用于溅射镀膜的承载治具制造技术

本实用新型专利技术公开了用于溅射镀膜的承载治具，有方形外框体和外框体内连接的中间杆，所述外框体由左侧板、上顶板、右侧板和下底板收尾固定连接而成，所述左侧板、上顶板和右侧板的内侧以及中间杆的两侧都开有便于安装基板的插槽；所述右侧板上铰链连接有能够压在下底板上的压板，所述左侧板上对应压板处开有固定压板的定位槽；所述中间杆和右侧板之间设置有调节中间杆位置的丝杆装置，所述丝杆装置安装在中间杆和右侧板对应设置的安装块上。本实用新型专利技术装置操作简单、便捷，应用范围广，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
用于溅射镀膜的承载治具
本技术涉及溅射镀膜领域，尤其是用于溅射镀膜的承载治具。
技术介绍
溅射是当前广泛应用的镀膜技术，被普遍应用于微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中。所用的基板可以是玻璃、硅片、金属壳、亚克力等；溅射镀膜时，将需要溅射的基板放置在承载基板治具的插槽上，实现镀膜的过程。而常用的治具大多为针对尺寸单一的基板设计的固定尺寸治具，针对不用尺寸的基板就需要设计多套承载治具，增加成本，另外为了防止推入插槽中的基板在溅射过程中掉落，在插槽的推入口处增加有通过螺钉装卸的挡块，从而增加了工序，操作不便，浪费时间。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种针对不同溅射基板可进行尺寸调节的承载治具。为解决上述问题，本技术是通过以下技术方案实现的：用于溅射镀膜的承载治具，具有方形外框体和外框体内连接的中间杆，所述外框体由左侧板、上顶板、右侧板和下底板收尾固定连接而成，所述左侧板、上顶板和右侧板的内侧以及中间杆的两侧都开有便于安装基板的插槽；所述中间杆一端卡在上顶板的插槽中另一端放置在下底板上且平行于左侧板和右侧板；所述右侧板上铰链连接有能够压在下底板上的压板，所述左侧板上对应压板处开有固定压板的定位槽；所述中间杆和右侧板之间设置有调节中间杆位置的丝杆装置，所述丝杆装置安装在中间杆和右侧板对应设置的安装块上。通过丝杆装置对中间杆在外框体上的位置进行调节，中间杆的上端卡在上顶板内侧插槽中并沿着插槽移动下端在下底板上移动，根据所需溅射基板的尺寸要求确定好中间杆位置，将基板卡装在外框体内侧的插槽内，而后将与右侧板铰链连接的压板压在下底板上同时压板端部位于左侧板的定位槽中，压板内侧抵住中间杆的下端面，从而防止基板在溅射镀膜过程中从外框体中掉落。作为优选，所述压板的左端面上设有弹片且对应于压板的定位槽内开有配合弹片的凹口，压板卡在定位槽内后弹片压入凹口中固定好压板的位置。作为优选，所述上顶板和下底板上都标有刻度，提高尺寸调节精度。作为优选，所述左侧板、右侧板和中间杆上插槽的进插口处都为弧形口，方便基板插如插槽中。作为优选，所述上顶板和下底板的外侧面上都开有螺纹孔，可将整个外框体连接在镀膜机构上并进行翻转，便于完成溅射工序。与现有技术相比，本技术的有益之处在于：本技术装置通过丝杆装置调节，适用于承载不同尺寸的基板，应用范围更广，而且调节精度高；通过铰链连接的压板更加便捷的实现阻挡插槽内的基板防止掉落，减少了拆装挡块的工序，提高工作效率。附图说明下面结合附图对本技术进一步说明：图1是本技术结构示意图；图2是本技术俯视结构示意图；图3是本技术后视结构示意图；图4的本技术定位槽结构示意图；图5是本技术弹片结构示意图。图中：1、外框体；11、左侧板；12、上顶板；13、右侧板；14、下底板；15、中间杆；16、压板；2、插槽；21、弧形口；3、定位槽；4、丝杆装置；5、安装块；6、弹片；7、凹口；8、刻度；9、螺纹孔。