正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体技术

本发明专利技术涉及正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体。本发明专利技术的课题在于提供：正型感光性树脂组合物，其用于形成有机膜，所述有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述永久膜均匀地被覆金属布线的整个面，并且不被覆金属布线以外的部位；金属布线的制造方法，其使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，其具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。本发明专利技术使用下述正型感光性树脂组合物来形成经图案化的上述有机膜，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。

Positive photosensitive resin composition, manufacturing method and stack of metal wiring

【技术实现步骤摘要】
正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体
本专利技术涉及：正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用；金属布线的制造方法，所述方法使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，所述层叠体具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。
技术介绍
随着智能手机、平板型信息通信终端的迅速普及，触摸面板市场正在迅速发展。对于所述触摸面板而言，有时在显示面内形成由金属构成的电极、布线。例如，作为这样的电极，可举出使用了Cu、Ag的金属网状电极。然而，在显示面内形成由金属构成的电极、布线的情况下，存在触摸面板的使用者容易目视识别出金属电极、金属布线的问题，即使假设使该金属电极、金属布线的线宽变细至人眼无法目视识别的程度，也仍会产生下述问题：由于金属的反射率高而导致发生外界光线的反射。为了解决上述问题，提出了在金属电极、金属布线等的金属薄膜上设置反射率低的反射率控制机构的方法。具体而言，已知有下述方法：使用感光性树脂组合物，利用光刻法而在透明支承体上的金属层上设置经图案化的树脂层，然后通过蚀刻而将从经图案化的树脂层的开口部露出的金属层除去，接着对树脂层进行烘烤，由此，设置将经蚀刻的金属层的表面均匀地被覆的反射率控制机构(经烘烤的树脂层)(参见专利文献1。)。也即，在专利文献1所记载的方法中，经图案化的树脂层被兼用作用于通过蚀刻而形成金属布线的蚀刻掩模和反射控制机构。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-071242号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在使用专利文献1中记载的感光性树脂组合物、利用上述方法而形成被覆经蚀刻的金属层(金属布线)表面的反射率控制机构(经烘烤的树脂层)时，即使能均匀地被覆金属布线的整个面，也仍然存在金属布线以外的部位(典型的是像素部)被反射率控制机构被覆的情况。该情况下，由于金属布线以外的部位中的光的透过被阻碍，因而难以使用具有金属布线的基板来制造能显示高画质的图像的图像显示装置。本专利技术是鉴于上述课题而作出的，目的在于提供：正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物能够形成均匀地被覆金属布线的整个面、并且不被覆金属布线以外的部位的永久膜；金属布线的制造方法，所述方法使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，所述层叠体具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。需要说明的是，本申请说明书中，永久膜被覆金属布线的整个面是指下述状态：针对具有被永久膜被覆的金属布线的基板而从与基板的设置了金属布线的面垂直的方向进行观察时，观察不到金属布线露出。在对具有金属布线和永久膜的基板的剖面进行观察时，金属布线的侧面的一部分可以露出。用于解决课题的手段本申请的专利技术人发现，通过使用包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮(quinonediazide)基的化合物、和(C)着色剂的正型感光性树脂组合物来形成下述经图案化的有机膜，能够解决上述课题，从而完成了本专利技术，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用。即，本专利技术的第1方式是正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。本专利技术的第2方式是金属布线的制造方法，所述方法包括下述工序：在金属膜上涂布第1方式涉及的正型感光性树脂组合物而形成涂布膜的工序；位置选择性地对涂布膜进行曝光的工序；将经曝光的涂布膜显影而形成蚀刻掩模的工序；对在表面上具有蚀刻掩模的金属膜进行蚀刻，从而形成被蚀刻掩模被覆的金属布线的工序；以及，对蚀刻掩模进行烘烤，从而形成被覆金属布线的永久膜的工序。本专利技术的第3方式是层叠体，所述层叠体包括金属布线和永久膜，永久膜与金属布线接触并被覆金属布线，永久膜是使第1方式涉及的正型感光性树脂组合物固化而形成的膜。专利技术的效果通过本专利技术，能够提供：正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物能够形成均匀地被覆金属布线的整个面、并且不被覆金属布线以外的部位的永久膜；金属布线的制造方法，所述方法使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，所述层叠体具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。附图说明[图1]为示意性地示出在基板上制造金属布线的方法的概要的图。[图2]为示意性地示出本实施方式中制造的基板的液晶显示装置用途的一例的图。附图标记说明1液晶显示装置用基板10基板11金属膜12涂布膜13滤色片14透明层15光掩模16曝光光线17被覆树脂层18金属布线19透明树脂层20液晶层21像素电极22绝缘层23阵列基板BM黑色矩阵R、G、B红色(R)着色膜、绿色(G)着色膜、蓝色(B)着色膜具体实施方式《正型感光性树脂组合物》正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用。另外，正型感光树脂性组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。需要说明的是，在下文中，也将正型感光性树脂组合物记为“正型组合物”。对于形成作为被覆金属布线的永久膜来使用的经图案化的有机膜的方法，在后文中详细说明。以下，对(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、(C)着色剂、和其他任选成分进行说明。＜(A)Novolac树脂＞作为(A)Novolac树脂，可使用以往在正型组合物中配合的各种Novolac树脂。作为(A)Novolac树脂，优选为通过在酸催化剂存在下使具有酚式羟基的芳香族化合物(以下，简称为“酚类”。)和醛类进行加成缩合而得到的Novolac树脂。·酚类作为酚类，例如，可举出：苯酚；邻甲酚、间甲酚、对甲酚等甲酚类；2,3-二甲苯酚、2,4-二甲苯酚、2,5-二甲苯酚、2,6-二甲苯酚、3,4-二甲苯酚、3,5-二甲苯酚等二甲苯酚类；邻乙基苯酚、间乙基苯酚、对乙基苯酚等乙基酚类；2-异丙基苯酚、3-异丙基苯酚、4-异丙基苯酚、邻丁基苯酚、间丁基苯酚、对丁基苯酚、以及对叔丁基苯酚等烷基酚类；2,3,5-三甲基苯酚、及3,4,5-三甲基苯酚等三烷基酚类；间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、对苯二酚单甲基醚、连苯三酚、及间苯三酚等多元酚类；烷基间苯二酚、烷基邻苯二酚、及烷基对苯二本文档来自技高网...

【技术保护点】
正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的所述金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。

【技术特征摘要】
2016.08.08 JP 2016-155877;2017.06.12 JP 2017-115461.正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的所述金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述(A)Novolac树脂的重均分子量为1000...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木茂，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP