一种集成受力传感器制造技术
An integrated force sensor
The present invention discloses an integrated force sensor, which is characterized in that: the matrix, including flexible skin set flexible cavity on the substrate and covers the flexible cavity on the substrate in the bulges on the flexible cavity under the action of the bulge is divided into two sections, one end of the flexible connecting cavity the pressure sensor is used to measure the flexible cavity internal pressure, and the other end of the flexible cavity communicated with the outside air. In the invention, due to the force and pressure change by changing the object shape, by detecting the air pressure detecting force and pressure overload can be released by a pressure release mechanism, will not affect the safety of thin film pressure sensor, permanent damage even more than 100 times the static pressure overload will not cause film.
【技术实现步骤摘要】
一种集成受力传感器
本专利技术涉及传感器
，尤其涉及一种集成受力传感器。
技术介绍
现有受力传感器通过压阻敏感元件(金属或者硅掺杂器件)来测量受力大小。测量原理为：受力时会造成硅薄膜的应力集中，从而造成压阻敏感元件的阻值变化，该阻值变化可以通过惠斯通电桥转变为电压变化。这类产品的特点是灵敏度很高。然而，存在的一个致命问题是：由于受力都是直接施加在压力传感器的硅薄膜表面，当过载的压力加在硅薄膜上时，薄膜会很容易产生不可逆破环，破坏机理包括塑形变形(如金属)和断裂等。因而，传统的受力传感器使用过载一般不得超过150％。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高灵敏度且高抗爆性的受力传感器，即使过载100倍也不会造成薄膜的损坏。为达到以上目的，本专利技术采用如下技术方案。一种集成受力传感器，其特征在于，包括：基体，设置在基体上的柔性通腔和覆盖在柔性通腔上的柔性皮肤，在基体上设有凸起，所述柔性通腔在凸起作用下被分割成两段，柔性通腔的一端连接有用来测量柔性通腔内部压力的压力传感器，柔性通腔的另一端与外界空气连通。作为上述方案的进一步说明，所述柔性通腔为管状结构。作为上...
【技术保护点】
一种集成受力传感器，其特征在于，包括：基体，设置在基体上的柔性通腔和覆盖在柔性通腔上的柔性皮肤，在基体上设有凸起，所述柔性通腔在凸起作用下被分割成两段，柔性通腔的一端连接有用来测量柔性通腔内部压力的压力传感器，柔性通腔的另一端与外界空气连通。
【技术特征摘要】
1.一种集成受力传感器，其特征在于，包括：基体，设置在基体上的柔性通腔和覆盖在柔性通腔上的柔性皮肤，在基体上设有凸起，所述柔性通腔在凸起作用下被分割成两段，柔性通腔的一端连接有用来测量柔性通腔内部压力的压力传感器，柔性通腔的另一端与外界空气连通。2.根据权利要求1所述的一种集成受力传感器，其特征在于，所述柔性通腔为管状结构。3.根据权利要求1或2所述的一种集成受力传感器，其特征在于，所述柔性通腔设置在基体中部，所述凸起为条形凸起，条形凸起的走向与管状的柔性通腔走向垂直。4.根据权利要求1所述的一种集成受力传感器，其特征在于，所述凸起一体成型在基体上。5.根据权利要求1或2所述的一种集成受力传感器，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘昶，
申请(专利权)人：佛山融芯智感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。