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一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。...
该专利属于爱德华兹真空泵有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹真空泵有限责任公司授权不得商用。

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