一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，属于半导体技术领域，还包括设置在甩干腔体内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体内且可转动的旋转杆、固定在旋转杆上的套筒，所述套筒上设有挡块和配重块，所述挡块和配重块固定连接为一体式，且挡块、配重块分设在套筒的两侧。本实用新型专利技术的自动锁定装置，在旋转产生的离心力作用下，挡块自动移动并卡住承载盒，避免承载盒在高速运转状态下产生位移，减少甩干过程中晶圆破损而导致产品不良率增加的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置
本技术涉及一种自动锁定装置，特别涉及一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，属于半导体

技术介绍
PSS(PatternedSapphireSubstrate，图形化蓝宝石衬底)是在蓝宝石衬底表面形成具有微观图形的蓝宝石衬底。图形化衬底一方面能够有效降低外延结构层的位错密度，提高外延材料的晶体质量和均匀性，进而提高发光二极管的内部量子效率；另一方面，由于图形结构增加了光的散射，改变了发光二极管的光学线路，提升出光几率。PSS工艺包括多次清洗甩干工序，用以清洁晶圆表面的杂质。目前对于清洗甩干工序需采用甩干喷洒装置，其结构如图1所示，装置包括承载台6、设置在承载台6外沿的甩干机外壁1，承载台6上设有若干甩干腔体4，甩干腔体4以承载台6的圆心为对称中心布置，甩干腔体4内设有晶圆承载盒2，晶圆承载盒2内设有晶圆3，甩干腔体4内还设有用于限位晶圆3的档杆5，其中甩干机外壁1上设有若干喷头7，通过甩干机快速旋转时产生的离心力，喷头7将溶液或气体喷到装载的晶圆上面，在甩干的同时清理晶圆表面脏污。甩干时，晶圆装在承载盒中，待承载盒放到甩干腔体内，承载盒及晶圆在腔体内做高速旋转，在高速运转状态下，由于承载盒与甩干腔体间有缝隙，会造成承载盒的抖动，严重情况下会导致晶圆破损，影响产品良率。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，可有效提蓝宝石晶圆在甩干腔体内的稳定性。为了实现上述目的，本技术采用的一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，包括甩干喷洒机构，所述甩干喷洒机构包括承载台、设置在承载台外沿的甩干机外壁，甩干机外壁上设有若干喷头，所述承载台上设有若干甩干腔体，所述甩干腔体以承载台的圆心为对称中心布置，甩干腔体内设有晶圆承载盒，晶圆承载盒内由上至下设有若干晶圆，所述甩干腔体内还设有用于限位晶圆的档杆；还包括设置在甩干腔体内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体内且可转动的旋转杆、固定在旋转杆上的套筒，所述套筒上设有挡块和配重块，所述挡块和配重块固定连接为一体式，且挡块、配重块分设在套筒的两侧。作为改进，所述自动锁定机构成对设置，且每个甩干腔体内设有两个自动锁定机构，两自动锁定机构对称设置在晶圆承载盒的两侧。作为改进，所述挡块上靠近晶圆承载盒的一侧设有弹性垫。作为改进，所述承载台上设有四个甩干腔体，甩干腔体两两对称设置在承载台上。作为改进，所述配重块的形状为圆柱状。作为改进，所述旋转杆底部通过轴承安装在甩干腔体内。与现有技术相比，本技术的自动锁定装置，在旋转产生的离心力作用下，挡块自动移动并卡住承载盒，避免承载盒在高速运转状态下产生位移，减少甩干过程中晶圆破损而导致产品不良率增加的情况。附图说明图1为现有甩干喷洒装置的结构俯视图；图2为本技术的结构示意图；图3为本技术的安装使用示意图；图中：1、甩干机外壁，2、晶圆承载盒，3、晶圆，4、甩干腔体，5、档杆，6、承载台，7、喷头，8、挡块，9、套筒，10、配重块，11、旋转杆。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。