可更换上盘结构及抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的可更换上盘结构及抛光装置，涉及高精度抛光技术领域，该可更换上盘结构包括：上盘调节件和安装盘；上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。本实用新型专利技术提供的可更换上盘结构中上盘通过上盘调节件可以更换，且能够通过单个的上盘调节件调整上盘的平稳性。仅通过上盘调节件将上盘设置在安装盘上，使上盘柔性连接在安装盘上，可以随时更换上盘，或调整平稳性。具有抛光效果好和节约资源等优点。

Replaceable upper plate structure and polishing device

The utility model provides a replaceable plate structure and polishing device, which relates to the technical field of high precision polishing, the hanging wall structure includes plate adjustment element and mounting plate by a plurality of hanging wall hanging wall; the adjusting piece is detachably arranged in the mounting plate at the bottom of the upper plate through the adjusting element along the hanging wall the axis moves arranged on the mounting plate. The upper plate of the replaceable hanging structure provided by the utility model can be replaced by the upper plate adjusting part, and the smoothness of the hanging plate can be adjusted by a single hanging plate adjusting member. The upper plate is set on the installation plate only through the upper plate, so that the upper plate is flexibly connected to the mounting plate, and the upper plate can be replaced at any time, or the smoothness can be adjusted. It has the advantages of good polishing effect and saving resources.

【技术实现步骤摘要】
可更换上盘结构及抛光装置
本技术涉及高精度抛光
，尤其是涉及一种可更换上盘结构及抛光装置。
技术介绍
抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对抛光件表面进行的修饰加工。晶片等较薄的零件在抛光的过程中，需要采用高精度的抛光装置，防止对较薄的零件造成损伤。目前采用的抛光装置为下盘固定，上盘旋转进行抛光。传统的抛光装置上盘经常使用不便于更换，使用不方便。且上盘不够平稳，导致抛光的抛光件厚度不一致，影响抛光件的抛光质量，造成资源的浪费。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提供一种可更换上盘结构，以解决现有的抛光装置上盘经常使用不便于更换，且上盘不够平稳的技术问题。本技术的另一个目的在于提供一种抛光装置，包括上述提供的可更换上盘结构。为解决上述技术问题，本技术采用了以下技术方案；本技术第一方面提供的可更换上盘结构，其中，包括：上盘调节件和安装盘；上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。本技术提供的可更换上盘结构中上盘通过上盘调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可更换上盘结构，其特征在于，包括：上盘调节件和安装盘；上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。

【技术特征摘要】
1.一种可更换上盘结构，其特征在于，包括：上盘调节件和安装盘；上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。2.根据权利要求1所述的可更换上盘结构，其特征在于，所述安装盘上设置有连接件，驱动装置通过所述连接件带动所述安装盘上下移动。3.根据权利要求1所述的可更换上盘结构，其特征在于，所述上盘调节件为三个，三个所述上盘调节件沿所述上盘的周向均布。4.根据权利要求1所述的可更换上盘结构，其特征在于，所述调节件为调节螺栓或螺杆。5.一种抛光装置，其特征在于，包括如权利要求1-4任意一项所述的可更换上盘结构，还包括对应于所述上盘设置的下盘。6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：希尔维斯特·本杰明，孔满红，希尔维斯特·驹亮，希尔维斯特·昂睿，
申请(专利权)人：大连桑姆泰克工业部件有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21