The utility model provides a rotating magnetron target magnetic field regulating device is arranged in the first, through adjusting component magnetic strip fixed at both ends, for a fixed magnetic piece connected to the yoke and adjust the fixed magnetic strip and the relative position of the magnetic yoke; and, disposed between the magnetic yoke and pipe second adjusting component, for adjusting the relative position of the pipe and the magnetic yoke. The height adjustment of the yoke and the water pipe can be realized through the cooperation of the first adjusting component and the second adjusting component, which can achieve the uniform adjustment of the magnetic field and achieve the ideal magnetic field uniformity.
【技术实现步骤摘要】
一种磁控旋转靶磁场调节装置及应用其的磁控旋转靶装置
本技术涉及磁控溅射
,具体涉及一种磁控旋转靶磁场调节装置及应用其的磁控旋转靶装置。
技术介绍
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。为了在低气压下进行高速溅射,必须提高气体的离化率。一般通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束提高等离子体密度以增加溅射率的方法。因此,磁场强度的不均匀,会导致镀膜质量的下降,从而影响生产产品的性能。现有技术中常采用的溅射用磁控旋转靶,如图1所示,包括圆柱状旋转管2a,该旋转管的外表面涂覆有一层靶材料层1a,其内部固定有水管3a,该水管设置在磁轭5a上部,在水管外侧设置有磁件固定条4a。该磁控旋转靶装置通过调节磁件固定条来实现对旋转靶表面磁场强度进行调节。但是,该磁控旋转靶装置在使用过程中,会由于装置的振动导致磁件固定条4a的松动,进而影响磁场分布的均匀性。
技术实现思路
因此,本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的由于磁件固定条的松动从而影响磁场分布均匀性的缺陷。鉴于此,本技术提供一种磁控旋转靶磁场调节装置,包括:第一调节组件,设置在磁件固定条两端部,用于将所述磁件固定条连接至磁轭并调节所述磁件固定条与所述磁轭的相对位置;第二调节组件,夹设在所述磁轭和水管之间,用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。可选地,所述第一调节组件包括第一固定件、第二固定 ...
【技术保护点】
一种磁控旋转靶磁场调节装置,其特征在于,包括:第一调节组件,设置在磁件固定条两端部,用于将所述磁件固定条连接至磁轭并调节所述磁件固定条与所述磁轭的相对位置;第二调节组件,夹设在所述磁轭和水管之间,用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。
【技术特征摘要】
1.一种磁控旋转靶磁场调节装置,其特征在于,包括:第一调节组件,设置在磁件固定条两端部,用于将所述磁件固定条连接至磁轭并调节所述磁件固定条与所述磁轭的相对位置;第二调节组件,夹设在所述磁轭和水管之间,用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。2.根据权利要求1所述的磁控旋转靶磁场调节装置,其特征在于,所述第一调节组件包括第一固定件、第二固定件,以及活动连接在所述第一固定件端部和所述第二固定件端部的第一调节件;所述第一固定件远离所述第一调节件的一端连接至所述磁件固定条,所述第二固定件远离所述第一调节件的一端连接至所述磁轭。3.根据权利要求2所述的磁控旋转靶磁场调节装置,其特征在于,所述第一调节件为螺栓。4.根据权利要求1所述的磁控旋转靶磁场调节装置,其特征在于,所述第二调节组件包括:第三固定件,相对设置在所述水管两侧并与所述磁轭固定连接,所述第三固定件上开设有通孔;第二调节件,部分穿设在所述通孔中,并...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹瑞丰,洪耀,毛成飞,沈艰,李晓波,张民井,
申请(专利权)人:枣庄维信诺电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。