一种真空用工件高速旋转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及到旋转装置技术领域，尤其涉及一种真空用工件高速旋转装置。该真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一、电机、电机安装板、支撑杆、磁流体密封装置二、安装法兰、传动轴、晶控探头和隔板。本实用新型专利技术设计了一种真空用工件高速旋转装置采用磁流体密封装置一和磁流体密封装置二双磁流体密封直驱方式，使镀膜过程中的工件转速达到200转每分钟，将光学膜厚监控系统采样频率提高10倍。采用此种装置后，膜厚均匀性较市场现有技术水平提高了一个数量级，可用于镀制高质量多层膜。总之，该真空用工件高速旋转装置结构设计合理，镀膜更加精准，适合推广使用。

A high speed rotary device for the workpiece in vacuum

The utility model relates to the technical field of a rotating device, in particular to a high-speed rotary device for a workpiece in vacuum. The vacuum workpiece high-speed rotating device includes magnetic fluid seal device, motor, motor mounting plate, supporting rod, magnetic fluid sealing device two, mounting flange, drive shaft, crystal control probe and separator. The utility model relates to a vacuum workpiece high-speed rotating device using magnetic fluid sealing device and magnetic fluid sealing device of two pairs of magnetic fluid seal is a direct drive, the rotating speed of the workpiece during the coating process up to 200 revolutions per minute, the optical film thickness monitoring system sampling frequency is increased by 10 times. After using this device, the film thickness uniformity is increased by an order of magnitude more than the existing technical level, and can be used for the plating of high quality multilayer films. In a word, the structure of the high speed rotating device for the workpiece is reasonable, and the coating is more accurate. It is suitable for popularization and use.

【技术实现步骤摘要】
一种真空用工件高速旋转装置
本技术涉及到旋转装置
，尤其涉及一种真空用工件高速旋转装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。常见的镀膜机中，转速在20转每分钟左右，光学监控采样频率比较低，镀膜过程中膜厚监控精度差，所镀制的高质量多层膜的膜厚均匀性比较差。为了解决上述技术问题，本技术设计了一种真空用工件高速旋转装置，该真空用工件高速旋转装置采用磁流体密封装置一和磁流体密封装置二双磁流体密封直驱方式，使镀膜过程中的工件转速达到200转每分钟，将光学膜厚监控系统采样频率提高10倍。采用此种装置后，膜厚均匀性较市场现有技术水平提高了一个数量级，可用于镀制高质量多层膜。总之，该真空用工件高速旋转装置结构设计合理，镀膜更加精准，适合推广使用。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一、电机、电机安装板、支撑杆、磁流体密封装置二、安装法兰、传动轴、晶控探头和隔板，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一（2）、电机（3）、电机安装板（4）、支撑杆（5）、磁流体密封装置二（6）、安装法兰（7）、传动轴（8）、晶控探头（9）和隔板（10），其特征在于：所述安装法兰（7）固定在隔板（10）上，所述隔板（10）的上部为大气侧，所述隔板（10）的下部为真空侧，所述电机安装板（4）通过支撑杆（5）固定在安装法兰（7）上，所述电机安装板（4）上设有电机（3）和传动轴（8），所述传动轴（8）从安装法兰（7）和隔板（10）内穿过，所述传动轴（8）的底部设有晶控探头（9），所述晶控探头（9）位于真空侧内，所述传动轴（8）的中部外侧紧贴着安装法兰（7）设有磁流体密封...

【技术特征摘要】
1.一种真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一（2）、电机（3）、电机安装板（4）、支撑杆（5）、磁流体密封装置二（6）、安装法兰（7）、传动轴（8）、晶控探头（9）和隔板（10），其特征在于：所述安装法兰（7）固定在隔板（10）上，所述隔板（10）的上部为大气侧，所述隔板（10）的下部为真空侧，所述电机安装板（4）通过支撑杆（5）固定在安装法兰（7）上，所述电机安装板（4）上设有电机（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静辉，张小飞，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32