公开了一种用于限制流入低温泵的气体的流率的限流器以及所述低温泵。所述限流器被配置成安装在所述低温泵的入口中，所述限流器包括：用于提供进入所述低温泵的气体流动路径的入口部件；遮挡板，其被安装成至少部分遮蔽通过所述入口部件的所述气体流动路径；以及将所述遮挡板联接到所述入口部件的中间部件，所述中间部件包括至少一个孔隙，所述至少一个孔隙限定进入所述低温泵的至少一个气体流动路径。所述遮挡板被配置成遮挡通过所述入口部件的所述气体流动路径，使得当安装在所述低温泵上时，不存在通过所述入口部件到达所述低温泵内的低温面板的直接视线路径。的低温面板的直接视线路径。的低温面板的直接视线路径。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低温泵和用于低温泵的入口限流器
[0001]本专利技术的领域涉及低温泵，并且涉及一种用于低温泵的入口限流器。
技术介绍
[0002]可以使用限流器板或节流板来限制进入低温泵的气体流，以便限制泵的泵送速度，并且在例如PVD物理气相沉积工艺中在工艺室中维持所期望的压力。这些限流器板常规上已经设置有具有不同几何形状的多个孔口，II类和III类气体通过这些孔口进入泵，并且这些孔口的大小和数量控制流率或速度。具有孔或孔口的板的潜在问题在于，在粘性流动或连续流动期间，这些孔口具有泵中的第二级低温面板的视线视野，并且这增加了辐射热负荷，并且可能导致这些位点处的优先气体泵送。优先的气体泵送可能致使冷凝为“霜”的气体分子柱从第二级低温面板朝向板开口向上生长、特别是在高气体流率期间。随着这些柱变得离低温面板更远，其变得更热，接收增加的辐射负荷，并且可能开始脱气，因此升高所述室中的压力。因辐射负荷和/或较热的气体柱所致的增加的第二级温度致使II类气体的蒸汽压力升高，并且泵/室中的压力随之升高。II类气体是在低温泵的第二级低温面板的温度下冷凝的诸如氮气的气体，而III类气体在这些温度下并不冷凝，并且通常被低温面板上的吸附剂捕获。
[0003]图1示出了根据现有技术的具有节流板或限流器板5的低温泵的实例。限流器板5跨越泵的入口安放，并且包括多个孔口7，气体通过这些孔口流入泵。针对泵的所期望的泵送速度选择孔口的大小。该泵是低温泵，并且具有制冷器单元15，制冷器单元15具有连接到泵的内部壳体的第一制冷器热站10，泵的内部壳体与真空容器9的外部壳体绝缘。其还具有连接到第二级低温面板12和其他吸附剂低温面板13的第二级热站11。上部低温面板12将在该低温面板的上表面上经历霜聚积14，其中特定的聚积在对应于孔口7的位置处形成尖顶。不均匀的霜聚积以及辐射热负荷的潜在问题在于，室内部的压力恢复花费更长时间，并且可能需要更快地进行再生。
[0004]将期望提供一种其中再生之间的时间增加并且室内部的压力恢复时间减少的低温泵。
技术实现思路
[0005]第一方面提供一种用于限制流入低温泵的气体的流率的限流器，所述限流器被配置成安装在所述低温泵的入口中，所述限流器包括：用于提供进入所述低温泵的气体流动路径的入口部件；遮挡板，其被安装成至少部分遮蔽通过所述入口部件的所述气体流动路径；以及将所述遮挡板联接到所述入口部件的中间部件，所述中间部件包括至少一个孔隙，所述至少一个孔隙限定进入所述低温泵的至少一个气体流动路径；其中所述遮挡板被配置成遮挡通过所述入口部件的所述气体流动路径，使得当安装在所述低温泵上时，不存在通过所述入口部件到达所述低温泵内的低温面板的直接视线路径。
[0006]在一些实施例中，入口部件位于平行于并偏离所述遮挡板的平面中，使得当安装
在所述低温泵上时，所述入口部件位于所述低温泵的所述泵送室与所述遮挡板之间。
[0007]专利技术人认识到与安装在低温泵的入口上的常规限流器板相关联的问题，并且通过提供具有从遮挡板轴向移位的入口部件的两级限流器来解决这些问题。遮挡板遮挡入口部件以防气体通过入口进入泵，从而迫使气体围绕遮挡板并经由中间部件到达通过入口部件的气体流动路径。因此，进入低温泵的气体通过中间部件中的至少一个孔隙在遮挡部件周围转向并进入通过入口部件的流动路径。以此方式，通过遮挡元件将入口的直接视线与低温面板隔开，并且避免由直接看向低温面板的孔口提供的优先泵送路径。
[0008]在一些实施例中，所述入口部件具有定界孔口的环形形式，所述孔口限定所述气体流动路径。形成单个孔口的入口部件的环形形式实现跨越入口的横截面积的更均匀的流动，并且帮助抑制霜在低温面板上在特定位点处的优先聚积。
[0009]在一些实施例中，所述中间部件包括多个孔隙。
