公开了一种用于在受限空间中运输负载（60）的运输装置（10）和一种在辅助生产层中移动真空系统部件的方法。该运输装置包括：轮（12），其被配置为在表面上支撑和移动所述运输装置；和用于驱动轮的驱动机构。负载承载机构（50）被安装成可在邻近所述表面的降低位置与至少一个升高位置之间移动，支撑框架（20）被配置成支撑所述负载承载机构，包括前壁（24）、两个侧壁（22）以及一敞开的背部（26）。负载承载机构被安装成使得支撑框架的侧壁和前壁在升高位置和降低位置中的至少一者中围绕负载承载机构延伸。存在安装在支撑框架的壁中的一者上的至少一个致动器（40），用于升高和降低负载承载机构，并且轮邻近支撑框架的侧壁安装，并且在四个位置处支撑两个侧壁，使得运输装置的重心位于这四个位置之间。心位于这四个位置之间。心位于这四个位置之间。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在受限空间内移动真空系统部件的运输装置和方法
[0001]本专利技术的领域涉及用于在受限空间内运输负载、或者运输在工作区域中的其他负载的运输装置，所述负载诸如是辅助生产层（次洁净区，sub fab）中的真空系统部件，辅助生产层为半导体制造工厂下方的区域。
技术介绍
[0002]在辅助生产层内移动真空泵是一种具有挑战性的过程。真空泵和真空系统内的其他部件可能很重，几百甚至超过1,000Kg，并且辅助生产层内的空间有限。
[0003]传统上，泵的移动已经是手动完成的。实际上，这意味着维修人员需要弯腰，将双手放在泵上，并将泵推到需要的位置。泵通常安装在轮上。这对背部和腿部可能是非常紧张的。此外，有时地板上的特征导致轮卡住并停止泵的动量。当这种情况发生时，泵可能翻倒。
[0004]另一种方法是使用一个或多个推车来运输泵。这具有在可以运输泵之前需要将泵提升到推车上的缺点。有时需要两个或三个不同的推车来完成该任务。需要人的交互来推动该推车，并且这会带来相关的受伤风险。此外，将泵放到工具上可能需要许多小时，浪费工具和技术人员的时间，并且增加了对人员造成伤害的不必要风险。
[0005]将期望提供一种能够在受限空间内高效地运输负载的运输装置。
技术实现思路
[0006]第一方面提供了一种用于在受限空间中运输负载的运输装置，所述运输装置包括：可滚动元件，其被配置为在表面上支撑和移动所述运输装置；用于驱动所述可滚动元件的驱动机构；负载承载机构，其安装成可在邻近所述表面的降低位置与至少一个升高位置之间移动；支撑框架，其被配置成支撑所述负载承载机构，并且包括前壁、两个侧壁和一敞开背部，所述负载承载机构被安装成使得所述支撑框架的所述侧壁和前壁在所述升高位置和所述降低位置中的至少一个位置围绕所述负载承载机构延伸；至少一个致动器，其安装在所述支撑框架的所述壁中的一者上，用于可控制地升高和降低所述负载承载机构；其中，所述可滚动元件邻近所述支撑框架的所述侧壁安装，并且在四个位置处支撑所述两个侧壁，使得所述运输装置的重心在所述四个位置之间。
[0007]在受限空间内运输负载是具有挑战性的过程。可以安装在轮上的负载的手动移动束缚人员，可能导致伤害并且可能不是有效的。使用提升装置需要相当大的配重来防止装置倾斜，所述提升装置是诸如叉车，其提升在伸出所述装置前面的叉子或货叉上的负载。这又使得叉车难以在狭小空间内操纵。本专利技术已经通过提供一种具有可驱动的可滚动元件的运输装置来解决这些问题，所述可驱动的可滚动元件安装在C形支撑框架的两侧上。该C形支撑框架具有敞开背部，通过该敞开背部可以拉动或推动负载。支撑框架支撑负载承载机构，该负载承载机构能够在降低位置和升高位置之间移动并且当负载位于支撑框架内时能够提升负载。
[0008]支撑框架的配置使得带有或不带有负载的运输装置的重心位于可滚动元件之间。
这意味着不需要从运输装置的一侧突出的配重。实际上，提供了一种紧凑的稳定的运输装置，其可在有限的空间内提升和运输大量的负载。
[0009]在一些实施例中，支撑框架内的负载承载区域超过运输装置的水平面中的总横截面区域的40%，并且在一些实施例中超过其60%。实际上，带有安装在其中的负载承载机构的支撑框架的C形配置提供了一种运输装置，其中负载承载表面占整个装置的区域的相当大的比例。
[0010]尽管负载承载机构可以具有多种形式，但是其可以例如包括钩装置，该钩装置被配置成延伸到支撑框架的敞开背面并且抓持负载，然后将其拉入并将其提升，在一些实施例中，所述负载承载机构包括基板。在一些实施例中，所述基板被安装为使得所述支撑框架的所述侧壁和前壁延伸超过所述基板的周界。
[0011]基板提供了一种支撑机构，其适于支撑可装配到基板上的任何类型的负载，并且易于从其装载和卸载负载。
[0012]在一些实施例中，基板包括与支撑框架的敞开背面相邻的倾斜边缘。
[0013]倾斜边缘提供了斜坡状表面，允许负载以相对平滑的方式被推动或拉动到基板上。
[0014]在一些实施例中，负载承载机构被配置成支撑超过120kg的负载，在一些实施例中支撑超过230kg的负载，并且在其他实施例中支撑超过1000kg的负载。
