泵模块制造技术

用于真空设备的泵模块，其具有：凸缘，其可以以真空密封的方式连接到真空设备；至少一个离子吸气剂泵；和至少一个容积吸气剂泵NEG，其中离子吸气剂泵直接连接到凸缘，并且NEG直接连接到离子吸气剂泵，并且其中NEG和凸缘彼此分开地布置。分开地布置。分开地布置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泵模块


[0001]本专利技术涉及一种用于真空设备的泵模块以及这样的真空设备。

技术介绍

[0002]大量的工业和科学仪器和系统需要具有低于10
‑7毫巴的压力的超高真空。为了在真空设备中产生这样的真空，通常采用各种泵系统的组合。因此，通常提供主泵(粗真空泵或前级真空泵)，由此产生具有小于10
‑1毫巴至10
‑3毫巴的压力的低真空。主真空泵与高真空泵相结合，以产生低于10
‑3毫巴至10
‑8毫巴的压力，并且可能地与超高真空泵(UHV泵)相结合，以产生低于10
‑7毫巴的压力。UHV泵在这种情况下包括用于达到超高真空所需压力的目的的吸附泵。吸附泵当然包括离子吸气剂泵和容积吸气剂真空泵，容积吸气剂真空泵也被称为吸气剂泵或容积吸气剂泵。
[0003]大量不同的气体也可以借助于离子吸气剂泵泵送。离子吸气剂泵典型地具有两个阴极和一个阳极，在两者之间施加高电压。借助于高电压，电子从阴极加速到阳极，并且因此使气体粒子电离，气体粒子然后朝向阴极被加速并在那里被吸附，或者到达阳极并在那里通过它们的动能注入阳极中，因此在这两种情况下，它们不再对气体压力有贡献。由永磁体在外部施加的磁场增加了加速电子对气体粒子的电离的可能性。在这种情况下，离子吸气剂泵的泵容量由阳极和阴极的尺寸指示，并且因此受到真空设备中可用的安装空间的限制。
[0004]已知的容积吸气剂泵的工作原理是化学吸附反应性气体介质，特别地诸如氧气、氮气、氢气等，尽管氢气的物理吸附占主导地位。已知的容积吸气剂泵也具有“不可蒸发的吸气剂材料”(NEG)。这些容积吸气剂泵根据其吸气剂材料被称为NEG。这些泵具有高的吸附速度，并且因此也具有高的泵送速度，泵送速度通常高于相同尺寸的离子吸气剂泵。容积吸气剂泵的另一个优点是它们允许更高效地泵送氢气。然而，NEG对氢碳化合物的泵送效果较差，并且NEG特别地不能泵送惰性气体。

