DBR镀膜载环制造技术

技术编号:17342681 阅读:41 留言:0更新日期:2018-02-25 08:03
本实用新型专利技术公开了一种DBR镀膜载环;包括环体,所述环体的内侧设置有4个卡脚;所述环体的内侧还设置有平边,所述平边的边缘设置有倾斜度为60度的倾斜角。本实用新型专利技术具有芯粒损失小、取放方便的特点。

【技术实现步骤摘要】
DBR镀膜载环
本技术涉及LED芯片制作领域,更具体地说,它涉及一种DBR镀膜载环。
技术介绍
由于发光二极管芯片(LightEmittingDiode,简称LED)是一种具有节能、环保、和寿命长等诸多优点的半导体元器件,所以目前阶段,其已经成为国内外最受重视的光源技术之一。LED芯片通常的制作方法,是采用金属有机化合物的化学气相沉积,从而在衬底上生长外延层,然后再通过一系列的芯片制程制作而成。在LED芯片的制作当中,分布式布拉格反射镜(简称DBR)镀膜是一个关键的环节。镀膜过程中,需将LED芯片稳定的放置在镀膜治具之上。然而在这一过程当中,镀膜治具与LED芯片必须相接触,往往会造成的芯片边缘芯粒被污染,导致部分芯粒因此报废。需要说明的是,LED芯片上的有效芯粒数量,是衡量LED芯片质量的一项重要指标,芯片上有效芯粒的数量会直接影响成品率。所以镀膜导致的芯粒报废,是应该尽量减少的。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种DBR镀膜载环,具有芯粒损失小、取放方便的特点。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种DBR镀膜载环;包括环体,所述环体的内侧设置有4个卡本文档来自技高网...
DBR镀膜载环

【技术保护点】
一种DBR镀膜载环;其特征是,包括环体(1),所述环体(1)的内侧设置有4个卡脚;所述环体(1)的内侧还设置有平边(11),所述平边(11)的边缘设置有倾斜度为60度的倾斜角(111)。

【技术特征摘要】
1.一种DBR镀膜载环;其特征是,包括环体(1),所述环体(1)的内侧设置有4个卡脚;所述环体(1)的内侧还设置有平边(11),所述平边(11)的边缘设置有倾斜度为60度的倾斜角(111)。2.根据权利要求1所述的DBR镀膜载环,其特征是,所述环体(1)的侧壁上沿其径向设置有4个安装孔(5),4个安装孔(5)内分别活动设置有活动块(3),4个卡脚分别固定于4个活动块(3)上;所述安装孔(5)的底壁上贯穿设置有螺杆(4),所述螺杆(4)的一端与活动块(3)转动连接,另一端穿出环体(1)的外侧壁,并设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴琼侯杰泞
申请(专利权)人:福建兆元光电有限公司
类型:新型
国别省市:福建,35

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