下载一种磁控旋转靶磁场调节装置及应用其的磁控旋转靶装置的技术资料

文档序号:17386613

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本实用新型提供一种磁控旋转靶磁场调节装置,通过设置在磁件固定条两端部的第一调节组件,用于将磁件固定条连接至磁轭并调节磁件固定条与所述磁轭的相对位置;以及,夹设在所述磁轭和水管之间的第二调节组件,用于调节所述水管与所述磁轭的相对位置。通过第一...
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