一种ZnS多晶的制备方法技术

技术编号:17380119 阅读:120 留言:0更新日期:2018-03-03 16:38
本发明专利技术提供了一种ZnS多晶的制备方法,将硫化锌置于管式加热炉中,通入硫化氢20~30min后升温,升至第一温度500~600℃后保温2~4h,升至第一温度后硫化氢调整通入速率;再降温得到预处理硫化锌;硫化锌的质量、硫化氢的开始通入速率和硫化氢的调整通入速率比为0.0001~15kg:1.5~2.3L/min:0.5~1L/min;将质量比100:0.3~0.8的预处理硫化锌和Al2S3混合,得到混合物;将混合物预压至50~55MPa后抽真空,真空度至4~10Pa后升温至第二温度800~1000℃,保温6~8h;升至第二温度3~5h后加压至70~90MPa,保压至10~40℃,得到ZnS多晶。

A preparation method of ZnS polycrystalline

The invention provides a preparation method of polycrystalline ZnS, zinc sulfide in the tube furnace, H2S 20 ~ 30min after heating, heat 2 ~ 4H to first temperature of 500~600 DEG C, the temperature rose to first adjust the flow rate of hydrogen sulfide; and then cooling the preprocessing of zinc sulfur; start the quality of zinc sulfide, hydrogen sulfide and hydrogen sulfide to adjust the flow rate flow rate is 0.0001 ~ 15kg:1.5 ~ 2.3L/min:0.5 ~ 1L/min; the mass ratio of 100:0.3 to 0.8 of pretreatment of zinc sulfide and Al2S3 mixed to obtain a mixture; the mixture is pre pressed to 50 ~ 55MPa after vacuum pumping, vacuum to 4 ~ 10Pa the heating temperature of 800~1000 DEG C to second, holding 6 ~ 8h; the temperature rose to second after 3 ~ 5h to 70 ~ 90MPa pressure, holding pressure to 10~40 DEG C, ZnS polycrystalline.

【技术实现步骤摘要】
一种ZnS多晶的制备方法
本专利技术涉及多晶硫化锌
,尤其涉及一种ZnS多晶的制备方法。
技术介绍
ZnS是一种用途广泛的宽带隙II-VI族半导体材料。红外硫化锌多晶材料具有优异的机械性能和光学性能,广泛用于红外成像系统和多光谱精确制导系统的整流罩等。目前制备硫化锌多晶的生产工艺主要有:真空热压法、化学气相沉积法和物理气相沉积法,物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法(CVD)法对设备要求复杂,沉积室和真空系统的设计难度非常高,工艺也非常不好控制,过程中温度及真空的波动,对硫化锌多晶的影响非常大,导致开裂和透过率不高等,并且所需时间非常久,多达半个多月。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的在于提供一种ZnS多晶的制备方法,该方法制备的ZnS多晶的具有较高的红外透过率。本专利技术提供了一种ZnS多晶的制备方法,包括以下步骤:将硫化锌置于管式加热炉中,开始通入硫化氢20~30min后升温,升至第一温度后保温2~4h,所述第一温度为500~600℃;升至第一温度后硫化氢调整通入速率;保温结束后再降温至10~40℃,得到预处理硫化锌;硫化锌的质量、硫化氢的开始通入速率和硫化氢的调整本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ZnS多晶的制备方法,包括以下步骤:将硫化锌置于管式加热炉中,开始通入硫化氢20~30min后升温,升至第一温度后保温2~4h,所述第一温度为500~600℃;升至第一温度后硫化氢调整通入速率;保温结束后再降温至10~40℃,得到预处理硫化锌;硫化锌的质量、硫化氢的开始通入速率和硫化氢的调整通入速率比为(0.0001~15)kg:(1.5~2.3)L/min:(0.5~1)L/min;将质量比为100:0.3~0.8的预处理硫化锌和Al2S3混合,得到混合物;将所述混合物进行预压至压力50~55MPa后抽真空,真空度至4~10Pa后升温至第二温度,保温6~8h,所述第二温度为800~100...

【技术特征摘要】
1.一种ZnS多晶的制备方法,包括以下步骤:将硫化锌置于管式加热炉中,开始通入硫化氢20~30min后升温,升至第一温度后保温2~4h,所述第一温度为500~600℃;升至第一温度后硫化氢调整通入速率;保温结束后再降温至10~40℃,得到预处理硫化锌;硫化锌的质量、硫化氢的开始通入速率和硫化氢的调整通入速率比为(0.0001~15)kg:(1.5~2.3)L/min:(0.5~1)L/min;将质量比为100:0.3~0.8的预处理硫化锌和Al2S3混合,得到混合物;将所述混合物进行预压至压力50~55MPa后抽真空,真空度至4~10Pa后升温至第二温度,保...

【专利技术属性】
技术研发人员:文崇斌朱刘胡智向解磊鹏曾成亮余芳
申请(专利权)人:清远先导材料有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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