技术实现思路

[0005]本专利技术的技术问题是生产一种用于具有离子吸气剂泵和容积吸气剂泵的真空设备的泵模块，该泵模块具有紧凑的设计，并且易于连接到真空设备。
[0006]借助于根据权利要求1所述的泵模块以及根据权利要求11所述的真空设备来解决这个问题。
[0007]根据本专利技术的用于真空设备的泵模块具有凸缘，该凸缘可以以真空密封的方式连接到真空设备。根据本专利技术，泵模块还包括至少一个离子吸气剂泵和至少一个容积吸气剂泵(不可蒸发吸气剂泵
‑
NEG)。在这种情况下，离子吸气剂泵直接连接到凸缘。NEG又直接连接到离子吸气剂泵，使得NEG和凸缘布置成使得它们彼此分离。因此，NEG和凸缘布置在离子吸气剂泵的相对两侧上，并且连接到离子吸气剂泵。因此，结果是堆叠或分层的结构，该结构具有从凸缘开始的以下顺序：凸缘
‑
离子吸气剂泵
‑
NEG。更具体地，离子吸气剂泵和NEG不
在凸缘上的不同位置处连接。结果是小直径泵模块，因为不需要选择使离子吸气剂泵和NEG能够并排布置的凸缘直径，也不需要提供用于离子吸气剂泵和NEG的两个凸缘。并且由于这种减少的数量和可以选择小直径的事实，增加了真空设备或凸缘的密封性。因此，降低了真空设备泄漏的易发性。因此，有可能使用用于泵模块的小凸缘来实现离子吸气剂泵和NEG的节省空间的布置，该泵模块容易地且以较低成本焊接到真空设备。
[0008]优选地，离子吸气剂泵和NEG布置在凸缘的面内。这意味着凸缘具有大于NEG的基底面积和离子吸气剂泵的基底面积的面面积。以这种方式，有可能将具有离子吸气剂泵和NEG的泵模块结合到凸缘中，并且然后以真空密封的方式将它们与凸缘拧到真空设备上。
[0009]优选地，在安装状态下的离子吸气剂泵和NEG突出到真空设备中。这确保了高效的泵性能。特别地，离子吸气剂泵和NEG都不附接或连接到凸缘背对真空设备的那一侧。这避免了离子吸气剂泵和/或NEG从真空设备突出，从而可以使整个真空设备所需的安装空间保持较小。
[0010]优选的是，提供通过凸缘的公共导通部，用于到NEG和离子吸气剂泵的电源线。堆叠结构使得特别容易将电源线合并到真空设备中并且然后将它们通过公共导通部引出。公共导通部意味着减少任何泄漏，并且更特别地，减少潜在的故障源的数量和/或泄漏的易发性，否则会阻止高效地实现超高真空。
[0011]优选地，凸缘具有第一侧和相对的第二侧，NEG和离子吸气剂泵布置在第一侧上，并且特别地连接到第一侧，使得它们从第一侧突出。在这种情况下，NEG还仅经由离子吸气剂泵间接地连接到凸缘。因此，离子吸气剂泵和NEG布置在凸缘的同一侧上。特别地，第一侧在安装状态下布置在真空设备内，使得第一侧位于真空中。另一方面，第二侧在安装状态下布置在真空设备的外部，并且因此通常暴露于大气压。
[0012]优选地，提供多于一个的离子吸气剂泵，每个离子吸气剂泵直接连接到凸缘。为了增加泵模块的泵容量，可能需要提供多于一个的离子吸气剂泵。这也可以接着连接到凸缘，并且离子吸气剂泵可以例如并排布置。
[0013]还优选的是提供多于一个的NEG，每个NEG直接连接到离子吸气剂泵，并且每个NEG通过离子吸气剂泵中的一个与凸缘分离。通过这种泵模块构造，所提供的NEG的数量总是小于或等于离子吸气剂泵的数量，因此对于NEG和离子吸气剂泵的每个组合，选择根据本专利技术的串联或堆叠结构，以便进一步发展泵模块的紧凑设计。
[0014]作为备选方案，也可以以至少一个NEG直接连接到凸缘的方式提供多于一个的NEG。
[0015]优选地，至少一个离子吸气剂泵永久地连接到凸缘，并且特别地，例如通过焊接一体地连接到凸缘。备选地或此外，至少一个离子吸气剂泵永久地连接到NEG，并且特别地，例如通过焊接一体地连接到NEG。还优选的是，离子吸气剂泵永久地连接到凸缘和NEG两者，并且特别地，例如通过焊接基本上一体地连接到凸缘和NEG两者。特别优选的是，提供的所有离子吸气剂泵以相同的方式连接到凸缘和/或NEG。
[0016]优先地，至少一个离子吸气剂泵可拆卸地连接到凸缘。备选地或此外，至少一个离子吸气剂泵可拆卸地连接到NEG。特别地，离子吸气剂泵可拆卸地连接到凸缘和NEG两者。如果所有离子吸气剂泵都可拆卸地连接到凸缘和/或NEG，则是优选的。这样的可拆卸连接例如可以借助于螺纹连接、卡扣配件、卡口连接或类似方式来实现。
[0017]作为备选方案，在凸缘、离子吸气剂泵和NEG之间可以采用可拆卸连接和永久连接，这取决于有关应用的具体要求。例如，在离子吸气剂泵和凸缘之间的永久连接可以保证特别简单和安全的泵模块结构。然而，如果例如已经使用了所提供的NEG材料，则可拆卸连接例如可以允许从离子吸气剂泵独立地移除和更换NEG。
[0018]本专利技术还涉及一种带有凸缘的真空设备，其中如上所述的泵模块连接到凸缘。
[0019]优选地，离子吸气剂泵和NEG两者都突出到真空设备中。
附图说明
[0020]下面将参照附图在优选实施例的基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于真空设备的泵模块，具有凸缘(12)，其能够以真空密封的方式连接到真空设备，至少一个离子吸气剂泵(18)，和至少一个容积吸气剂泵(20)NEG，其中，所述离子吸气剂泵(18)直接连接到所述凸缘(12)，并且所述NEG(20)直接连接到所述离子吸气剂泵(18)，所述NEG(20)和所述凸缘(12)彼此分开地布置。2.根据权利要求1所述的泵模块，其特征在于，所述离子吸气剂泵(18)和所述NEG(20)布置在所述凸缘(12)的所述面内。3.根据权利要求1或2所述的泵模块，其特征在于，在安装状态下，所述离子吸气剂泵(18)和所述NEG(20)突出到所述真空设备中。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的泵模块，其特征在于，通过所述凸缘提供用于到所述NEG(20)和所述离子吸气剂泵(18)的电源线的公共导通部(22)。5.根据权利要求1至4中的一项所述的泵模块，其特征在于，所述凸缘(12)具有第一侧(14)和相对的第二侧(16)，NEG(20)和离子吸气剂泵(18)布置在所述第一侧(14)上，并且特别地从所述第一侧(14)突出。6.根据权利要求5所述的泵模块，其特征在于，在安装状态下，所述第一侧(14)位于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：爱德华兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：