一种在太阳电池背面利用激光同步实现局域接触和局域掺杂的方法技术

技术编号:9278103 阅读:155 留言:0更新日期:2013-10-25 00:02
本发明专利技术公开了一种利用激光同时实现太阳电池背面局域接触和局域掺杂的方法,其是在太阳能电池背表面钝化层上再沉积含有硼的材料,并利用激光作用其表面,在形成背面局部接触窗口的同时完成对局域接触区域的掺杂,最后清洗去除含有硼的材料。本发明专利技术采用激光开膜,电极图案制作精度高,并同时完成对局域接触区域的掺杂,简化了工艺过程,降低了生产成本,在产业化方面具有很大的优势。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种在太阳电池背面利用激光同步实现局域接触和局域掺杂的方法,其特征在于,在太阳能电池背表面钝化层上再沉积含有硼的材料,并利用激光作用其表面,在形成背面局部接触窗口的同时完成对局域接触区域的掺杂,最后清洗去除含有硼的材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡永梅福克斯·斯蒂芬苗凤秀汤安民刘长明刘丽芳苗丽燕谢斌谢旭杨金波李仙德陈康平金浩
申请(专利权)人:浙江晶科能源有限公司晶科能源有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1