靶材喷砂除膜用保护治具制造技术

技术编号:17159260 阅读:25 留言:0更新日期:2018-02-01 18:22
本实用新型专利技术公开了一种靶材喷砂除膜用保护治具,包括保护板、套于保护板外部的保护套和将保护套密封的胶带层,保护板设有多个与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔,保护套背面设有与所述通孔位置大小相匹配的孔。本实用新型专利技术的有益效果:通过使用保护板能够最大的挡住背板的两端,保护背板的两端不受喷砂机的砂砾的磨损;通过使用保护套能够将保护板套住,对喷砂有一定的缓冲作用从而对保护板进行保护,在使用时只需更换保护套,延长了保护板的使用寿命,降低了成本,在使用时,只需要将治具放置,然后套上保护套,便可达到保护的目的,治具也能往复使用,操作简单,成本较低,费时较少,生产效率很高。

Protection and control tool for sand spraying and removing film for target

【技术实现步骤摘要】
靶材喷砂除膜用保护治具
本技术涉及治具领域,尤其涉及一种靶材喷砂除膜用保护治具。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在保护板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光设备中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的溅射效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。而客户在使用完企业的靶材产品后,会退回残靶。对于残靶的处理一般是在对其与背板进行分解之前,对长方形背板(两端带有定位孔)上的逆向膜通过喷砂的方式去除(背板两端因为不在溅射区域内不会成膜所以不需除膜),处理后,达到背板往复再利用的目的。现如今在除膜前企业普遍采用贴胶带保护的方式对背板两端不需除膜处进行保护,通过对背板进行多层及大面积缠绕达到较好的保护效果。但是由于进行多层及大面积缠绕,导致胶带使用量大,且只能一次使用,成本较高,费时较多,生产效率非常低。
技术实现思路
为克服上述缺点,本技术的目的在于提供一种成本较低,费时较少,生产效率很高的能够保护背板的两端的靶材喷砂除膜用保护治具。为了达到以上目的,本技术采用的技术方案是:一种靶材喷砂除膜用保护治具,包括保护板、套于保护板外部的保护套和将保护套密封的胶带层,所述保护板设有多个与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔,所述保护套背面设有与所述通孔位置大小相匹配的孔。本技术的有益效果:通过使用保护板能够最大的挡住背板的两端,保护背板的两端不受喷砂机的砂砾的磨损;通过使用与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔,使得能够通过螺栓将背板与保护板固定在一起,使得保护板在使用时不会晃动;通过使用保护套能够将保护板套住,对喷砂有一定的缓冲作用从而对保护板进行保护,在使用时只需更换保护套,延长了保护板的使用寿命,降低了成本;通过使用保护套背面与所述通孔位置大小相匹配的孔,使得保护套在使用时既不影响保护保护板的作用,又不影响将背板于保护板固定在一起的作用,在使用时,只需要将治具放置,然后套上保护套,便可达到保护的目的,治具也能往复使用,操作简单,成本较低,费时较少,生产效率很高。优选地,所述孔周围的保护套内表面设有胶层。本技术通过在孔周围的保护套内表面设置胶层,能够使得部分喷砂不至于通过保护套的孔进入保护套内部,损伤保护板,延长保护板使用寿命。优选地,所述胶层上附有与胶层位置形状大小均一致的硅油纸层;所述胶层为天然橡胶压敏胶或树脂型压敏胶。本技术通过使用硅油纸层,硅油纸层上的硅油能够起到防粘作用,使得在生产时能够大批量生产保护套,在使用时能够随用随撕,方便快捷;通过使用天然橡胶压敏胶或树脂型压敏胶,天然橡胶压敏胶与树脂型压敏胶的剥离力小于粘结力,在更换保护套时方便取下。优选地,所述胶层为树脂型压敏胶,所述树脂型压敏胶为丙烯酸类树脂型压敏胶、有机硅类树脂型压敏胶、聚氨酯类树脂型压敏胶中的一种。优选地,所述树脂型压敏胶为丙烯酸类树脂型压敏胶,所述丙烯酸类树脂型压敏胶为聚丙烯酸酯乳液型压敏胶。本技术通过使用聚丙烯酸酯乳液型压敏胶,由于其拥有成本低、使用安全、无污染、聚合时间短、对各种材料都有良好的粘接性、涂膜无色等等优点,使得保护套与保护板在使用时粘结效果更好。优选地,所述保护板材质为不锈钢材质、铝合金、玻璃钢、碳纤维复合材料中的一种;所述保护套材质为ABS、POM、PS、PMMA、PC、PET、PBT、PPO、TEFLON中的一种;所述胶带层材质为BOPP胶带、布基胶带、牛皮纸胶带、美纹纸胶带、纤维胶带、PVC胶带、PE泡棉胶带中的一种。优选地,所述保护板材质为不锈钢材质;所述保护套材质为TEFLON;所述胶带层材质为PVC胶带。本技术通过使用不锈钢材质的保护板,退火态的硬度可达到HV180,使得保护板能够有足够的耐磨性和保护作用;通过使用TEFLON材质的保护套,因TEFLON具有超高的耐磨性,使得能够对喷砂起到很好的缓冲作用,能够很好的保护保护板;通过使用PVC胶带的胶带层,不仅具有良好的粘结作用,还能降低成本。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术保护套的结构示意图;图3为残靶的俯视图。图中:1-保护板;11-通孔;2-保护套;21-孔;22-胶层;3-胶带层。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述,以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。实施例1:参见附图1、图2所示,本实施例中的一种靶材喷砂除膜用保护治具,包括保护板1、套于保护板1外部的保护套2和将保护套2密封的胶带层3,所述保护板1设有多个与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔11,所述保护套2背面设有与所述通孔11位置大小相匹配的孔21。所述孔21周围的保护套2内表面设有胶层22。所述胶层22为聚丙烯酸酯乳液型压敏胶,相较于其他胶,其拥有成本低、使用安全、无污染、聚合时间短、对各种材料都有良好的粘接性、涂膜无色等等优点,使得保护套与保护板在使用时粘结效果更好所述胶层。22上附有与胶层22位置形状大小均一致的硅油纸层,随用随撕,简单快捷。所述保护板1材质为不锈钢630,耐磨性高,能够较好地阻挡喷砂进而对背板两端进行保护。所述保护套2材质为TEFLON,具有超高的耐磨性,使得能够对喷砂起到很好的缓冲作用,能够很好的保护保护板。所述胶带层3材质为PVC胶带,成本低,粘接强度好。实施例2参见附图1、图2所示,本实施例中的一种靶材喷砂除膜用保护治具,包括保护板1、套于保护板1外部的保护套2和将保护套2密封的胶带层3,所述保护板1设有多个与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔11,所述保护套2背面设有与所述通孔11位置大小相匹配的孔21。所述孔21周围的保护套2内表面设有胶层22。所述胶层22上附有与胶层22位置形状大小均一致的硅油纸层,随用随撕,简单快捷。所述胶层22为天然橡胶压敏胶,该胶虽然也有较好的粘接性,但是分子中存在着不饱和双键,耐光和氧的老化性能较差,成本较高。所述保护板1材质为碳纤维复合材料,但碳纤维复合材料板造价昂贵,成本较高。所述保护套2材质为ABS,稳定性高,但是耐磨性较TEFLON略差。所述胶带层3材质为PE泡棉胶带,但是不抗氧化性酸,在氧化性环境中聚乙烯会被氧化。以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本技术的内容并加以实施,并不能以此限制本技术的保护范围,凡根据本技术精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...
靶材喷砂除膜用保护治具

