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本实用新型提供一种磁控旋转靶磁场调节装置,通过设置在磁件固定条两端部的第一调节组件,用于将磁件固定条连接至磁轭并调节磁件固定条与所述磁轭的相对位置;以及,夹设在所述磁轭和水管之间的第二调节组件,用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。通过第一...该专利属于枣庄维信诺电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过枣庄维信诺电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种磁控旋转靶磁场调节装置,通过设置在磁件固定条两端部的第一调节组件,用于将磁件固定条连接至磁轭并调节磁件固定条与所述磁轭的相对位置;以及,夹设在所述磁轭和水管之间的第二调节组件,用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。通过第一...