浸没交换装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种浸没交换装置及方法，该装置包括机械手组件、交换板、设置于第一曝光台上的第一交换板接口和设置在第二曝光台上的第二交换板接口，所述第一交换板接口和第二交换板接口的结构相同；所述机械手组件，用以移动和承载所述交换板：所述交换板，用以被所述机械手组件移动、对接至所述第一交换板接口，且在对接后，所述交换板和第一曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述第一曝光台的曝光区域转移至所述交换板上；还用以对接至所述第二交换板接口，且在对接后，所述交换板和第二曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述交换板转移至所述第二曝光台的曝光区域，以进行在其上的曝光。

【技术实现步骤摘要】
浸没交换装置与方法
本专利技术涉及光刻领域，尤其涉及一种浸没交换装置与方法。
技术介绍
浸没式光刻技术需要在光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间充满高折射率的液体。投影物镜的数值孔径NA＝nsinθ，其中，n为投影物镜与硅片之间介质的折射率，θ为光线最大入射角。在最大入射角相同的情况下，浸没式光刻系统的数值孔径比传统光刻系统增大了n倍。而从傅里叶光学的角度，数值孔径扮演着空间频率低通滤波器阈值的角色。注入高折射率的浸没液体可以使更高空间频率的光波入射到光刻胶上，因此成像分辨率得以提高。双工件台光刻机的采用，使得“干式测量，浸没曝光”成为可能：即硅片在测量位置完成“干式”测量，在得到硅片的精确三维形貌后，利用双工件台光刻机特有的检焦算法可以预先得到硅片的离焦量，继而在曝光位置无需再进行调平调焦测量即可将硅片定位到理想焦面完成浸没曝光，实现了双工件台技术与浸没曝光技术的无缝衔接。已知的光刻机交换装置有封闭盘和交换桥等方式。封闭盘形式在双工件台浸没交换时，会有一封闭盘暂时封住浸没装置底部，维持浸没液场，待对准位工件台运动至曝光位后，封闭盘再撤离，浸没液场改由硅片支撑维持，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浸没交换装置，用于在第一曝光台和第二曝光台之间进行浸没交换时维持浸没液场，其特征在于：所述浸没交换装置包括机械手组件、交换板、设置于所述第一曝光台上的第一交换板接口和设置在所述第二曝光台上的第二交换板接口，所述第一交换板接口和所述第二交换板接口的结构相同；所述机械手组件，用以移动和承载所述交换板：所述交换板，用以被所述机械手组件移动、对接至所述第一交换板接口，且在对接后，所述交换板和第一曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述第一曝光台的曝光区域转移至所述交换板上；还用以对接至所述第二交换板接口，且在对接后，所述交换板和第二曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述交换板转移至所述第...

【技术特征摘要】
1.一种浸没交换装置，用于在第一曝光台和第二曝光台之间进行浸没交换时维持浸没液场，其特征在于：所述浸没交换装置包括机械手组件、交换板、设置于所述第一曝光台上的第一交换板接口和设置在所述第二曝光台上的第二交换板接口，所述第一交换板接口和所述第二交换板接口的结构相同；所述机械手组件，用以移动和承载所述交换板：所述交换板，用以被所述机械手组件移动、对接至所述第一交换板接口，且在对接后，所述交换板和第一曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述第一曝光台的曝光区域转移至所述交换板上；还用以对接至所述第二交换板接口，且在对接后，所述交换板和第二曝光台被同步驱动移动，使得所述浸没液场自所述交换板转移至所述第二曝光台的曝光区域，以进行在其上的曝光。2.如权利要求1所述的浸没交换装置，其特征在于：所述机械手组件包括机械手底座和机械手手臂，所述交换板承载于所述机械手手臂；所述机械手手臂安装于所述机械手底座；所述机械手手臂，驱动所述交换板平移；所述机械手底座，驱动所述机械手手臂和其上的交换板垂向运动。3.如权利要求2所述的浸没交换装置，其特征在于：所述机械手组件还包括机械手导轨，所述机械手底座被驱动沿所述机械手导轨移动，所述机械手导轨沿第一方向设置，所述机械手手臂驱动所述交换板沿与所述第一方向垂直的第二方向运动。4.如权利要求3所述的浸没交换装置，其特征在于：所述第一曝光台位于工作台的曝光区，所述第二曝光台位于工作台的对准区，所述曝光区与所述对准区沿Y向分布，所述机械手导轨沿X向布置在所述工作台的侧边上。5.如权利要求3所述的浸没交换装置，其特征在于：所述第一曝光台位于工作台的曝光区，所述第二曝光台位于工作台的对准区，所述曝光区与所述对准区沿Y向分布，所述机械手导轨沿Y向布置在所述工作台的侧边上。6.如权利要求2所述的浸没交换装置，其特征在于：所述机械手底座和机械手手臂的数量为两组，两组所述机械手底座间隔固定在工件台的侧边上，其中一组所述机械手底座和机械手手臂用以驱动实现所述第一交换板接口/所述第二交换板接口与交换板的对接；另一组所述机械手底座和机械手手臂用以实现所述第二交换板接口/所述第一交换板接口与交换板的分离。7.如权利要求1所述的浸没交换装置，其特征在于：所述交换板或所述第一交换板接口上设有对准标记，所述第一交换板接口或交换板上设有探测所述对准标记的位置传感器，所述交换板和第一交换板接口之间通过所述对准标记和位置传感器实现对准，进而在对准后能够实现对接。8.如权利要求1所述的浸没交换装置，其特征在于：所述交换板或第一交换板接口上还设有吸附件，所述交换板与第一交换板接口之间通过所述吸附件吸附连接。9.如权利要求1所述的浸没交换装置，其特征在于：所述第一交换板接口上还设有真空抽排孔。10.如权利要求1所述的浸没交换装置，其特征在于：所述交换板或第一交换板接口上还设有温度传感器和加热件，所述加热件根据所述温度传感器的检测数据调节发热量。11.如权利要求1所述的浸没交换装置，其特征在于：所述第一交换板接口上还设有柔性密封圈。12.一种浸没交换方法，其特征在于：包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：丛国栋，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31