具体实施方式下面结合附图及具体实施方式对本技术进行详细描述：如图1、图2和图3所示的用于溅射镀膜的承载治具，具有方形外框体1和外框体1内连接的中间杆15，所述外框体1由左侧板11、上顶板12、右侧板13和下底板14收尾固定连接而成，所述左侧板11、上顶板12和右侧板13的内侧以及中间杆15的两侧都开有便于安装基板的插槽2；所述中间杆15一端卡在上顶板12的插槽2中另一端放置在下底板14上且平行于左侧板11和右侧板13；所述右侧板13上铰链连接有能够压在下底板14上的压板16，所述左侧板11上对应压板16处开有固定压板16的定位槽3；所述中间杆15和右侧板13之间设置有调节中间杆15位置的丝杆装置4，所述丝杆装置4安装在中间杆15和右侧板13对应设置的安装块5上。所述上顶板12和下底板14上都标有刻度8，丝杆装置4根据刻度8对中间杆15在外框体1上的位置进行调节，中间杆15的上端卡在上顶板12内侧插槽2中并沿着插槽2移动同时其下端在下底板14上移动，根据所需溅射基板的尺寸要求确定好中间杆15在外框体1上的位置，将基板卡装在外框体1内侧的插槽2内，而后将与右侧板13铰链连接的压板16压在下底板14上且压板16的端部位于左侧板11的定位槽3中，压板16内侧抵住中间杆15的下端面，从而防止基板在溅射镀膜过程中从外框体1中掉落。所述上顶板12和下底板14的外侧面上都开有螺纹孔9，便于将外框体1连接在连接在镀膜机构上，在溅射镀膜过程中进行翻转。如图4和图5所示，所述压板16的左端面上设有弹片6且对应于压板16的定位槽3内开有配合弹片6的凹口7。压板16压在下底板14上后其左端卡在左侧板11的定位槽3内，左端面上的弹片6刚好压入定位槽3内与弹片6相匹配的凹口7中，从而固定好压板16避免在使用过程中因外框体1转动被甩出。通过丝杠装置4结合刻度8进行精确调节，使得该承载治具适用于不同尺寸的基板进行溅射镀膜，压板16铰链连接在右侧板13上可快速的实现对治具上承载的基板进行阻挡避免掉落，减少了原来在治具上装卸挡块的工序，提高了工作效率。需要强调的是：以上仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于溅射镀膜的承载治具，其特征在于：具有方形外框体（1）和外框体（1）内连接的中间杆（15），所述外框体（1）由左侧板（11）、上顶板（12）、右侧板（13）和下底板（14）收尾固定连接而成，所述左侧板（11）、上顶板（12）和右侧板（13）的内侧以及中间杆（15）的两侧都开有便于安装基板的插槽（2）；所述中间杆（15）一端卡在上顶板（12）的插槽（2）中另一端放置在下底板（14）上且平行于左侧板（11）和右侧板（13）；所述右侧板（13）上铰链连接有能够压在下底板（14）上的压板（16），所述左侧板（11）上对应压板（16）处开有固定压板（16）的定位槽（3）；所述中间杆（15）和右侧板（13）之间设置有调节中间杆（15）位置的丝杆装置（4），所述丝杆装置（4）安装在中间杆（15）和右侧板（13）对应设置的安装块（5）上。

【技术特征摘要】
1.一种用于溅射镀膜的承载治具，其特征在于：具有方形外框体（1）和外框体（1）内连接的中间杆（15），所述外框体（1）由左侧板（11）、上顶板（12）、右侧板（13）和下底板（14）收尾固定连接而成，所述左侧板（11）、上顶板（12）和右侧板（13）的内侧以及中间杆（15）的两侧都开有便于安装基板的插槽（2）；所述中间杆（15）一端卡在上顶板（12）的插槽（2）中另一端放置在下底板（14）上且平行于左侧板（11）和右侧板（13）；所述右侧板（13）上铰链连接有能够压在下底板（14）上的压板（16），所述左侧板（11）上对应压板（16）处开有固定压板（16）的定位槽（3）；所述中间杆（15）和右侧板（13）之间设置有调节中间杆（15）位置的丝杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明华，王卫芳，夏奉龙，
申请(专利权)人：苏州展迪科机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32