一种石墨舟硅片批量吸取装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石墨舟硅片批量吸取装置，包括：吸盘组件；以及用于将吸盘组件锁紧固定的紧固组件，其中，吸盘组件包括若干片吸盘，相邻两片吸盘相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。根据本发明专利技术，其可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟硅片批量吸取装置
本专利技术涉及太阳能硅片制造领域，特别涉及一种石墨舟硅片批量吸取装置。
技术介绍
石墨舟即石墨模具，是一种载体，它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，在这个工序需要用到石墨舟，其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。在上述工序中，需要对硅片进行多次批量吸取作业，在现有技术中，仍采用由人工操作的生产方式，生产效率受到一定限制，同时硅片容易在插片及取片过程中受到不同程度的污染及划伤，影响产品质量。有鉴于此，实有必要开发一种石墨舟硅片批量吸取装置，用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本专利技术的目的是提供一种石墨舟硅片批量吸取装置，可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。为了实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，包括：吸盘组件(1)；以及用于将吸盘组件(1)锁紧固定的紧固组件(2)，其中，吸盘组件(1)包括若干片吸盘(11)，相邻两片吸盘(11)相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，包括：吸盘组件(1)；以及用于将吸盘组件(1)锁紧固定的紧固组件(2)，其中，吸盘组件(1)包括若干片吸盘(11)，相邻两片吸盘(11)相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。2.如权利要求1所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，吸盘(11)沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽(111)，每条容纳通槽(111)中均设有吸嘴组件(12)。3.如权利要求2所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，吸嘴组件(12)包括：吸嘴(121)；以及与吸嘴(121)相连通的吸管(122)，其用于将吸嘴(121)内部抽真空的吸管(122)。4.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，容纳槽(111)的末端连通地设有吸嘴通槽(1111)，吸嘴(121)位于吸嘴通槽(1111)中。5.如权利要求4所述的石墨舟硅片批量吸取装置，其特征在于，吸嘴通槽(1111)的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽(1112)，每条弹簧通槽(1112)中均设有平衡弹簧(123)，其中，平衡弹簧(123)的一端与吸盘(11)相连接，另一端与吸嘴(121)的边缘相连接。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，贾宇鹏，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32