[0015]在这方面，实施例特别适用于例如在辅助生产层的受限空间内运输用于真空系统的部件，诸如真空泵。这种泵通常可能是几百千克重的，并且需要在它们被维修的位置和它们被安装的位置之间运输。在辅助生产层中安装这些部件的区域是非常宝贵的，并且因此安装地点之间的空间通常非常紧凑。根据一实施例的运输装置被配置成支撑重负载，具有围绕支撑负载的区域延伸的相对小的横截面区域，并且当支撑负载时是稳定的并且能够提升负载，该运输装置提供了用于运输这些装置的特别有效的解决方案。
[0016]尽管可滚动元件可以包括多种物体，例如它们可以是履带或全向轮，但是在一些实施例中它们包括四个轮。在其他实施例中，它们可以包括多于四个轮。
[0017]在一些实施例中，四个轮朝向两个侧壁的两端定位，从而提供不容易倾斜的稳定装置。在一些实施例中，可滚动元件支撑侧壁的位置在侧壁的从侧壁的端部起的长度的30%内，在一些实施例中在其20%内。
[0018]在一些实施例中，所述四个轮中的每一个都是可独立驱动的，从而允许所述运输装置的平移和旋转运动。
[0019]提供可独立驱动的轮导致能够进入和行进通过受限空间的灵活运输装置。
[0020]在一些实施例中，所述运输装置包括装载机构，所述装载机构被配置成当所述负载承载机构处于所述降低位置时拉动负载通过所述支撑框架的所述敞开背部。
[0021]尽管，负载可以被手动地安装到运输装置中，但是优选地，运输装置具有其自己的装载机构，该装载机构可以拉动负载通过支撑框架的敞开背部。
[0022]在一些实施例中，所述侧壁各自包括水平延伸的引导件以及致动器，所述水平延伸的引导件被配置成支撑所述装载机构并将所述装载机构从朝向所述前壁的位置引导至朝向所述支撑框架的所述敞开背面的位置，所述致动器被配置成沿着所述引导件驱动所述装载机构。
[0023]将装载机构移动到邻近支撑框架的敞开背面的装载位置的一种方式是使用引导件，该引导件可以呈沿着侧壁水平延伸的轨道的形式，并且该引导件将装载机构从前壁引导到敞开背面。然后，该机构可以附接到负载，并且当装载机构沿着引导件朝向前壁向后移动时，负载被拉入支撑框架中。
[0024]尽管装载机构可以包括多种物体，但是其可以例如是闩锁机构，诸如被配置为闩锁到负载上的接收机构的钩，或者其可以被配置为围绕负载缠绕，在一些实施例中，装载机构包括用于拉动负载通过支撑框架的敞开背部的磁体。
[0025]磁体的优点是它不需要负载具有磁体所附接到的任何相应装置，它仅仅需要由被吸引到磁体的诸如钢的材料形成。此外，这种装载机构不需要接近装置的侧部或背部，并且如果装置由磁性材料制成，则其将提供将负载拉到支撑框架上的有效方式。在这点上，负载可以安装在轮上和/或地板可以是光本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种在辅助生产层内移动真空系统部件的方法，所述方法包括：将所述运输装置移动到邻近真空系统部件；降低所述运输装置的负载承载机构；使用所述运输装置的所述装载机构拉动所述真空系统部件通过所述运输装置的支撑框架的敞开背面，使得所述真空系统部件由所述负载承载机构支撑；升高所述负载承载机构；将所述运输装置驱动到所述辅助生产层中的不同位置；执行降低或升高所述负载承载机构中的一者；以及卸载所述真空系统部件。2.一种用于在受限空间中运输负载的运输装置，所述运输装置包括：可滚动元件，其被配置为在表面上支撑和移动所述运输装置；用于驱动所述可滚动元件的驱动机构；负载承载机构，其安装成能够在邻近所述表面的降低位置与至少一个升高位置之间移动；支撑框架，其被配置成支撑所述负载承载机构，并且包括前壁、两个侧壁以及一敞开背部，所述负载承载机构被安装成使得所述支撑框架的所述侧壁和前壁在所述升高位置和所述降低位置中的至少一个位置围绕所述负载承载机构延伸；至少一个致动器，其安装在所述支撑框架的所述壁中的一者上，用于可控制地升高和降低所述负载承载机构；其中所述可滚动元件邻近所述支撑框架的所述侧壁安装，并在四个位置处支撑所述两个侧壁，使得所述运输装置的重心在所述四个位置之间。3.根据权利要求2所述的运输装置，其中所述负载承载机构包括基板，所述基板被安装成使得所述支撑框架的所述侧壁和前壁延伸超过所述基板的周界。4.根据权利要求2或3所述的运输装置，其中，所述可滚动元件包括四个轮。5.根据权利要求4所述的运输装置，其中，所述四个轮中的每一个能够独立地驱动，从而允许所述运输装置的平移和旋转运动。6.根据权利要求2至5中任一项所述的运输装置，其中所述运输装置包括装载机构，所述装载机构配置成当所述负载承载机构在所述降低位置时拉动负载通过所述支撑框架的所述敞开背部。7.根据权利要求6所述的运输装置，其中所述侧壁各自包括水平延伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：W，
申请(专利权)人：爱德华兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。