【技术保护点】
一种靶材喷砂除膜用保护治具,其特征在于:包括保护板(1)、套于保护板(1)外部的保护套(2)和将保护套(2)密封的胶带层(3),所述保护板(1)设有多个与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔(11),所述保护套(2)背面设有与所述通孔(11)位置大小相匹配的孔(21)。

【技术特征摘要】
1.一种靶材喷砂除膜用保护治具,其特征在于:包括保护板(1)、套于保护板(1)外部的保护套(2)和将保护套(2)密封的胶带层(3),所述保护板(1)设有多个与背板上的定位孔位置大小相匹配的通孔(11),所述保护套(2)背面设有与所述通孔(11)位置大小相匹配的孔(21)。2.根据权利要求1所述的靶材喷砂除膜用保护治具,其特征在于:所述孔(21)周围的保护套(2)内表面设有胶层(22)。3.根据权利要求2所述的靶材喷砂除膜用保护治具,其特征在于:所述胶层(22)上附有与胶层(22)位置形状大小均一致的硅油纸层;所述胶层(22)为天然橡胶压敏胶或树脂型压敏胶。4.根据权利要求3所述的靶材喷砂除膜用保护治具,其特征在于:所述胶层(22)为树脂型压敏胶,所述树脂型压敏胶为丙烯酸类树脂型压敏胶、有机硅类树脂...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐淮王国增周振坤常艳超臧卫祥
申请(专利权)人:爱发科电子材料苏州有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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