工件台运动控制方法技术

本发明专利技术公开了一种工件台运动控制方法，包括以下步骤：首先通过主动减振器中的加速度传感器检测测量框架的振动加速度，并将测量的到的振动加速度数据传递至主动减振控制器；其次通过主动减振控制器对所述振动加速度数据进行处理之后传递至工件台控制器；最后通过工件台控制器将接收的振动加速度数据转化成第一力补偿信号对工件台进行前馈补偿。本发明专利技术在工件台原有位置环路系统中引入加速度前馈信号，实时补偿测量框架振动对工件台测量系统的影响，降低工件台的稳定时间及控制误差，大大提高了控制精度；利用主动减振器的加速度传感器，间接获取测量框架的振动加速度，或在被动减振器中设置加速度传感器或者速度传感器获得振动加速度，降低了成本。

Motion control method of worktable

The invention discloses a workpiece table motion control method, which comprises the following steps: firstly, vibration acceleration sensor measuring active damper in the frame, and the vibration acceleration data to measure the transfer to active vibration controller; secondly through active vibration controller for data processing of the vibration acceleration after transfer to the workpiece table controller; finally the workpiece table controller vibration acceleration data received into the first compensation signal feedforward compensation of the workpiece table. The invention introduces acceleration feedforward signal in the original position loop system platform, real-time. Measurement of the workpiece table frame vibration measurement system, reduce the stability time of the workpiece table and control error, greatly improving the control accuracy; using acceleration sensor active damper, obtained vibration acceleration measurement framework, or set the acceleration sensor or get the speed sensor vibration acceleration in passive damper, reduces the cost.

【技术实现步骤摘要】
工件台运动控制方法
本专利技术涉及光刻机
，具体涉及一种工件台运动控制方法。
技术介绍
工件台分系统是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一，其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、套刻精度(Overlay)和成像质量。与其他光刻机相比，工件台分系统具有行程更大、扫描速度更快、负载更大、电机驱动反力更大的特点，从而对其精度与稳定性提出更严苛的要求，为了不降低产率和曝光分系统分辨率等系统的主要指标，更可靠的工件台控制策略成为了研究的热点。随着工件台尺寸逐渐增大，为了促使其运动，则需要更大的电机驱动力，从而导致工件台的驱动反力成倍增加，残余振动增大，然而测量框架的动态指标和伺服性能指标仍需保持不变，这就形成了一种技术矛盾。现阶段解决该矛盾的方法主要有：一是采用反力外引装置：将反力外引装置安装在电机驱动力最大的长行程方向上，，通过反力外引装置将电机的驱动反力由内部框架传递到外部框架，从而减小电机反力导致的内部框架振动；二是采用主动减振器：主动减振器的作用是将内部重要部件与基础框架以及其他结构的外部世界独立开，从而使内部世界处于一个安静的环境中。以上的两种方法均可有效的减小电机驱动反力，削弱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件台运动控制方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：主动减振器中的加速度传感器检测测量框架的振动加速度，并将测量的到的振动加速度数据传递至主动减振控制器；S2：所述主动减振控制器对所述振动加速度数据进行处理之后传递至工件台控制器；S3：所述工件台控制器将接收的振动加速度数据转化成第一力补偿信号对工件台进行前馈补偿。

【技术特征摘要】
1.一种工件台运动控制方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：主动减振器中的加速度传感器检测测量框架的振动加速度，并将测量的到的振动加速度数据传递至主动减振控制器；S2：所述主动减振控制器对所述振动加速度数据进行处理之后传递至工件台控制器；S3：所述工件台控制器将接收的振动加速度数据转化成第一力补偿信号对工件台进行前馈补偿。2.根据权利要求1所述的工件台控制方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述主动减振控制器对所述振动加速度数据依次进行高通滤波和低通滤波处理。3.根据权利要求1所述的工件台控制方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述工件台控制器将接收的振动加速度数据进行增益处理之后转化成第一力补偿信号对所述工件台进行前馈补偿。4.根据权利要求1所述的工件台控制方法，其特征在于，还包括通过设定值发生器生成工件台的期望加速度信号，将该期望加速度信号乘以运动质量得到第二力补偿信号对所述工件台进行前馈补偿。5.根据权利要求1所述的工件台控制方法，其特征在于，还包括通过设定值发生器生成工件台的期望位置信号，将该期望位置信号与工件台的实际位置信号进行做差，得到伺服误差信号，该伺服误差信号通过工件台控制器进行处理之后得到第三力补偿信号对所述工件台进行前馈补偿。6.根据权利要求5所述的工件台控制方法，其特征在于，所述伺服误差信号依次通过低通滤波和陷波滤波器进行处理之后得到第三力补偿信号对所述工件台进行前馈补偿。7.根据权利要求5所述的工件台控制方法，其特征在于，所述工件台的实际位置为工件台的测量位置与测量框架的振动幅度之和。8.根据权利要求1所述的工件台控制方法，其特征在于，还包括通过设定值发生器生成工件台的期望位置信号和期望加速度信号，通过工件台控制器传递至主动减振控制器，将该期望位置信号转化成力控制信号对所述主动减振器进行控制。9.一种工件台运动控制方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在被动减振器中设置与测量框架连接的加速度传感器，检测测量框架的振动加速度，并将检测到的振动加速度数据传递至工件台控制器；S2：所述工件台控制器对接收的振动加速度数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞骏，廖飞红，杨辅强，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31