位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法。一种方法通过利用具有第1到第N特征点的模板检测图像中的目标的位置。所述方法包括在依次将第1到第n(n≤N)个特征点设定为关注特征点的同时，对于模板关于图像的各相对位置通过重复处理获得指示模板与图像之间的相关性的指标。当关注特征点是第J特征点时，确定基于第1到第J特征点的处理获得的指示相关性的中间指标是否满足截止条件，并且，如果中间指标满足截止条件，则取消第(J+1)及随后的特征点的处理。

Position detection method and device, storage medium, photolithography device and manufacturing method

The invention relates to a position detection method and a device, a storage medium, a photolithography device and a manufacturing method. One method detects the position of the target in the image by using a template with first to N feature points. The method includes in turn first to the n (n N) feature points set for feature points for attention at the same time, the template image on the relative positions by repeating the process indicating the correlation between the template and the image index. When the feature point is the characteristic point of J, we determine whether the intermediate indicators that indicate the correlation between the first and the J feature points meet the cut-off condition, and if the intermediate index satisfies the cut-off condition, then cancel the processing of the (J+1) and the subsequent feature points.

【技术实现步骤摘要】
位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法
本专利技术涉及位置检测方法、存储用于位置检测的程序的介质、位置检测装置、光刻装置和物品制造方法。
技术介绍
近年，随着诸如半导体器件的物品的微细化和集成化程度的提高，对提高诸如曝光装置和压印装置等的光刻装置的对准精度的要求变得更严格。为了检测通过转印机构转印到光刻装置的基板的位置，光刻装置可以检测在基板上形成的检测目标(标记)的位置。在检测目标的位置的这种检测中可以使用称为模板匹配的方法。模板匹配是在改变包含检测目标的图像与模板的相对位置的同时在多个相对位置中的每一个处计算指示图像与模板之间的相关性的指标并且基于具有最高相关性的相对位置检测检测目标的位置的方法。在本说明书中，高相关性意味着图像中的检测目标与模板高精度地匹配。指示相关性的指标的例子是用于获得温度和图像之间的差的平方的和的SSD(平方差之和)和用于获得差的绝对值的和的SAD(绝对差之和)。经归一化的相关性(后面描述)也是指示相关性的指标。由于计算指示相关性的指标需要很长时间，因此为了提高计算速度，提出了各种方法。例如，为了提高SSD或SAD的速度，称为SSDA(顺序相似性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位置检测方法，所述位置检测方法使得计算机通过利用具有第1到第N特征点的模板的模板匹配来检测图像中的目标的位置，其中N是不小于3的自然数，所述方法包括：在依次将第1到第n个特征点设定为关注特征点的同时，通过对于模板关于图像的多个相对位置中的每一个重复处理来获得指示模板与图像之间的相关性的指标，其中n≤N，其中，在对于所述多个相对位置中的每一个的所述获得中，在关注特征点为第J特征点的情况下，确定基于第1到第J特征点的处理获得的指示相关性的中间指标是否满足截止条件，并且，在中间指标满足截止条件的情况下，取消第(J+1)及随后的特征点的处理，其中J是不小于2且小于N的自然数。

【技术特征摘要】
2016.08.31 JP 2016-1700661.一种位置检测方法，所述位置检测方法使得计算机通过利用具有第1到第N特征点的模板的模板匹配来检测图像中的目标的位置，其中N是不小于3的自然数，所述方法包括：在依次将第1到第n个特征点设定为关注特征点的同时，通过对于模板关于图像的多个相对位置中的每一个重复处理来获得指示模板与图像之间的相关性的指标，其中n≤N，其中，在对于所述多个相对位置中的每一个的所述获得中，在关注特征点为第J特征点的情况下，确定基于第1到第J特征点的处理获得的指示相关性的中间指标是否满足截止条件，并且，在中间指标满足截止条件的情况下，取消第(J+1)及随后的特征点的处理，其中J是不小于2且小于N的自然数。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述获得中，不对于第1到第(J-1)特征点获得中间指标。3.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：对于第1到第J特征点获得指示相关性的指标值以及基于所述指标值获得中间指标。4.根据权利要求3所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用关注特征点处的模板的值T(n)作为变量的函数的值进行积分；以及基于使用通过所述积分获得的值作为变量的函数的值，获得中间指标。5.根据权利要求3所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用关注特征点处的模板的值T(n)和对应于关注特征点的图像中的像素的值作为变量的函数的值进行积分；以及基于使用通过所述积分获得的值作为变量的函数的值，获得中间指标。6.根据权利要求3所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用关注特征点处的模板的值T(n)作为变量的第一函数的值执行第一积分；依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用对应于关注特征点的图像中的像素的值作为变量的第二函数的值执行第二积分；和基于通过第一积分获得的值和通过第二积分获得的值，获得中间指标。7.根据权利要求1所述的方法，还包括确定第J特征点。8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述确定包括：通过依次将第1到第n特征点设定为关注特征点，对模板相对于试验图像的多个相对位置中的每一个重复处理，由此对第1到第n特征点中的每一个获得指示模板与试验图像之间的相关性的指标，以及关于试验图像基于对于第1到第n特征点中的每一个获得的指标的迁移确定第J特征点，其中n≤N。9.根据权利要求1所述的方法，还包括确定截止条件。10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述确定包括：通过依次将第1到第n特征点设定为关注特征点，对模板相对于试验图像的多个相对位置中的每一个重复处理，由此对第1到第n特征点中的每一个获得指示模板与试验图像之间的相关性的指标，以及关于试验图像基于对于第1到第n特征点中的每一个获得的指标的迁移确定截止条件。11.根据权利要求1所述的方法，还包括通过重新布置第1到第N特征点来重新限定第1到第N特征点。12.根据权利要求1所述的方法，其中，在对于所述多个相对位置中的每一个的所述获得中，在基于第1到第JN2特征点的处理获得的中间指标满足第二截止条...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎忠喜，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP