一种微型吸气剂泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微型吸气剂泵，包括金属底座、吸气剂片、间隔垫片、紧固螺母；所述金属底座为倒T型，所述吸气剂片中部设置有通孔，所述吸气剂片串联至金属底座上，所述吸气剂片之间设置有间隔垫片，所述吸气剂片顶部设置有紧固螺母；所述金属底座的中间竖管内设置有多组连通的圆孔，所述圆孔内串有加热丝。本实用新型专利技术将足量的吸气剂片和金属基座和加热体组装在一起形成吸气剂泵，即能满足应用环境对大吸气量的要求，又降低了一体烧结式容易发生掉粉、开裂、短路的风险，且抗冲击振动性能更高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种微型吸气剂泵


[0001]本技术涉及真空、电子元器件制造领域，特别涉及一种微型吸气剂泵。

技术介绍

[0002]传统的微型吸气剂泵是将吸气剂粉末和加热体和金属底座一起用模具松装烧结成块体，但是由于微型吸气泵的体积和重量比较大，无论是直接烧结还是与金属基座一起烧结，吸气金属粉末颗粒间结合强度非常低，轻微刮擦或振动就会导致吸气金属颗粒的掉落，并且吸气金属和陶瓷加热体之间难以结合，在加热激活时膨胀系数不同容易发生开裂。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供高强度、易激活的一种微型吸气剂泵。
[0004]本技术的目的是这样实现的：一种微型吸气剂泵，包括金属底座、吸气剂片、间隔垫片、紧固螺母；所述金属底座为倒T型，所述吸气剂片中部设置有通孔，所述吸气剂片串联至金属底座上，所述吸气剂片之间设置有间隔垫片，所述吸气剂片顶部设置有紧固螺母；所述金属底座的中间竖管内设置有陶瓷管，所述陶瓷管中多组连通的圆孔，所述圆孔内串有加热丝。
[0005]优选的，所述金属底座中间竖管内设置有开口向下的空心柱，所述空心柱内设置有加热体。
[0006]优选的，所述间隔垫片为不锈钢材质。
[0007]优选的，所述陶瓷管孔由陶瓷浆料烧结而成，中间有轴向贯穿平行排列的圆孔用于装载加热丝。
[0008]优选的，所述吸气剂片使用吸气剂粉末通过模具压制烧结而成，所述吸气剂片为圆环形薄片，外径在为5
‑
20mm，内径为2
‑
5mm。
[0009]优选的，所述加热丝由镍铬合金、钨、钼、钽、铌、铪、钨铼、铁铬铝中的一种或多种加工而成的丝状材料，直径为0.1
‑
2mm。
[0010]优选的，所述紧固螺母和金属底座采用304不锈钢、316L不锈钢、无氧铜低放气率的材料中的一种通过机械加工而成。
[0011]优选的，所述加热丝根据陶瓷管孔的数量来回往返穿于陶瓷管孔中，且同一孔中仅穿行一次，且两端露出部分不能接触。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益之处在于：吸气剂片烧结完成后不会产生颗粒物，同时在振动、冲击条件下也没有颗粒物掉落的风险；并且通过增减吸气剂片的数量和尺寸可以灵活的调整吸气剂泵的吸气性能，适应性非常广；通过设置间隔垫片，使得吸气剂片之间不会产生摩擦，使用寿命更加长久。
附图说明
[0013]图1为本技术的实施例一的结构示意图；
[0014]其中，1为金属底座；2为吸气剂片；3为间隔垫片；4为紧固螺母；5为加热丝；6为多孔陶瓷管；
[0015]图2为本技术的实施例一的结构示意图；
[0016]其中，1为金属底座；2为吸气剂片；3为间隔垫片；4为紧固螺母。
具体实施方式
[0017]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术专利作进一步的详细说明。
[0018]如图1所示为本技术的实施例一，通过机加工加工出金属底座，底部直径13mm，中间竖管外径4mm，内孔直径2mm，顶部有3mm 长的M4螺纹；在其上安装交替安装五片外径10mm，内孔4mm，厚1.2mm 的吸气剂片，以及六片外径6mm，内孔4mm，厚0.4mm的不锈钢间隔垫片，然后用紧固螺母紧固；用外径2mm，内孔0.6mm的四孔陶瓷管，来回穿上0.2mm的钼丝作为加热体，最后将加热体安装于金属底座的中心孔中，并将一极焊接在紧固螺母上。吸气剂泵通过底部焊接连接在真空系统中，经测试，吸气剂可通过向加热体施加电流来激活，常温一氧化碳吸气容量高达16Pa
·
L。
[0019]如图2所示为本技术的实施例二，通过机加工加工出金属底座，底部直径13mm，中间竖管外径4mm，内孔直径2mm，顶部有3mm 长的M4螺纹；在其上安装交替安装五片外径10mm，内孔4mm，厚1.2mm 的吸气剂片，以及六片外径6mm，内孔4mm，厚0.4mm的不锈钢间隔垫片，然后用紧固螺母紧固。经测试，吸气剂可通过外置加热来进行激活，常温一氧化碳吸气容量可高达16Pa
·
L。
[0020]上面所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的构思和范围进行限定。在不脱离本技术设计构思的前提下，本领域普通人员对本技术的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本技术的保护范围，本技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型吸气剂泵，其特征在于：包括金属底座、吸气剂片、间隔垫片、紧固螺母；所述金属底座为倒T型，所述吸气剂片中部设置有通孔，所述吸气剂片串联至金属底座上，所述吸气剂片之间设置有间隔垫片，所述吸气剂片顶部设置有紧固螺母；所述金属底座开口向上的中间竖管内设置有陶瓷管，所述陶瓷管有多组连通的圆孔，所述圆孔内串有加热丝。2.根据权利要求1所述的一种微型吸气剂泵，其特征在于：所述金属底座中间竖管内设置有开口向下的空心柱，所述空心柱内设置有加热体。3.根据权利要求1所述的一种微型吸气剂泵，其特征在于：所述间隔垫片为不锈钢材质。4.根据权利要求1所述的一种微型吸气剂泵，其特征在于：所述陶瓷管孔由陶瓷浆料烧结而成，中间有轴向贯穿平行排列的圆孔用于装载加热丝。5.根据权利要求1所述的一种微型吸气剂泵，...

【专利技术属性】
技术研发人员：向杰，
申请(专利权)人：上海晶维材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：