖盖合所述输送口，以使所述退火腔体封闭。所述存放腔体用以对所述基板进行退火。所述输送腔体用以为所述基板进出所述存放腔体提供通道。所述输送腔体靠近所述输送口处设有通孔。所述通孔连通所述抽气辅助器。所述抽气辅助器用于在打开所述开盖后，对所述退火腔体抽气，以减少外界空气进入所述退火腔体中。

【技术实现步骤摘要】
退火装置及退火方法
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种退火装置及退火方法。
技术介绍
由于低温多晶硅(LTPS)的液晶显示器具有分辨率、亮度、尺寸及抗电磁干扰等各方面的优势，液晶显示器厂商的研发重心转向这一领域。在考虑薄薄膜质量与产量要求的情况下，在低温多晶硅工艺中常利用激光退火技术将沉积有非晶硅薄膜的基板处理成为多晶硅结构，例如准分子激光退火技术(ExcimerLaserAnnealing，ELA)，此技术是以激光作为热源，并将能量均匀分布的激光束投射于沉积有非晶硅薄膜的基板上，以使非晶硅结晶成为多晶硅结构。在低温多晶硅(LTPS)的液晶显示器生产制程中，沉积有非晶硅薄膜的基板被送进准分子激光退火设备时，需要打开准分子激光退火设备，在此过程中，会有氧气进入准分子激光退火设备中，致使准分子激光退火设备内氧气浓度偏高，导致多晶硅结构生长不均匀，从而影响LTPS的工艺制程及液晶显示器的品质。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种退火装置及退火方法，以提高液晶显示器的品质。本专利技术提供了一种退火装置，用于对基板进行退火，所述退火装置包括退火腔体及与所述退火腔体相连通的抽气辅助器，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种退火装置，用于对基板进行退火，其特征在于，所述退火装置包括退火腔体及与所述退火腔体相连通的抽气辅助器，所述退火腔体包括存放腔体、与所述存放腔体连通的输送腔体及开盖，所述输送腔体上设有输送口，所述开盖盖合所述输送口，以使所述退火腔体封闭；所述存放腔体用以对所述基板进行退火，所述输送腔体用以为所述基板进出所述存放腔体提供通道，所述输送腔体靠近所述输送口处设有通孔，所述通孔连通所述抽气辅助器，所述抽气辅助器用于在打开所述开盖后，对所述退火腔体抽气，以减少外界空气进入所述退火腔体中。

【技术特征摘要】
1.一种退火装置，用于对基板进行退火，其特征在于，所述退火装置包括退火腔体及与所述退火腔体相连通的抽气辅助器，所述退火腔体包括存放腔体、与所述存放腔体连通的输送腔体及开盖，所述输送腔体上设有输送口，所述开盖盖合所述输送口，以使所述退火腔体封闭；所述存放腔体用以对所述基板进行退火，所述输送腔体用以为所述基板进出所述存放腔体提供通道，所述输送腔体靠近所述输送口处设有通孔，所述通孔连通所述抽气辅助器，所述抽气辅助器用于在打开所述开盖后，对所述退火腔体抽气，以减少外界空气进入所述退火腔体中。2.如权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述输送口与所述存放腔体相对设置，所述输送腔体一端固定连接所述存放腔体，另一端形成所述输送口的边缘。3.如权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述输送腔体包括相对设置的内壁和外壁，所述通孔贯穿于所述内壁和所述外壁，且分别在所述内壁和所述外壁上形成第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口相错开。4.如权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述第一开口位于靠近所述输送口的一侧，以抽取从所述输送口进入的空气。5.如权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述退火装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺凯华，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42