用于溅射镀膜的承载治具制造技术

本实用新型专利技术公开了用于溅射镀膜的承载治具，有方形外框体和外框体内连接的中间杆，所述外框体由左侧板、上顶板、右侧板和下底板收尾固定连接而成，所述左侧板、上顶板和右侧板的内侧以及中间杆的两侧都开有便于安装基板的插槽；所述右侧板上铰链连接有能够压在下底板上的压板，所述左侧板上对应压板处开有固定压板的定位槽；所述中间杆和右侧板之间设置有调节中间杆位置的丝杆装置，所述丝杆装置安装在中间杆和右侧板对应设置的安装块上。本实用新型专利技术装置操作简单、便捷，应用范围广，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
用于溅射镀膜的承载治具
本技术涉及溅射镀膜领域，尤其是用于溅射镀膜的承载治具。
技术介绍
溅射是当前广泛应用的镀膜技术，被普遍应用于微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中。所用的基板可以是玻璃、硅片、金属壳、亚克力等；溅射镀膜时，将需要溅射的基板放置在承载基板治具的插槽上，实现镀膜的过程。而常用的治具大多为针对尺寸单一的基板设计的固定尺寸治具，针对不用尺寸的基板就需要设计多套承载治具，增加成本，另外为了防止推入插槽中的基板在溅射过程中掉落，在插槽的推入口处增加有通过螺钉装卸的挡块，从而增加了工序，操作不便，浪费时间。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种针对不同溅射基板可进行尺寸调节的承载治具。为解决上述问题，本技术是通过以下技术方案实现的：用于溅射镀膜的承载治具，具有方形外框体和外框体内连接的中间杆，所述外框体由左侧板、上顶板、右侧板和下底板收尾固定连接而成，所述左侧板、上顶板和右侧板的内侧以及中间杆的两侧都开有便于安装基板的插槽；所述中间杆一端卡在上顶板的插槽中另一端放置在下底板上且平行于左侧板和右侧板；所述右侧板上铰链连接有能够压在下底板上的压板，所述左侧板上对应压板处开有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于溅射镀膜的承载治具，其特征在于：具有方形外框体（1）和外框体（1）内连接的中间杆（15），所述外框体（1）由左侧板（11）、上顶板（12）、右侧板（13）和下底板（14）收尾固定连接而成，所述左侧板（11）、上顶板（12）和右侧板（13）的内侧以及中间杆（15）的两侧都开有便于安装基板的插槽（2）；所述中间杆（15）一端卡在上顶板（12）的插槽（2）中另一端放置在下底板（14）上且平行于左侧板（11）和右侧板（13）；所述右侧板（13）上铰链连接有能够压在下底板（14）上的压板（16），所述左侧板（11）上对应压板（16）处开有固定压板（16）的定位槽（3）；所述中间杆（15）和右侧板...

【技术特征摘要】
1.一种用于溅射镀膜的承载治具，其特征在于：具有方形外框体（1）和外框体（1）内连接的中间杆（15），所述外框体（1）由左侧板（11）、上顶板（12）、右侧板（13）和下底板（14）收尾固定连接而成，所述左侧板（11）、上顶板（12）和右侧板（13）的内侧以及中间杆（15）的两侧都开有便于安装基板的插槽（2）；所述中间杆（15）一端卡在上顶板（12）的插槽（2）中另一端放置在下底板（14）上且平行于左侧板（11）和右侧板（13）；所述右侧板（13）上铰链连接有能够压在下底板（14）上的压板（16），所述左侧板（11）上对应压板（16）处开有固定压板（16）的定位槽（3）；所述中间杆（15）和右侧板（13）之间设置有调节中间杆（15）位置的丝杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明华，王卫芳，夏奉龙，
申请(专利权)人：苏州展迪科机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32