一种热处理装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种热处理装置
本专利技术涉及一种热处理装置，特别涉及一种立式热处理装置。
技术介绍
在半导体生产中，晶圆的热处理装置起着重要作用，工艺过程中，晶圆放置在热处理装置内的晶圆支撑装置上，通常在晶圆与热处理装置之间还设置有石英管，用来将晶圆与热处理腔室分开。热处理装置主要由加热丝和保温材料构成，加热丝用来给晶圆加热，以完成工艺，保温材料则起着绝热的作用，将热处理装置内部的热与外部隔绝开，以保证环境温度不过高，同时对热处理装置的能耗及控温效果都有着不同程度的影响作用。专利CN201410058399.9公开了一热处理装置，包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳，其中：热处理加热结构包括第一保温部及加热部，第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔，加热部部分嵌入所述第一保温部内，加热部朝向待加热样品的一侧裸露。本专利技术提供的热处理装置包括置于内层的第一保温部、置于外层的第二保温部、以及置于顶部的第三保温部，具有全方位的良好保温性能，且该热处理装置包括多个长度可根据需求灵活定义的热处理加热结构。专利CN201420074781.4公开了一热处理装置，包括加热层及夹层...
【技术保护点】
一种热处理装置，其特征为，包括圆柱体结构的壳体和传送机构；壳体底部设有若干支撑脚，壳体内水平的设有四个分隔板，将壳体内的空间自下而上依次分隔成第一加热腔、第一保温腔、第二加热腔、第二保温腔和第三加热腔，第一加热腔、第一保温腔、第二加热腔和第二保温腔的高度相同，第三加热腔的高度大于第二保温腔的高度；每个分隔板和壳体的底部上均设有一个正方形结构的开口；壳体底部的支撑脚之间水平的设有底部支撑板，丝杠的顶部通过轴套可转动的固定在壳体顶部，丝杠的底部穿过分隔板和壳体的底部的开口、并通过轴套可转动的固定在底部支撑板上，丝杠的底部与传动杆同轴固定连接，传动杆底部设有从动齿轮，从动齿轮与固...
【技术特征摘要】
1.一种热处理装置，其特征为，包括圆柱体结构的壳体和传送机构；壳体底部设有若干支撑脚，壳体内水平的设有四个分隔板，将壳体内的空间自下而上依次分隔成第一加热腔、第一保温腔、第二加热腔、第二保温腔和第三加热腔，第一加热腔、第一保温腔、第二加热腔和第二保温腔的高度相同，第三加热腔的高度大于第二保温腔的高度；每个分隔板和壳体的底部上均设有一个正方形结构的开口；壳体底部的支撑脚之间水平的设有底部支撑板，丝杠的顶部通过轴套可转动的固定在壳体顶部，丝杠的底部穿过分隔板和壳体的底部的开口、并通过轴套可转动的固定在底部支撑板上，丝杠的底部与传动杆同轴固定连接，传动杆底部设有从动齿轮，从动齿轮与固定在电机上的主动齿轮相啮合；壳体的顶部与底部支撑板之间还设有3-5个导向杆，导向杆位于开口中并均匀分布在丝杠的外周；传送机构包括上固定板、下固定板和竖直支撑网板，上固定板与下固定板水平设置，四个竖直支撑网板首尾相连的垂直的固定在上固定板和下固定板之间，相邻的两个竖直支撑网板之间垂直设置，上固定板和下固定板与开口均过渡配合，上固定板和下固定板的中心处同轴的设有内螺纹孔，内螺纹孔与丝杠相契合，丝杠螺纹配合的穿过上固定板和下固定板，导向杆间隙配合的穿过上固定板和下固定板，竖直支撑网板的高度与第一加热腔的高度相同，通过电机控制传送机构在第一加热腔、第一保温腔、第二加热腔、第二保温腔和第三加热腔之间往复运动；第一加热腔、第二加热腔和第三加热腔的内壁中均竖直的设有若干电加热管，第二加热腔中的电加热管的数量为第一加热腔中的电加热管的数量的两倍，第三加热...
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