The utility model discloses a positioning ceramic substrate alignment apparatus, positioning mounting plate is arranged horizontally, the bottom surface for positioning and fixing, which is arranged on the top surface of a guide sloping block, each side edge of the ceramic substrate corresponding to at least set a guide sloping block; guiding sloping block is arranged on the guide surface is oriented toward the longitudinal inclination. The ceramic substrate, between every two opposite guide surface distance direction from top to bottom gradually reduced, when the ceramic substrate by grasping manipulator and placed down from above, a larger size, allowing large errors when the mechanical arm after release, the ceramic substrate under the action of gravity sliding down, because the guide surface is inclined relative, eventually fell to the bottom of the bottom at the smallest space with the ceramic substrate of the same size, so the position of ceramic substrate in positioning the mounting plate is determined only at this time The accuracy of manipulator grasping ceramic substrate is improved. Compared with the grasping method of directly grasping ceramic substrate, it can greatly reduce the error of robotic arm grasping.
【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷基板定位校准装置
本技术涉及半导体制造
,更进一步涉及一种陶瓷基板定位校准装置。
技术介绍
陶瓷基板具备优良的导热性和气密性,被广泛应用于功率电子、电子封装、混合微电子与多芯片模块等领域。陶瓷基板的承载料盒的宽度略大于陶瓷基板的宽度,在使用晶圆盘机械臂搬运陶瓷基板的过程中,料盒里面随机存放的陶瓷基板在水平方向上会存在2—4mm的单边位置偏差,导致晶圆盘机械臂的抓取位置与陶瓷基板的相对位置不一致。如果不弥补这些偏差,在下一步加工工艺中,陶瓷基板的位置精度就无法得到保障。现有技术中,只存在用于圆形晶圆的校准装置,这些装置一般使用传感器和负压吸附装置对晶圆进行校准,未有对陶瓷基板定位校准的装置,所以设计一种用于陶瓷基板的定位校准装置,是目前本领域的技术人员需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种陶瓷基板定位校准装置,用于对陶瓷基板准确定位,可以大大降低机械臂抓取的误差,具体方案如下:一种陶瓷基板定位校准装置,包括:定位安装板,呈水平设置,底面用于定位固定;导向斜块,设置于所述定位安装板的顶面,每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个所述导向斜块;每个所述导向斜块上设置呈纵向倾斜的导向面,所述导向面朝向陶瓷基板;每两个相对设置的所述导向面之间的距离从上到下的方向渐缩,底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同。可选地,所述导向斜块包括竖直板和水平板,所述导向面设置于所述竖直板上,所述水平板上开设螺栓孔,通过螺栓固定于所述定位安装板上。可选地,所述水平板上设置腰形定位孔,所述腰形定位孔的长度方向与导向面的倾斜方向相同。可选地,所述定位安装板上按陶瓷基板的尺寸设置 ...
【技术保护点】
一种陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,包括:定位安装板(1),呈水平设置,底面用于定位固定;导向斜块(2),设置于所述定位安装板(1)的顶面,每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个所述导向斜块(2);每个所述导向斜块(2)上设置呈纵向倾斜的导向面,所述导向面朝向陶瓷基板;每两个相对设置的所述导向面之间的距离从上到下的方向渐缩,底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同。
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,包括:定位安装板(1),呈水平设置,底面用于定位固定;导向斜块(2),设置于所述定位安装板(1)的顶面,每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个所述导向斜块(2);每个所述导向斜块(2)上设置呈纵向倾斜的导向面,所述导向面朝向陶瓷基板;每两个相对设置的所述导向面之间的距离从上到下的方向渐缩,底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同。2.根据权利要求1所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述导向斜块(2)包括竖直板(21)和水平板(22),所述导向面设置于所述竖直板(21)上,所述水平板(22)上开设螺栓孔,通过螺栓固定于所述定位安装板(1)上。3.根据权利要求2所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述水平板(22)上设置腰形定位孔,所述腰形定位孔的长度方向与导向面的倾斜方向相同。4.根据权利要求2所述的陶瓷基板定位校准装置,其特征在于,所述定位安装板(1)上按陶瓷基板的尺寸设置多排螺栓孔,每个所述导向斜块(2)对应一排,以调整相对设置的两个所述导向斜块之间的距离。5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺云波,叶文涛,刘青山,陈新,高健,杨志军,张凯,汤晖,陈桪,陈云,
申请(专利权)人:广东工业大学,
类型:新型
国别省市:广东,44
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