[0010]中间部件可以设置有围绕联接遮挡板和入口部件的表面延伸的单个孔隙，或者其可以具有多个孔隙。根据低温泵的要求，可以选择孔隙的大小和/或孔隙的数量以将流量限制到所期望的量。在存在多个孔隙的情况下，选择孔隙的大小和数量两者可以实现对流率的精确控制。
[0011]在一些实施例中，所述中间部件的包括所述至少一个孔隙的表面与所述遮挡板成120
°
和60
°
之间的角度。
[0012]有利的是，中间部件相对于遮挡板和入口部件成角度，使得孔隙并不直接看向低温面板。在这方面，可能有利的是，其与遮挡板的平面成60
°
和120
°
之间的角度，并且在一些实施例中，有利的是，其基本上垂直于遮挡板。
[0013]在一些实施例中，所述中间部件包括圆柱体。
[0014]在一些实施例中，所述入口部件的外周边延伸超过所述遮挡板的外周边。
[0015]遮挡板和入口部件的有利几何形状可能是使得遮挡板不延伸远至入口部件的外周界，而是延伸得比入口部件的孔口的外周界更远。以此方式，孔口被遮挡板直接遮挡，但是提供气体围绕遮挡板的边缘进入泵、并且然后通过中间部件的路径。
[0016]虽然遮挡板和入口部件的几何形状可以具有多种形式，诸如矩形、正方形或卵形，但是在一些实施例中，所述遮挡板和所述内部部件具有大致圆形的外周界。
[0017]低温泵的圆形横截面通常有利于更均匀的流动。
[0018]在一些实施例中，所述中间部件的所述至少一个孔隙被配置成将进入所述低温泵的流限制到预先确定的流率。
[0019]可以根据在由低温泵抽空的室中实施的工艺的所期望的流率选择中间部件的(一个或多个)孔隙的大小和/或数量。
[0020]第二方面提供一种低温泵，其包括：泵入口；制冷单元；被配置成由所述制冷单元冷却的低温面板；并且
[0021]包括根据第一方面的限流器，所述限流器安装在所述低温泵的入口中，使得所述限流器限制进入所述入口的气体流。
[0022]第三方面提供一种升级低温泵的方法，其包括：移除节流板，所述节流板跨越所述低温泵的入口安装用于限制进入所述低温泵的流；以及用根据第一方面的限流器替代所述节流板。
[0023]在所附的独立权利要求和从属权利要求中阐述其他的特别且优选的方面。从属权利要求的特征可以视情况并且按除权利要求中明确阐述的那些组合以外的组合与独立权利要求的特征组合。
[0024]在装置特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将了解的是，这包括提供该功能或者被调适或配置成提供该功能的装置特征。
附图说明
[0025]现在将参考附图进一步描述本专利技术的实施例，在附图中：
[0026]图1示出了根据现有技术的低温泵和限流器板；
[0027]图2示出了根据实施例的限流器；
[0028]图3示出了其中移除了遮挡板的限流器的俯视图；
[0029]图4示出了根据实施例的限流器和包括该限流器的低温泵的俯视图；并且
[0030]图5示出了根据实施例的从泵的内部朝向限流器的入口的视图。
具体实施方式
[003本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于限制流入低温泵的气体的流率的限流器，所述限流器被配置成安装在所述低温泵的入口中，所述限流器包括：用于提供进入所述低温泵的气体流动路径的入口部件；遮挡板，其被安装成至少部分遮蔽通过所述入口部件的所述气体流动路径；以及将所述遮挡板联接到所述入口部件的中间部件，所述中间部件包括至少一个孔隙，所述至少一个孔隙限定进入所述低温泵的至少一个气体流动路径；其中所述遮挡板被配置成遮挡通过所述入口部件的所述气体流动路径，使得当安装在所述低温泵上时，不存在通过所述入口部件到达所述低温泵内的低温面板的直接视线路径。2.根据权利要求1所述的限流器，其中，所述入口部件具有定界孔口的环形形式，所述孔口限定所述气体流动路径。3.根据权利要求1或2所述的限流器，其中，所述中间部件包括多个孔隙。4.根据任一前述权利要求所述的限流器，其中，所述中间部件的包括所述至少一个孔隙的表面与所述遮挡板成120
°
和60
°
之间的角度。5.根据权利要求4所述的限流器，其中，所述中...
【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：爱德华兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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