如图2、图3所示，一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，包括甩干喷洒机构，所述甩干喷洒机构包括承载台6、设置在承载台6外沿的甩干机外壁1，甩干机外壁1上设有若干喷头7，所述承载台6上设有若干甩干腔体4，所述甩干腔体4以承载台6的圆心为对称中心布置，甩干腔体4内设有晶圆承载盒2，晶圆承载盒2内由上至下设有若干晶圆3，所述甩干腔体4内还设有用于限位晶圆3的档杆5；还包括设置在甩干腔体4内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体4内且可转动的旋转杆11、固定在旋转杆11上的套筒9，所述套筒9上设有挡块8和配重块10，所述挡块8和配重块10固定连接为一体式，且挡块8、配重块10分设在套筒9的两侧。作为实施例的改进，所述自动锁定机构成对设置，且每个甩干腔体4内设有两个自动锁定机构，两自动锁定机构对称设置在晶圆承载盒2的两侧，结构设计合理，且有效提高装置整体的稳固性。作为实施例的改进，所述挡块8上靠近晶圆承载盒2的一侧设有弹性垫，避免甩干机工作时，挡块8与晶圆承载盒2的表面发生摩擦，而导致晶圆承载盒2受损。作为实施例的改进，所述承载台6上设有四个甩干腔体4，甩干腔体4两两对称设置在承载台6上，使承载台6上整体受力更均匀，结构稳固性高。作为实施例的改进，所述配重块10的形状为圆柱状。作为实施例的改进，所述旋转杆11底部通过轴承安装在甩干腔体4内，结构设计合理，且旋转杆11转动更方便。使用时，将两个自动锁定机构对称设置在晶圆承载盒2的两侧，甩干机运作时，自动锁定机构随晶圆承载盒2，以甩干腔体4的中心为旋转中心高速转动，在旋转产生的离心力作用下，配重块10沿旋转圆周运动，带动旋转杆11旋转，此时与配重块10连为一体的挡块8卡住承载盒，锁定承载盒位置，避免承载盒在高速运转状态下产生位移，减少甩干过程中晶圆破损而导致产品不良率增加的情况。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，包括甩干喷洒机构，所述甩干喷洒机构包括承载台(6)、设置在承载台(6)外沿的甩干机外壁(1)，甩干机外壁(1)上设有若干喷头(7)，所述承载台(6)上设有若干甩干腔体(4)，所述甩干腔体(4)以承载台(6)的圆心为对称中心布置，甩干腔体(4)内设有晶圆承载盒(2)，晶圆承载盒(2)内由上至下设有若干晶圆(3)，所述甩干腔体(4)内还设有用于限位晶圆(3)的档杆(5)；其特征在于，还包括设置在甩干腔体(4)内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体(4)内且可转动的旋转杆(11)、固定在旋转杆(11)上的套筒(9)，所述套筒(9)上设有挡块(8)和配重块(10)，所述挡块(8)和配重块(10)固定连接为一体式，且挡块(8)、配重块(10)分设在套筒(9)的两侧。

【技术特征摘要】
1.一种用于蓝宝石晶圆甩干的自动锁定装置，包括甩干喷洒机构，所述甩干喷洒机构包括承载台(6)、设置在承载台(6)外沿的甩干机外壁(1)，甩干机外壁(1)上设有若干喷头(7)，所述承载台(6)上设有若干甩干腔体(4)，所述甩干腔体(4)以承载台(6)的圆心为对称中心布置，甩干腔体(4)内设有晶圆承载盒(2)，晶圆承载盒(2)内由上至下设有若干晶圆(3)，所述甩干腔体(4)内还设有用于限位晶圆(3)的档杆(5)；其特征在于，还包括设置在甩干腔体(4)内的自动锁定机构，所述自动锁定机构包括安装在甩干腔体(4)内且可转动的旋转杆(11)、固定在旋转杆(11)上的套筒(9)，所述套筒(9)上设有挡块(8)和配重块(10)，所述挡块(8)和配重块(10)固定连接为一体式，且挡块(8)、配重块(10)分设在套筒(9)的两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乐浩，刘亚坤，于玉斋，吕承鹏，吕康理，王明明，吕飞，涂亮亮，魏明德，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32