一种具有吸杂作用的多晶硅电池发射极的扩散方法技术

技术编号:9278102 阅读:125 留言:0更新日期:2013-10-25 00:02
本发明专利技术公开了一种具有吸杂作用的多晶硅电池发射极的扩散方法,其特征在于,扩散前在硅片制绒面镀一层二氧化硅膜,扩散为双面扩散并且包含了两步有源扩散和两步吸杂。本发明专利技术通过改善扩散工艺,提高硅片少子寿命,从而提高电池片的电性能。特别适用于A区硅片电池发射极的制备。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有吸杂作用的多晶硅电池发射极的扩散方法,其特征在于,扩散前在硅片制绒面镀一层二氧化硅膜,扩散为双面扩散并且包含了两步有源扩散和两步吸杂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨金波苗丽燕福克斯·斯蒂芬刘长明刘丽芳苗凤秀蔡永梅汤安民谢斌谢旭李仙德陈康平金浩
申请(专利权)人:浙江晶科能源有限公司晶科能源有限公司
类型:发明
国别省市:

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