静电夹具制造技术

本发明专利技术公开了静电夹具。根据本发明专利技术实施方式的静电夹具包括支承部、第一绝缘板、第一电极、第二电极和第二绝缘板。第一绝缘板位于支承部上并具有多个第一贯通孔。第一电极和第二电极布置在第一绝缘板上，并在第一方向上延伸且彼此平行地布置。第二绝缘板布置在第一绝缘板上以覆盖第一电极和第二电极，并具有与多个第一贯通孔重叠的多个第二贯通孔。多个第一贯通孔包括多个第一列贯通孔和多个第二列贯通孔。第一电极包括多个第一电极贯通孔，多个第一电极贯通孔中的每个与多个第一列贯通孔中的每个重叠。第二电极包括多个第二电极贯通孔，多个第二电极贯通孔中的每个与多个第二列贯通孔中的每个重叠。

Electrostatic fixture

The invention discloses an electrostatic fixture. The electrostatic fixture according to the implementation of the invention includes a supporting part, a first insulating board, a first electrode, a second electrode, and a second insulating board. The first insulating board is located on the supporting part and has a plurality of first through holes. The first electrode and the second electrode are arranged on the first insulating board, and are extended in the first direction and arranged in parallel with each other. The second insulating board is arranged on the first insulating board to cover the first electrode and the second electrode, and has a plurality of second through holes overlapped with a plurality of first through holes. A plurality of first pass through holes include a plurality of first row perforation holes and a plurality of second row through holes. The first electrode includes a plurality of first electrode through holes, each of the plurality of first electrode through holes and each overlap in the multiple first row through holes. The second electrode includes a plurality of second electrode through holes, each of the plurality of second electrode through holes each and each of the multiple second row through holes.

【技术实现步骤摘要】
静电夹具
本专利技术涉及静电夹具。
技术介绍
除了如处理器、存储器等各种半导体芯片的制造以外，用于近年来被广泛普及的诸如液晶显示器(LiquidCrystalDisplay)、等离子体显示器(PlasmaDisplay)、有机发光显示器(OrganicLightEmittingDiodeDisplay)等平板显示器(FlatPanelDisplay)的显示装置或面板的制造也在各种工艺设备或腔室(chamber)中进行。为了制造这种半导体芯片或显示装置，通常在半导体晶片或玻璃衬底的表面上反复地执行光刻(photolithography)、蚀刻、扩散、离子注入、金属沉积、化学气相沉积和上下玻璃衬底的黏合等制造工艺，并且各个衬底被承载于载体上在各个工艺设备之间进行移动。工艺中的衬底根据设置在各个工艺设备上的输送机器人或者作业人的命令而被输送到工艺中所需的作业位置。为了对输送至相应工艺设备的作业位置的衬底进行固定或者将窗等的覆盖件附接至已完成的显示面板上，使用利用真空压的机械手段、利用电气特性的电气手段等，而电气手段的一个示例为静电夹具(Electro-StaticChuck)。静电夹具(E本文档来自技高网...

【技术保护点】
静电夹具，包括：支承部；第一绝缘板，位于所述支承部上，并且具有多个第一贯通孔；第一电极和第二电极，布置在所述第一绝缘板上，并且在第一方向上延伸且彼此平行地布置；以及第二绝缘板，布置在所述第一绝缘板上以覆盖所述第一电极和所述第二电极，并且具有与所述多个第一贯通孔重叠的多个第二贯通孔，其中，所述多个第一贯通孔包括：多个第一列贯通孔，沿着与所述第一方向平行的第一列排列；以及多个第二列贯通孔，与所述第一列贯通孔平行地布置，并且沿着与所述第一方向平行的第二列排列，其中，所述第一电极包括多个第一电极贯通孔，所述多个第一电极贯通孔中的每个与所述多个第一列贯通孔中的每个重叠，以及其中，所述第二电极包括多个第二...

【技术特征摘要】
2016.07.20 KR 10-2016-00921201.静电夹具，包括：支承部；第一绝缘板，位于所述支承部上，并且具有多个第一贯通孔；第一电极和第二电极，布置在所述第一绝缘板上，并且在第一方向上延伸且彼此平行地布置；以及第二绝缘板，布置在所述第一绝缘板上以覆盖所述第一电极和所述第二电极，并且具有与所述多个第一贯通孔重叠的多个第二贯通孔，其中，所述多个第一贯通孔包括：多个第一列贯通孔，沿着与所述第一方向平行的第一列排列；以及多个第二列贯通孔，与所述第一列贯通孔平行地布置，并且沿着与所述第一方向平行的第二列排列，其中，所述第一电极包括多个第一电极贯通孔，所述多个第一电极贯通孔中的每个与所述多个第一列贯通孔中的每个重叠，以及其中，所述第二电极包括多个第二电极贯通孔，所述多个第二电极贯通孔中的每个与所述多个第二列贯通孔中的每个重叠。2.如权利要求1所述的静电夹具，其中，所述第一电极和所述第二电极沿着与所述第一方向相交的第二方向排列为多个。3.如权利要求2所述的静电夹具，其中，所述第一电极和所述第二电极沿着所述第二方向交替地排列。4.如权利要求2所述的静电夹具，其中，所述多个第一电极中彼此相邻的一对第一电极彼此连接，并且所述多个第二电极中彼此相邻的一对第二电极彼此连接。5.如权利要求1所述的静电夹具，其中，所述第一电极和所述第二电极中的每个具有弯曲至少两次的形状。6.如权利要求1所述的静电夹具，其中，所述支承部包括：本体，所述本体的内部形成有空间；以及多个第三贯通孔，布置在所述本体的上表面上并与所述空间连接，并且所述多个第三贯通孔与所述多个第一贯通孔重叠。7.如权利要求6所述的静电夹具，其中，所述多个第一贯通孔、所述多个第二贯通孔、所述多个第三贯通孔、所述多个第一电极贯通孔和所述多个第二电极贯通孔彼此连通。8.如权利要求6所述的静电夹具，其中，所述支承部包括：连接口，位于所述本体的一侧，并且与所述空间连接。9.如权利要求8所述的静电夹具，还包括：真空泵，与所述连接口连接。10.如权利要求1所述的静电夹具，还包括：连接板，位于所述支承部与所述第一绝缘板之间，并且具有与所述多个第一贯通孔重叠的多个第四贯通孔，其中，所述多个第四贯通孔包括：多个第三列贯通孔，所述多个第三列贯通孔中的每个与所述多个第一列贯通孔中的每个重叠；以及多个第四列贯通孔，所述多个第四列贯通孔中的每个与所述多个第二列贯通孔中的每个重叠。11.如权利要求10所述的静电夹具，其中，所述支承部包括：第一槽，在所述第一方向上延伸，并且与所述多个第三列贯通孔连通；以及第二槽，与所述第一槽平行，并且与所述多个第四列贯通孔连通。12.如权利要求1所述的静电夹具，其中，所述第一电极和所述第二电极具有彼此不同的极性。13.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜锡宙，金相喆，金泰珍，柳根荣，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR