【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒长度和斜度检测装置及其检测方法
本专利技术属于单晶硅加工领域,具体涉及一种单晶硅棒长度和斜度检测装置及其检测方法。技术背景目前,随着太阳能光伏行业的迅猛发展,导致作为主要原料的单晶硅棒的需求量大幅度增加,在进行单晶硅棒截断生产之后,需要对每根单晶硅棒的整体长度和截面斜度进行测量,以此计算可切割成硅片的有效长度。但是现有技术中,对单晶硅棒的测量通常很不准确,很容易出现偏位或丈量标尺错位的现象,导致等量划分的难度很大,不仅费时费力,降低了加工效率,而且划分的准确度较低,容易出现误差,影响切割。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种单晶硅棒长度和斜度检测装置及其检测方法,以解决现有技术的单晶硅棒测量精度低误差大的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种单晶硅棒长度和斜度检测装置一种单晶硅棒长度和斜度检测装置,包括移动上下料装置和检测装置,还包括安装在检测装置上的对中及斜度测量组件和长度测量组件,所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座,丝杆电机,丝杆,手爪,手爪滑块安装座,斜度测量传感器,水平电机座;所述的检测装置上固定连接水平导轨座,所述水平导轨座下方两侧分别固定有导轨和水平电机座,该水平电机座上安装有丝杆电机;所述导轨两端分别装有与之相配合的滑块,与滑块固定连接的手爪滑块安装座和与手爪滑块安装座固定连接的手爪,所述手爪为上下可调机构,手爪上装有斜度测量传感器,该斜度测量传感器用于在手爪的带动下贴合待测量的晶棒端面;所述丝杆电机通过丝杆分别与导轨两端的手爪滑块安装座连接,所述手爪滑块安装座之间的丝杆上设有联轴器,该联轴器用于使其两侧的丝杆旋转方 ...
【技术保护点】
一种单晶硅棒长度和斜度检测装置,包括移动上下料装置和检测装置(1),其特征在于:还包括安装在检测装置(1)上的对中及斜度测量组件和长度测量组件,所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5),丝杆电机(6),丝杆(11),手爪(12),手爪滑块安装座(9),斜度测量传感器(13),水平电机座(7);所述的检测装置(1)上固定连接水平导轨座(5),所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7),该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6);所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8),与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12),所述手爪(12)为上下可调机构,手爪(12)上装有斜度测量传感器(13),该斜度测量传感器(13)用于在手爪(12)的带动下贴合待测量的晶棒端面;所述丝杆电机(6)通过丝杆(11)分别与导轨(10)两端的手爪滑块安装座(9)连接,所述手爪滑块安装座(9)之间的丝杆(11)上设有联轴器(14),该联轴器(14)用于使其两侧的丝杆(11)旋转方向相反;所述长度测量组件安装在检测装置(1)两侧,所述长度 ...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒长度和斜度检测装置,包括移动上下料装置和检测装置(1),其特征在于:还包括安装在检测装置(1)上的对中及斜度测量组件和长度测量组件,所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5),丝杆电机(6),丝杆(11),手爪(12),手爪滑块安装座(9),斜度测量传感器(13),水平电机座(7);所述的检测装置(1)上固定连接水平导轨座(5),所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7),该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6);所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8),与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12),所述手爪(12)为上下可调机构,手爪(12)上装有斜度测量传感器(13),该斜度测量传感器(13)用于在手爪(12)的带动下贴合待测量的晶棒端面;所述丝杆电机(6)通过丝杆(11)分别与导轨(10)两端的手爪滑块安装座(9)连接,所述手爪滑块安装座(9)之间的丝杆(11)上设有联轴器(14),该联轴器(14)用于使其两侧的丝杆(11)旋转方向相反;所述长度测量组件安装在检测装置(1)两侧,所述长度测量组件包括旋转电机(17),可调安装组件(16)和测距光电传感器(15);所述可调安装组件(16)安装在检测装置(1),可调安装组件(16)相对于检测装置(1)可上下调节,所述的可调节安装组件(16)上固定连接旋转电机(17),所述测距光电传感器(15)通过联轴器与旋转电机(17)连接,该旋转电机(17)带动测距光电传感器(15)同步旋转,所述测距光电传感器(15)用于测量晶棒的长度。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置,其特征在于:所述的丝杆(11)包括左夹紧丝杆和右夹紧丝杆,左夹紧丝杆和右夹紧丝杆之间通过联轴器(14)连接,与所述丝杆(11)连接的丝杆电机(6)工作时,左夹紧丝杆和右夹紧丝杆通过联轴器实现反向旋转。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置,其特征在于:所述的手爪(12)通过二级铰链和所述斜度测量传感器(13)连接,可使所述的斜度测量传感器(13)绕X轴和Y轴旋转,在用手爪(12)对中待检测晶棒的过程中,二级铰链可以使斜度测量传感器(13)与晶棒端面完全贴合,测量端面斜度。4.采用权利要求1-3任一所述装置进行单晶硅棒长度和斜度的检测方法,其特征在于:包括以下步骤:第一步,上料:将单晶硅棒放置在移动上下料装置上,通过移动上下料装置输送到检测装置(1)内;第二步,检测斜度:检测装置(1)启动,通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度;第三步,检测长度:检测装置(...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,傅林坚,周星,陈翔,朱全民,严绍军,叶欣,沈文杰,李林,
申请(专利权)人:杭州慧翔电液技术开发有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。