离子泵中的离子轨道操纵构造制造技术

一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。

Ion orbit control structure in ion pump

An ion pump includes an anode, a back surface with at least one surface structure extending toward the anode, and a cathode positioned between the anode and the back surface and having an opening to make at least one surface structure aligned with the opening.

【技术实现步骤摘要】
离子泵中的离子轨道操纵构造
技术介绍
超高真空是特征为压力低于10-7帕斯卡（pascal）（10-9mbar，大约10-9tor）的真空区域。离子泵用在一些设置中以建立超高真空。在离子泵中，圆柱形阳极管的阵列布置在两个阴极板之间，使得每个管的开口面向阴极板中的一个。电势施加在阳极和阴极之间。与此同时，阴极板的相对侧上的磁体产生与阳极圆柱的轴线对准的磁场。离子泵通过在圆柱形阳极内通过电势与磁场的组合而捕获电子来操作。当气体分子漂移至一个阳极中时，被捕获的电子撞击所述分子导致所述分子离子化。得到的带正电离子由在阳极与阴极之间的电势朝向阴极板中的一个而加速，在圆柱形阳极中留下被剥离的电子以用于其它气体分子的进一步离子化。带正电离子最终由阴极捕获并由此从抽真空的空间移除。通常，通过溅射事件（sputteringevent）捕获带正电离子，其中带正电离子导致来自阴极的材料被溅射至泵的真空腔室中。该被溅射的材料涂覆了泵内的表面并且用于捕获在泵内移动的额外的粒子。因此，期望最大化被溅射材料的量。以上讨论仅为了普通背景信息而提供并且并非旨在用作确定所请求保护主题的范围的辅助。所请求保护的主题不限于解决了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子泵，包括：阳极；具有朝向所述阳极延伸的至少一个表面结构的背表面；阴极，定位在所述阳极和所述背表面之间并具有开口，使得所述至少一个表面结构与所述开口对准。

【技术特征摘要】
2016.09.08 US 15/2594241.一种离子泵，包括：阳极；具有朝向所述阳极延伸的至少一个表面结构的背表面；阴极，定位在所述阳极和所述背表面之间并具有开口，使得所述至少一个表面结构与所述开口对准。2.根据权利要求1所述的离子泵，其中，所述阳极包括圆柱，并且其中，所述阴极中的所述开口与所述圆柱中的开口对准。3.根据权利要求1所述的离子泵，其中，所述至少一个表面结构延伸至所述阴极中的所述开口中。4.根据权利要求1所述的离子泵，进一步包括多个阳极，其中，所述阴极进一步包括多个开口，并且其中，所述背表面进一步包括多个表面结构，每个表面结构朝向各自的阳极延伸并且与所述阴极中的各自的开口对准。5.根据权利要求4所述的离子泵，其中，所述多个阳极中的每一个包括圆柱，并且其中，所述阴极中的每个开口与所述多个阳极中的一个中的各自的开口对准。6.根据权利要求4所述的离子泵，其中，所述多个表面结构中的一些朝向所述各自的阳极比所述多个表面结构中的其它延伸得更远。7.根据权利要求1所述的离子泵，在所述阴极的面向所述阳极的一侧上进一步包括NEG材料。8.根据权利要求1所述的离子泵，在所述阴极的面向所述背表面的一侧上进一步包括NEG材料。9.一种离子泵，包括：具有开口的圆柱形阳极；以及具有与所述圆柱形阳极的所述开口对准的开口的阴极板。10.根据权利要求9所述的离子泵，进一步包括与所述阴极板中的所述开口对准的柱体。11.根据权利要求10所述的离子泵，其中，所述柱体延伸至所述阴极板中的所述开口中。12.根据权利要求9所述的离子泵，进一步包括：多个圆柱形阳极，每个具有各自的开口；其中，所述阴极板进一步包括多个开口，每个开口与所述多个圆柱形阳极的各自一个中的各自的开口对准。13.根据权利要求12所述的离子泵，进一步包括多个柱体，每个柱体...

【专利技术属性】
技术研发人员：A怀诺拉德，J兰格伯格，
申请(专利权)人：爱德华兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国,US