一种长杆状可伸缩旋转型离子源制造技术

本发明专利技术公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本发明专利技术装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及离子源领域，尤其涉及一种长杆状可伸缩旋转型离子源。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。
技术实现思路
本专利技术目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种长杆状探针型可伸缩型离子源，离子源的头部可以在装置内通过长杆的伸缩来变换位置且头部可以任意角度旋转，从而满足一些特殊装置（如粒子加速器）内部不同位置产生等离子体的性能要求。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，其特征在于：所述离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；所述离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，两个灯丝支撑座之间采用陶瓷杆隔离电位，所述灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，冷却水从中空的水管内流入再通过灯丝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，其特征在于：所述离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；所述离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，两个灯丝支撑座之间采用陶瓷杆隔离电位，所述灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，冷却水从中空的水管内流入再通过灯丝冷却水管流出形成冷却水循环；所述离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。

【技术特征摘要】
1.一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，其特征在于：所述离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；所述离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，两个灯丝支撑座之间采用陶瓷杆隔离电位，所述灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，冷却水从中空的水管内流入再通过灯丝冷却水管流出形成冷却水循环；所述离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。2.根据权利要求1所述的一种长杆状可伸缩旋转型离子源，其特征在于：所述灯丝冷却水管还起到给离子源灯丝供电的作用。3.根据权利要求2所述的一种长杆状可伸缩旋转型离子源，其特征在于：所述灯丝冷却水管是由一根外径8mm、内径7mm、...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢亚红，顾玉明，胡纯栋，谢远来，宋云涛，
申请(专利权)人：中国科学院等离子体物理研究所，
类型：发明
国别省市：安徽;34