温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种退火装置及其退火方法。所述退火装置包括退火腔体及与所述退火腔体相连通的抽气辅助器。所述退火腔体包括存放腔体、与所述存放腔体连通的输送腔体及开盖。所述输送腔体上设有输送口。所述开盖盖合所述输送口，以使所述退火腔体封闭。所述存放...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。