纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜及其制备方法、以及应用技术

本发明专利技术涉及一种纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜及其制备方法、以及应用。纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜的制备方法包括如下步骤：在无氧气氛下，加热硅基衬底，直至硅基衬底的温度升至550℃～650℃；然后通入氧气，对硅基衬底的纳米绒面进行热氧化处理，热氧化的温度为550℃～650℃，以在硅基衬底的纳米绒面上形成热氧化层；以及在热氧化层上形成一层氮化硅层，得到纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜。本发明专利技术的纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜能够在保证钝化效果的前提下、提高多晶硅的体寿命，有利于应用。

【技术实现步骤摘要】
纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜及其制备方法、以及应用
本专利技术涉及太阳能电池
，特别是涉及一种纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜及其制备方法、以及应用。
技术介绍
太阳能电池，又称光伏电池，是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。由于它是绿色环保产品，不会引起环境污染，而且是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源。其中，多晶硅太阳能电池是兼具单晶硅电池的高转换效率和长寿命、以及非晶硅薄膜电池的材料制备工艺相对简化等优点的新一代电池。为了提高太阳能电池的转换效率，降低电池表面的光反射，通常在硅基衬底的表面形成叠层减反射膜。为保证钝化效果，传统的纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜的制备方法采用高温(通常大于700℃)热氧化叠加双层或者三层氮化硅工艺。然而，多晶硅经过高温过程后体寿命会有一定程度的衰减，甚至影响后续成品电池的电性能，不利于应用。
技术实现思路
基于此，有必要针对如何在保证钝化效果的前提下、提高多晶硅的体寿命的问题，提供一种能够在保证钝化效果的前提下、提高多晶硅的体寿命的纳米绒面多晶硅电池本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在无氧气氛下，加热硅基衬底，直至所述硅基衬底的温度升至550℃～650℃；之后通入氧气，对所述硅基衬底的纳米绒面进行热氧化处理，热氧化的温度为550℃～650℃，以在所述硅基衬底的纳米绒面上形成热氧化层；以及在所述热氧化层上形成一层氮化硅层，得到纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜。

【技术特征摘要】
1.一种纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在无氧气氛下，加热硅基衬底，直至所述硅基衬底的温度升至550℃～650℃；之后通入氧气，对所述硅基衬底的纳米绒面进行热氧化处理，热氧化的温度为550℃～650℃，以在所述硅基衬底的纳米绒面上形成热氧化层；以及在所述热氧化层上形成一层氮化硅层，得到纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜。2.根据权利要求1所述的纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜的制备方法，其特征在于，热氧化的时间为600s～1200s，通氧量为1000sccm～2500sccm。3.一种采用权利要求1所述的制备方法制备得到的纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜，其特征在于，包括：热氧化层，形成于硅基衬底的纳米绒面上；以及氮化硅层，形成于所述热氧化层上；其中，所述氮化硅层的层数为一层。4.根据权利要求3所述的纳米绒面多晶硅电池叠层减反射膜，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，盛健，张淳，
申请(专利权)人：张家港协鑫集成科技有限公司，协鑫集成科技股份有限公司，协鑫集成科技苏州有限公司，苏州协鑫集成科技工业应用研究院有限公司，徐州鑫宇光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32