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本发明公开了一种工件台运动控制方法，包括以下步骤：首先通过主动减振器中的加速度传感器检测测量框架的振动加速度，并将测量的到的振动加速度数据传递至主动减振控制器；其次通过主动减振控制器对所述振动加速度数据进行处理之后传递至工件台控制器；最后通...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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