多级微机械结构制造技术

本发明专利技术涉及一种微机械器件，其包括仅包含均质硅材料的多层微机械结构。器件层包括至少一转子和至少两个定子。来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，并且来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。

Multistage micromechanical structure

The invention relates to a micromechanical device, which includes a multi-layer micromechanical structure containing only homogeneous silicon material. The device layer includes at least one rotor and at least two stator. From at least two stator rotor and at least some of the devices from the first surface layer at least partially recessed to at least two different indentation depth, and from at least two stator rotor and at least some of the second surface from the device layer at least partially recessed to at least two different indentation depth.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多级微机械结构
本专利技术涉及微机械器件，更具体地，涉及一种如独立权利要求1的前序部分所限定的仅包括均质器件晶片材料的微机械器件层。
技术介绍
微机电系统(MEMS)器件具有受集成微电子器件控制的移动元件，并且包括在其中已经制造了一些机械器件(例如，微型传感器和微型致动器)的微小硅芯片上的微型电路系统(micro-circuitry)。这些微型传感器和微型致动器构成微机电(MEMS)器件的功能元件。MEMS器件的物理尺寸可以从低于1微米到数毫米不等。MEMS器件将所测量的机械信号转换成电信号。MEMS传感器对机械现象进行测量，然后相关的电子器件对从传感器元件得到的信息进行处理，并借助一些决策能力引导致动器通过例如移动、定位或调整来进行响应，以由此对环境进行控制用于一些期望的结果或目的。MEMS器件由此可以包括驱动元件和感测元件二者以执行特定功能。使用MEMS技术制造的系统的示例是压力传感器、用于测量移动物体的加速度的加速度器、微型定位器(例如，微镜、光学开关或扫描仪)、以及用于测量旋转物体的角速度的陀螺仪。MEMS器件可能是电容性的或利用压电转换。电容式MEMS器件中的关键元件是形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械器件，包括：仅包含均质器件晶片材料的器件层，其特征在于，所述器件层包括具有至少转子和至少两个定子的多级梳结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.15 FI 20155352;2015.11.16 FI 201558431.一种微机械器件，包括：仅包含均质器件晶片材料的器件层，其特征在于，所述器件层包括具有至少转子和至少两个定子的多级梳结构。2.根据权利要求1所述的微机械器件，其中，所述至少两个定子和所述转子中的至少一些从所述器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，所述至少两个定子和所述转子中的至少一些从所述器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。3.根据权利要求1至2中的任一项所述的微机械器件，其中，所述转子和所述至少两个定子包括具有双线性响应函数的梳结构，其中，由第一定子和所述转子形成的第一电极对的输出值的变化与由第二定子和所述转子形成的第二电极对的输出值的变化相反。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的微机械器件，其中，由第一定子和所述转子形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：安蒂·伊霍拉，阿尔蒂·托尔凯利，维尔佩卡·吕特克宁，马蒂·柳库，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP